末端塊組件的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種末端塊組件。
【背景技術(shù)】
[0002]通常，諸如玻璃基體、金屬基體、半導(dǎo)體基體(例如晶圓)、金屬帶和/或薄膜(例如塑料薄膜)的基體或載體，在處理設(shè)備(加工處理設(shè)備)中被處理(被加工處理)。根據(jù)加工處理的類型和/或多個(gè)相繼的處理的順序，例如用于清潔基體，用于預(yù)加工處理基體的表面，用于加熱基體和/或涂層基體，處理設(shè)備可具有一個(gè)或多個(gè)處理室。在此對(duì)于確定的處理要求，在真空中完成處理(清潔和/或涂層)。例如，至少一個(gè)基體可借助于噴涂(Sputter)處理(借助于陰極派射(Zersaeubung))在噴涂_處理室(或真空室)中在真空中被涂層，或在處理室(或真空室)中借助于閃光(Glimmen)被清潔和/或預(yù)加工處理，例如在含氧環(huán)境中。在此，可在處理室中使用電極，例如在噴涂處理時(shí)使用管狀陰極，其中，例如必須冷卻電極。由此，電極或多個(gè)電極可布置在真空室(處理室)中，且借助于所謂的末端塊或借助于多個(gè)末端塊被保持在真空室中。此外，末端塊或多個(gè)末端塊可用于，為各被保持的電極提供冷卻劑，機(jī)械地驅(qū)動(dòng)(例如旋轉(zhuǎn))和/或提供電壓(或功率)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]不同實(shí)施方式的一個(gè)方面明顯地可在其中看到，提供末端塊，用于保持或支承和/或提供真空室中的至少一個(gè)電極，其中，這樣地設(shè)置末端塊，即，真空室針對(duì)電極的預(yù)定長度具有最小的或最佳的內(nèi)部空間容積。例如，在真空室中，至少一個(gè)基體沿著基體運(yùn)輸方向被運(yùn)輸通過真空室，其中，真空室此外具有至少一個(gè)電極，用于處理被運(yùn)輸通過真空室的至少一個(gè)基體，其中，至少一個(gè)電極可借助于末端塊分別支承在其端部上。在此，管形電極可例如垂直于基體運(yùn)輸方向具有在大致Im至大致4m范圍中的長度(沿著管軸線或管形電極的縱軸線的空間擴(kuò)展部)，且末端塊可這樣地被設(shè)置，即，一方面電極軸向可旋轉(zhuǎn)地(圍繞管軸線或圍繞管形電極的縱軸線可旋轉(zhuǎn)地)被支承，且可旋轉(zhuǎn)地被支承的電極可被提供冷卻劑，另一方面可垂直于基體運(yùn)輸方向盡可能小地提供在其中支承至少一個(gè)電極的真空室的空間擴(kuò)展部。
[0004]此外，不同實(shí)施方式的另一方面明顯地可在其中看到，可提供末端塊，用于可旋轉(zhuǎn)(圍繞旋轉(zhuǎn)軸線)地支承電極，其中，末端塊在借助于末端塊被支承的電極的旋轉(zhuǎn)軸線的方向上可具有盡可能小的空間擴(kuò)展部(盡可能小的尺寸)。在此，針對(duì)可旋轉(zhuǎn)地支承電極，可在兩個(gè)軸承之間(例如在兩個(gè)徑向軸承之間)預(yù)設(shè)間距或預(yù)設(shè)軸承的(例如軸向軸承的)空間擴(kuò)展部，使得例如在末端塊內(nèi)這樣地提供冷卻劑引導(dǎo)部，即，末端塊在借助于末端塊支承的電極的旋轉(zhuǎn)軸線的方向上可具有盡可能小的空間擴(kuò)展部。
[0005]明顯地，由于末端塊減小的尺寸，真空室的內(nèi)部空間的(垂直于基體運(yùn)輸方向的)寬度可減小，使得更小容積的真空室需要被抽真空，且由此改進(jìn)了真空室內(nèi)的真空條件，例如可更快地對(duì)真空室抽真空，可減少被軸真空的真空室內(nèi)的殘余氣體和/或氣態(tài)污染物(例如氧氣和/或水蒸氣)的量。此外，相比于使用傳統(tǒng)的末端塊，可在材料效率方面更低地設(shè)計(jì)真空室。
[0006]根據(jù)不同的實(shí)施方式，末端塊組件可具有:至少一個(gè)末端塊，用于將管形電極保持在真空室中，其中，末端塊這樣地被設(shè)置，即，聯(lián)接到末端塊上的管形電極可圍繞旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)地被支承；其中，末端塊具有冷卻劑引導(dǎo)部，用于為聯(lián)接到末端塊上的管形電極提供冷卻劑；其中，冷卻劑引導(dǎo)部具有至少一個(gè)垂直于旋轉(zhuǎn)軸線或與其成角度延伸的冷卻劑輸送部，用于徑向地將冷卻劑輸送至聯(lián)接到末端塊上的管形電極，且其中，冷卻劑輸送部具有垂直于旋轉(zhuǎn)軸線或與其成角度縱向延伸的導(dǎo)管截面。
