中，圖2A為面向橫截面222的橫截面視圖，且圖2B為面向橫截面220的橫截面視圖。
[0084]此外，圖2D示出冷卻劑引導(dǎo)部228的側(cè)視圖，例如沿著軸向冷卻劑流方向204b。
[0085]如例如在圖2A至2D中所示的，管狀導(dǎo)件228i可借助于輸送和導(dǎo)出件128和/或借助于連接件228a —側(cè)地被支撐。對此，輸送和導(dǎo)出件128和管狀導(dǎo)件228i可力配合地相互連接，使得管狀導(dǎo)件228i可容納具有垂直于旋轉(zhuǎn)軸線1la的方向分量的力。明顯地，管狀導(dǎo)件228i由此不必額外地被支撐在末端塊102內(nèi)。例如，管狀導(dǎo)件228i和/或連接件228a例如可具有連接片228s，其可形成冷卻劑引導(dǎo)部，且確保至管狀導(dǎo)件228i的機(jī)械穩(wěn)定連接，使得在管狀導(dǎo)件228i上可支撐負(fù)載(例如由于聯(lián)接的磁性載體或管形電極104的載體管引起的)。
[0086]此外，連接件228a的管狀部分可承載冷卻劑密封件，其包圍連接件228a的管狀部分，且冷卻劑被真空-處理室106中的真空102v密封。
[0087]類似于上述描述和附圖，在以下附圖圖3A至圖3F中分別示出冷卻劑引導(dǎo)部228的多個透視圖，例如具有輸送和導(dǎo)出件128、管狀導(dǎo)件228i和連接件228a。此外示出，冷卻劑引導(dǎo)部228可這樣地被設(shè)置，即，輸送和導(dǎo)出件128、管狀導(dǎo)件228i和連接件228a可插在一起，例如連接件228a進(jìn)入輸送和導(dǎo)出件128，且管狀導(dǎo)件228i進(jìn)入連接件228a，使得該部件可形成冷卻劑引導(dǎo)部。
[0088]根據(jù)不同的實施方式，管狀導(dǎo)件228i和連接件228a可分別具有切口和/或槽(轉(zhuǎn)向部和/或轉(zhuǎn)向區(qū)域228u)，用于將冷卻劑流從軸向方向轉(zhuǎn)向到徑向方向，且從徑向方向轉(zhuǎn)向到軸向方向。在此，連接件228a、輸送和導(dǎo)出件128和管狀導(dǎo)件228i可這樣地相互插入，即，冷卻劑流朝向管形電極104且從管形電極104離開僅少量地混合，例如在插在一起的狀態(tài)下具有小縫隙寬度的縫隙可在部件128、228a、228i之間延伸(例如小于大致Imm或小于大致100 μ m)，其基本上分開冷卻劑。
[0089]此外，在圖4A至圖4F中分別示出針對冷卻劑引導(dǎo)部228的部件128、228a、228i的沿著旋轉(zhuǎn)軸線1la的橫截面圖或剖面圖，類似于上述描述。
[0090]根據(jù)不同的實施方式，可提供兩路-冷卻劑引導(dǎo)部228，其額外于冷卻劑引導(dǎo)部實現(xiàn)針對磁性系統(tǒng)的足夠的定位(Auflage)。例如，載體管或磁性載體可被支撐在管狀導(dǎo)件228?上，其中，管狀導(dǎo)件228i —側(cè)地借助于輸送和導(dǎo)出件128和/或連接件228a被支撐。
[0091]根據(jù)不同的實施方式，冷卻劑引導(dǎo)部228可以是或具有兩路-冷卻劑引導(dǎo)部(例如具有其引導(dǎo)方向108、204a和204b、118)，由供給井128 (輸送和導(dǎo)出件128)、外部引導(dǎo)部228a(連接件228a)和內(nèi)部引導(dǎo)部228i (管狀導(dǎo)件228i)構(gòu)成，其相互連接，且可共同例如作為固定的安裝件錨定在末端塊殼體102中。
