焊(brazing)或焊接(welding)被固定式附接至燈箱150。包含陶瓷的順應(yīng)性導(dǎo)體154的粘合可使用粘合劑完成，該粘合劑包括硅酸鈉、硅酸銨、磷酸鋁、磷酸鋅、或其他納米分散懸浮物。
[0031]圖3是根據(jù)本公開(kāi)內(nèi)容的一個(gè)實(shí)施方式的燈箱150的部分剖面示意圖。上表面150a包括形成于該上表面150a中的諸如開(kāi)口 362之類(lèi)的特征。這些開(kāi)口 362使來(lái)自燈142的輻射能得以穿過(guò)上表面150a，以照射在基板或基板支撐件上。開(kāi)口 362設(shè)置在每一盞燈142上方。在多列開(kāi)口 362之間，順應(yīng)性導(dǎo)體154耦接至上表面150a。順應(yīng)性導(dǎo)體154定位成使得來(lái)自燈142的輻射能不被順應(yīng)性導(dǎo)體154阻擋。順應(yīng)性導(dǎo)體154排列成多個(gè)環(huán)狀列，但也可預(yù)期另外的分布。此外，預(yù)期間距與密度(每單位面積的順應(yīng)性導(dǎo)體154)也可經(jīng)調(diào)整以助于從下窗至燈箱150有預(yù)定量的熱傳遞。在一個(gè)實(shí)例中，順應(yīng)性導(dǎo)體154可覆蓋約40%的上表面150a。在另一個(gè)實(shí)例中，順應(yīng)性導(dǎo)體可具有約2毫米至約3毫米的間距。
[0032]圖4A至圖4D圖示根據(jù)本公開(kāi)內(nèi)容的其他實(shí)施方式的順應(yīng)性導(dǎo)體。圖4A圖示由羊毛狀物形成的順應(yīng)性導(dǎo)體454a。該羊毛狀物可包含上文討論的金屬或陶瓷材料的任何一種。該順應(yīng)性導(dǎo)體454a可視情況任選地包括該順應(yīng)性導(dǎo)體454a上的涂層(為清楚起見(jiàn)未圖示)，以用于減少下窗的刮傷，該涂層諸如是關(guān)于圖2所討論的涂層155。順應(yīng)性導(dǎo)體454a可用分立的(discrete)綴片(patch)或條帶(strip)親接至燈箱。
[0033]圖4B圖示順應(yīng)性導(dǎo)體454b。該順應(yīng)性導(dǎo)體454b是線(xiàn)網(wǎng)狀物(wire mesh)。該線(xiàn)網(wǎng)狀物可包含上文討論的金屬或陶瓷材料的任何一種。該順應(yīng)性導(dǎo)體454b可視情況任選地包括該順應(yīng)性導(dǎo)體454b上的涂層(為清楚起見(jiàn)未圖示)，以用于減少下窗的刮傷，該涂層諸如是關(guān)于圖2所討論的涂層155。順應(yīng)性導(dǎo)體454b可用分立的綴片或條帶耦接至燈箱。
[0034]圖4C圖示順應(yīng)性導(dǎo)體454c。該順應(yīng)性導(dǎo)體454c形成為螺旋形狀，且可以是例如由上文討論的金屬所形成的彈簧。涂層155設(shè)置在該順應(yīng)性導(dǎo)體454c適于接觸下窗的一端上。圖4D圖示具有S形狀的順應(yīng)性導(dǎo)體454d。該順應(yīng)性導(dǎo)體454d也包括涂層155，該涂層155設(shè)置在該順應(yīng)性導(dǎo)體454c適于接觸下窗的一端上。
[0035]圖4A至圖4D圖示根據(jù)本公開(kāi)內(nèi)容的一些實(shí)施方式的順應(yīng)性導(dǎo)體，然而也可預(yù)期用于順應(yīng)性導(dǎo)體的另外的形狀。另外的形狀也包括金屬鎖子甲(chainmail)或絮狀物(batting)、發(fā)泡金屬箔、折疊的金屬箔葉片、以及相連的金屬箔管。在另一個(gè)實(shí)施方式中，預(yù)期順應(yīng)性導(dǎo)體可由任何足以耐受所期望的處理溫度的材料形成，該所期望的處理溫度諸如為約300攝氏度至約400攝氏度或更高。在另一個(gè)實(shí)施方式中，涂層155可包含硅氧烷聚合物、聚酰亞胺、或聚四氟乙烯。