[0007]根據(jù)不同的實(shí)施方式，末端塊組件此外可具有:至少一個(gè)垂直于旋轉(zhuǎn)軸線或與其成角度延伸的冷卻劑導(dǎo)出部，用于將冷卻劑從聯(lián)接到末端塊上的管形電極中徑向?qū)С?，其中，冷卻劑導(dǎo)出部具有導(dǎo)管截面，相比于平行于旋轉(zhuǎn)軸線其具有垂直于旋轉(zhuǎn)軸線或與其成角度的更大的擴(kuò)展部。
[0008]此外，冷卻劑輸送部可這樣地被設(shè)置，S卩，垂直于旋轉(zhuǎn)軸線或與其成角度的冷卻劑輸送部的第一擴(kuò)展部的大小兩倍于平行于旋轉(zhuǎn)軸線的冷卻劑輸送部的第二擴(kuò)展部。此外，冷卻劑導(dǎo)出部可這樣地被設(shè)置，即，垂直于旋轉(zhuǎn)軸線或與其成角度的冷卻劑導(dǎo)出部的第一擴(kuò)展部的大小兩倍于平行于旋轉(zhuǎn)軸線的冷卻劑導(dǎo)出部的第二擴(kuò)展部。
[0009]此外，冷卻劑輸送部和冷卻劑導(dǎo)出部可被構(gòu)建成共同的輸送和導(dǎo)出件中的中空室結(jié)構(gòu)。
[0010]此外，冷卻劑輸送部和冷卻劑導(dǎo)出部在平面中垂直于旋轉(zhuǎn)軸線或與其成角度地彎曲地延伸。
[0011]此外，冷卻劑引導(dǎo)部可具有管狀導(dǎo)件，其中，管狀導(dǎo)件與旋轉(zhuǎn)軸線同軸地被布置，且這樣地被設(shè)置，即，冷卻劑可在管狀導(dǎo)件的內(nèi)部被引導(dǎo)至固定在末端塊上的管形電極。
[0012]此外，冷卻劑引導(dǎo)部和管狀導(dǎo)件可這樣地設(shè)置，S卩，冷卻劑可在外部沿管狀導(dǎo)件被引導(dǎo)出固定在末端塊上的管形電極。
[0013]此外，冷卻劑引導(dǎo)部具有第一轉(zhuǎn)向部，借助于該轉(zhuǎn)向部，來自冷卻劑輸送部的被徑向引導(dǎo)的冷卻劑被轉(zhuǎn)向到沿著(例如平行于)旋轉(zhuǎn)軸線的方向上。此外，冷卻劑引導(dǎo)部具有第二轉(zhuǎn)向部，借助于該轉(zhuǎn)向部，沿著(例如平行于)旋轉(zhuǎn)軸線被引導(dǎo)的冷卻劑被轉(zhuǎn)向到垂直于旋轉(zhuǎn)軸線或與其成角度的方向上。
[0014]此外，輸送和導(dǎo)出件和管狀導(dǎo)件可借助于連接件這樣地被連接，S卩，冷卻劑可分別從輸送和導(dǎo)出件的冷卻劑輸送部被導(dǎo)入管狀導(dǎo)件中，且冷卻劑可從管狀導(dǎo)件的外部被導(dǎo)入輸送和導(dǎo)出件的冷卻劑導(dǎo)出部中。
[0015]此外，連接件可具有管狀部，其與旋轉(zhuǎn)軸線基本同軸地被布置，且至少部分地包圍管狀導(dǎo)件，使得冷卻劑可在管狀導(dǎo)件與連接件的管狀部之間被導(dǎo)入輸送和導(dǎo)出件的冷卻劑導(dǎo)出部中。
[0016]根據(jù)不同的實(shí)施方式，末端塊組件此外可具有:借助于末端塊中的至少一個(gè)徑向軸承而可旋轉(zhuǎn)地支承的中空軸，用于聯(lián)接管形電極，其中，冷卻劑輸送部和冷卻劑導(dǎo)出部相比于至少一個(gè)徑向軸承而在徑向輸送區(qū)域中在垂直于旋轉(zhuǎn)軸線或與其成角度的方向上進(jìn)一步延伸。
[0017]此外，冷卻劑輸送部的導(dǎo)管截面在整個(gè)徑向輸送區(qū)域中相比于平行于旋轉(zhuǎn)軸線具有垂直于旋轉(zhuǎn)軸線或與其成角度的更大的擴(kuò)展部。此外，冷卻劑導(dǎo)出部的導(dǎo)管截面在整個(gè)徑向輸送區(qū)域中相比于平行于旋轉(zhuǎn)軸線具有垂直于旋轉(zhuǎn)軸線或與其成角度的更大的擴(kuò)展部。
[0018]此外，冷卻劑引導(dǎo)部的冷卻劑輸送部可以是分段的，使得冷卻劑可分開地被引導(dǎo)分別通過冷卻劑輸送部的多個(gè)段。此外，冷卻劑引導(dǎo)部的冷卻劑導(dǎo)出部可以是分段的，使得冷卻劑可分開地被引導(dǎo)分別通過冷卻劑導(dǎo)出部的多個(gè)段。
[0019]此外，分段的冷卻劑輸送部的段可分別具有圓形截面，此外，分段的冷卻劑導(dǎo)出部的段分別具有圓形截面。