[0092]兩個介質(zhì)通道108、118的供給井128可以是在介質(zhì)引導(dǎo)面中被布置成平的(例如垂直于旋轉(zhuǎn)軸線1la或與其成角度)，冷卻劑流108、118既可在外部引導(dǎo)部228a又可在內(nèi)部引導(dǎo)部228i中(例如矩形的)被轉(zhuǎn)向至目標(biāo)軸線1la (旋轉(zhuǎn)軸線101a)。在此，在井128中和在外部引導(dǎo)部228a中的冷卻劑的路徑可具有對稱的圖像。在內(nèi)部引導(dǎo)部中，例如可借助于豎直布置的分隔壁238v (或連接片228s、238v)相互分開冷卻劑的進(jìn)程和回程(導(dǎo)入和導(dǎo)出)，其中，水平的分隔壁238h(或連接片228s、238h)取代垂直于旋轉(zhuǎn)軸線1la的機(jī)械穩(wěn)定。
[0093]根據(jù)不同的實施方式，在轉(zhuǎn)向區(qū)域228u中可實現(xiàn)分別通過兩個分開的段的冷卻劑引導(dǎo)部，其中，所述段相互可借助于水平分隔壁238h或連接片238h分開。
[0094]連接片228s和/或分隔壁238h、238v加固內(nèi)部引導(dǎo)部，使得內(nèi)部引導(dǎo)部在允許的彎曲范圍中可作為磁性載體定位。
[0095]替選地，內(nèi)部引導(dǎo)部也可不用作為負(fù)載定位(或額外地被支撐在末端塊102內(nèi))，使得受用于冷卻劑引導(dǎo)部的導(dǎo)管截面的加固連接片228s、238v、238h的可能省略的影響而產(chǎn)生更小的面。
[0096]根據(jù)不同的實施方式，可不固定限定流動方向，使得在緊急情況下可例如轉(zhuǎn)向地連接進(jìn)程和回程，即，冷卻劑例如被導(dǎo)出冷卻劑輸送部108，且冷卻劑被供給至冷卻劑導(dǎo)出部 118。
[0097]根據(jù)不同的實施方式，由于進(jìn)程和回程的平面設(shè)計，可獲得用于軸承和/或密封件布置的軸向空間，或相應(yīng)的真空-處理室106可被設(shè)計成更小的。
[0098]根據(jù)不同的實施方式，在附圖中示出冷卻劑引導(dǎo)部的優(yōu)化設(shè)計，具有非常小的流動損失。
[0099]根據(jù)不同的實施方式，內(nèi)部引導(dǎo)部228i和外部引導(dǎo)部228a可以不可拆卸地相互連接(一體的)，使得該單元可借助于傳統(tǒng)的精密鑄造方法低成本地被制造。
[0100]根據(jù)不同的實施方式，輸送和導(dǎo)出件可以是輸送件和/或?qū)С黾?，用于將冷卻劑輸送至聯(lián)接到末端塊102上的管形電極104，和/或用于將冷卻劑導(dǎo)出聯(lián)接到末端塊102上的管形電極104。
[0101]下文中，描述末端塊組件的不同的實施例以及多個實施例的組合。
[0102]實施例1:
[0103]末端塊組件(100)，具有:至少一個末端塊(102)，用于將管形電極(104)保持在真空室(106)中，其中，末端塊(102)這樣地被設(shè)置，即，聯(lián)接到末端塊(102)上的管形電極(104)可圍繞旋轉(zhuǎn)軸線(1la)旋轉(zhuǎn)地被支承；其中，末端塊(102)具有冷卻劑引導(dǎo)部，用于為聯(lián)接到末端塊上的管形電極(104)提供冷卻劑；其中，冷卻劑引導(dǎo)部具有至少一個垂直于旋轉(zhuǎn)軸線(1la)或與其成角度延伸的冷卻劑輸送部(108)，用于徑向地將冷卻劑輸送至聯(lián)接到末端塊上的管形電極(104)，且其中，冷卻劑輸送部(108)具有垂直于旋轉(zhuǎn)軸線(1la)或與其成角度縱向延伸的導(dǎo)管截面(1Sq)。
[0104]實施例2:
[0105]根據(jù)實施例1所述的末端塊組件，此外具有:至少一個垂直于旋轉(zhuǎn)軸線或與其成角度延伸的冷卻劑導(dǎo)出部(118)，用于將冷卻劑從聯(lián)接到末端塊上的管形電極中徑向?qū)С?，其中，冷卻劑導(dǎo)出部(118)具有導(dǎo)管截面，相比于平行于旋轉(zhuǎn)軸線其具有垂直于旋轉(zhuǎn)軸線或與其成角度的更大的擴(kuò)展部。
[0106]實施例3:
[0107]根據(jù)實施例1和/或2所述的末端塊組件，其中，冷卻劑輸送部(108)和/或冷卻劑導(dǎo)出部(118)這樣地被設(shè)置，即，垂直于旋轉(zhuǎn)軸線(1la)或與其成角度的冷卻劑輸送部
[108]和/或冷卻劑導(dǎo)出部(118)的第一擴(kuò)展部(108b，118b)的大小兩倍于平行于旋轉(zhuǎn)軸線的冷卻劑輸送部(108)和/或冷卻劑導(dǎo)出部(118)的第二擴(kuò)展部(108a, 118a) ο
[0108]實施例4:
[0109]根據(jù)實施例2和/或3所述的末端塊組件，其中，冷卻劑輸送部(108)和冷卻劑導(dǎo)出部(118)被構(gòu)建成共同的輸送和導(dǎo)出件(128)中的中空室結(jié)構(gòu)。
[0110]實施例5:
[0111]根據(jù)實施例1至4中任一個所述的末端塊組件，其中，冷卻劑輸送部(108)和冷卻劑導(dǎo)出部(118)在垂直于旋轉(zhuǎn)軸線(1la)或與其成角度的平面中彎曲地延伸。
[0112]實施例6:
[0113]根據(jù)實施例1至5中任一個所述的末端塊組件，其中，冷卻劑引導(dǎo)部具有管狀導(dǎo)件(228i)，其中，管狀導(dǎo)件(228i)與旋轉(zhuǎn)軸線同軸地被布置，且這樣地被設(shè)置，即，冷卻劑可在管狀導(dǎo)件(228i)的內(nèi)部被引導(dǎo)至固定在末端塊上的管形電極。
[0114]實施例7:
[0115]根據(jù)實施例1至6中任一個所述的末端塊組件，其中，冷卻劑引導(dǎo)部和管狀導(dǎo)件(228?)這樣地被設(shè)置，即，冷卻劑可在外部沿管狀導(dǎo)件(228i)被引導(dǎo)出固定在末端塊上的管形電極。
[0116]實施例8:
[0117]根據(jù)實施例1至7中任一個所述的末端塊組件，其中，冷卻劑引導(dǎo)部此外具有第一轉(zhuǎn)向部，借助于該轉(zhuǎn)向部，來自冷卻劑輸送部(108)的被徑向引導(dǎo)的冷卻劑被轉(zhuǎn)向到沿著旋轉(zhuǎn)軸線(1la)的方向上；和/或其中，冷卻劑引導(dǎo)部此外具有第二轉(zhuǎn)向部，借助于該轉(zhuǎn)向部，沿著旋轉(zhuǎn)軸線(1la)被引導(dǎo)的冷卻劑被轉(zhuǎn)向到垂直于旋轉(zhuǎn)軸線或與其成角度的方向上。
[0118]實施例9:
[0119]根據(jù)實施例7和/或8所述的末端塊組件，其中，輸送和導(dǎo)出件(128)和管狀導(dǎo)件(228?)借助于連接件(228a)這樣地被連接，即，冷卻劑可分別從輸送和導(dǎo)出件(128)的冷卻劑輸送部(108)被導(dǎo)入管狀導(dǎo)件(228i)中，且冷卻劑可從管狀導(dǎo)件(228i)的外部被導(dǎo)入輸送和導(dǎo)出件(128)的冷卻劑導(dǎo)出部(118)中。
[0120]實施例10:
[0121]根據(jù)實施例9所述的末端塊組件，其中，連接件(228a)具有管狀部，其與旋轉(zhuǎn)軸線(1la)同軸地被布置，且至少部分地包圍管狀導(dǎo)件(228i)，使得冷卻劑可在管狀導(dǎo)件(228?)與連接件(228a)的管狀部之間被導(dǎo)入輸送和導(dǎo)出件(128)的冷卻劑導(dǎo)出部(118)中。
[0122]實施例11:
[0123]根據(jù)實施例1至10中任一個所述的末端塊組件，此外具有:借助于末端塊(102)中的至少一個徑向軸承(I1)而可旋轉(zhuǎn)地支承的中空軸(112)，用于聯(lián)接管形電極(104)，其中，冷卻劑輸送部(108)和冷卻劑導(dǎo)出部(118)相比于至少一個徑向軸承(110)而在徑向輸送區(qū)域(102k)中的垂直于旋轉(zhuǎn)軸線(1la)或與其成角度的方向上進(jìn)一步延伸。
[0124]實施例12:
[0125]根據(jù)實施例11所述的末端塊組件，其中，冷卻劑輸送部(108)的導(dǎo)管截面(1Sq)在整個徑向輸送區(qū)域(102k)中相比于平行于旋轉(zhuǎn)軸線具有垂直于旋轉(zhuǎn)軸線或與其成角度的