[0020]此外，冷卻劑引導(dǎo)部的第一轉(zhuǎn)向部和冷卻劑引導(dǎo)部的第二轉(zhuǎn)向部可作為中空室結(jié)構(gòu)被提供在連接件中和/或在管狀導(dǎo)件中。
[0021]此外，可一體地提供連接件和管狀導(dǎo)件。
[0022]此外，連接件，管狀導(dǎo)件以及輸送和導(dǎo)出件這樣可拆卸地相互連接，S卩，其為了安裝可沿著軸向方向(例如平行于旋轉(zhuǎn)軸線1la)被組合在一起，且為了拆卸可沿著軸向方向(平行于旋轉(zhuǎn)軸線1la)被相互分開，其中，連接件，管狀導(dǎo)件以及輸送和導(dǎo)出件在安裝狀態(tài)下形成冷卻劑引導(dǎo)部。
[0023]此外，管狀導(dǎo)件可借助于輸送和導(dǎo)出件和/或借助于連接件在一側(cè)被支撐。
[0024]此外，輸送和導(dǎo)出件和管狀導(dǎo)件可力配合地(借助于力)相互連接，使得管狀導(dǎo)件可容納具有垂直于旋轉(zhuǎn)軸線的方向分量的力。
[0025]根據(jù)不同的實(shí)施方式，末端塊組件可具有:至少一個(gè)末端塊，用于將管形電極保持在真空室中，其中，末端塊這樣地被設(shè)置，即，聯(lián)接到末端塊上的管形電極可圍繞旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)地被支承；其中，末端塊具有冷卻劑引導(dǎo)部，用于為聯(lián)接到末端塊上的管形電極提供冷卻劑；其中，冷卻劑引導(dǎo)部具有至少一個(gè)垂直于旋轉(zhuǎn)軸線延伸的冷卻劑輸送部，用于徑向地將冷卻劑輸送至聯(lián)接到末端塊上的管形電極，其中，冷卻劑輸送部具有至少一個(gè)導(dǎo)管截面，其具有相比于平行于旋轉(zhuǎn)軸線而更大的垂直于旋轉(zhuǎn)軸線的擴(kuò)展部。
[0026]根據(jù)不同的實(shí)施方式，末端塊組件可具有:至少一個(gè)末端塊，用于將管形電極可旋轉(zhuǎn)地支承在真空室中，其中，末端塊具有可圍繞旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)地被支承的中空軸，管形電極可被固定在該中空軸上，其中，末端塊具有冷卻劑引導(dǎo)部，用于為固定到中空軸上的管形電極提供冷卻劑；其中，冷卻劑引導(dǎo)部具有至少一個(gè)垂直于旋轉(zhuǎn)軸線延伸的冷卻劑輸送部，使得冷卻劑輸送部內(nèi)的冷卻劑可徑向地被輸送至固定在中空軸上的管形電極，其中，冷卻劑輸送部具有帶有第一擴(kuò)展部和帶有第二擴(kuò)展部的導(dǎo)管截面，其中，第一擴(kuò)展部在第一平行于旋轉(zhuǎn)軸線的方向上延伸，且第二擴(kuò)展部與旋轉(zhuǎn)軸線成角度地延伸，其中，第一擴(kuò)展部小于擴(kuò)展部。
【附圖說明】
[0027]在附圖中示出本發(fā)明的實(shí)施例，且在下文中更加詳細(xì)地描述。附圖中:
[0028]圖1A至IM分別為根據(jù)不同的實(shí)施方式的末端塊組件或末端塊組件的部分的示意性視圖；
[0029]圖2A至2D分別為根據(jù)不同的實(shí)施方式的末端塊組件或末端塊組件的部分的示意性視圖；
[0030]圖3A至3F分別為根據(jù)不同的實(shí)施方式的冷卻劑引導(dǎo)部或末端塊組件的部分的示意性透視圖；以及
[0031]圖4A至4F分別為根據(jù)不同的實(shí)施方式的冷卻劑引導(dǎo)部或末端塊組件的部分的示意性橫截面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0032]下文中的描述中，參考附圖，附圖構(gòu)成本發(fā)明的一部分，且在其中示出可實(shí)施本發(fā)明的特別的實(shí)施方式用于說明。在圖中，諸如“上方”，“下方”，“前方”，“后方”，“前面”，“后面”等的方向術(shù)語參考描述附圖的朝向而使用。因?yàn)楦鲗?shí)施方式的部件可被定位在多個(gè)不同的朝向上，方向術(shù)語用于清晰化，且是非限制性的。應(yīng)理解，可使用其他的實(shí)施方式，且可進(jìn)行結(jié)構(gòu)上和邏輯上的改變，而不會(huì)超出本發(fā)明的保護(hù)范圍。應(yīng)理解，只要不另行說明，則在此描述的不同的示范實(shí)施方式的特征可相互組合。下文中的描述因此是非限制性