[0036]在另一個(gè)實(shí)施方式中，預(yù)期可用一種或多種流體或類(lèi)流體(near-fluid)浸漬或涂布諸如順應(yīng)性導(dǎo)體454a與454b之類(lèi)的順應(yīng)性導(dǎo)體，以助于增加熱傳遞，該類(lèi)流體諸如是蠟、油脂、和/或順應(yīng)性聚合物。在這樣的實(shí)施方式中，預(yù)期順應(yīng)性導(dǎo)體的孔隙度與表面張力可助于將流體或類(lèi)流體限制在處理腔室的非期望區(qū)域中。順應(yīng)性聚合物的一個(gè)實(shí)例可包括娃酮(silicone)橡膠或填充的娃酮。填充的娃酮例如可包含諸如金屬片(flake)之類(lèi)的熱傳導(dǎo)材料的顆粒，以增加熱傳遞。在一個(gè)實(shí)施方式中，硅橡膠可具有約1.3W/mQk的導(dǎo)熱率。
[0037]本文所述的實(shí)施方式的益處包括均勻地冷卻腔室部件，而與腔室部件的機(jī)械加工公差無(wú)關(guān)。因此，腔室與腔室間的溫度控制更為均勻，結(jié)果是在不同腔室中處理的基板的更均一的性質(zhì)。
[0038]雖然前述內(nèi)容針對(duì)本公開(kāi)內(nèi)容的實(shí)施方式，但在不背離本發(fā)明的基本范圍的情況下可設(shè)計(jì)本公開(kāi)內(nèi)容的其他與進(jìn)一步的實(shí)施方式，這些實(shí)施方式的范圍由隨后的權(quán)利要求書(shū)確定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種處理腔室，所述處理腔室包括: 腔室主體，所述腔室主體包括光學(xué)透明窗； 燈箱，所述燈箱設(shè)置成與所述光學(xué)透明窗鄰近，所述光學(xué)透明窗與所述燈箱之間有間隙，且一個(gè)或多個(gè)冷卻通道設(shè)置在所述燈箱中；及 多個(gè)順應(yīng)性導(dǎo)體，所述多個(gè)順應(yīng)性導(dǎo)體設(shè)置在所述燈箱與透明窗之間的所述間隙中，且與所述燈箱和透明窗接觸。2.如權(quán)利要求1所述的處理腔室，其中每一個(gè)所述順應(yīng)性導(dǎo)體都具有實(shí)質(zhì)上相等的長(zhǎng)度。3.如權(quán)利要求1所述的處理腔室，其中每一個(gè)所述順應(yīng)性導(dǎo)體都包括每一個(gè)所述順應(yīng)性導(dǎo)體上的涂層。4.如權(quán)利要求1所述的處理腔室，其中所述涂層包含玻璃碳、石墨、氮化硼、或云母。5.如權(quán)利要求1所述的處理腔室，其中所述順應(yīng)性導(dǎo)體包含陶瓷。6.如權(quán)利要求5所述的處理腔室，其中所述陶瓷包含氧化鋁、氧化鎂、氮化鋁、氧化鋯、二氧化硅、或上述各項(xiàng)的組合。7.如權(quán)利要求1所述的處理腔室，其中所述順應(yīng)性導(dǎo)體包含金屬，其中所述金屬包含不銹鋼、鎳、銅、鐵、因康鎳合金、鋁、或上述各項(xiàng)的組合，且其中所述順應(yīng)性導(dǎo)體被銅焊或焊接至所述燈箱。8.如權(quán)利要求1所述的處理腔室，其中所述順應(yīng)性導(dǎo)體是包含金屬或陶瓷的網(wǎng)狀物或羊毛狀物。9.如權(quán)利要求1所述的處理腔室，其中所述順應(yīng)性導(dǎo)體具有蛇形形狀。10.如權(quán)利要求1所述的處理腔室，其中所述順應(yīng)性導(dǎo)體形成為螺旋線(xiàn)圈形狀。11.一種處理腔室，所述處理腔室包括: 腔室主體，所述腔室主體包括光學(xué)透明窗； 燈箱，所述燈箱設(shè)置成與所述光學(xué)透明窗鄰近，所述光學(xué)透明窗與所述燈箱之間有間隙，且一個(gè)或多個(gè)冷卻通道設(shè)置在所述燈箱中；及 多個(gè)順應(yīng)性導(dǎo)體，所述多個(gè)順應(yīng)性導(dǎo)體設(shè)置在所述燈箱與透明窗之間的所述間隙中，且與所述燈箱和透明窗接觸，所述順應(yīng)性導(dǎo)體包括網(wǎng)狀物或羊毛狀物。12.如權(quán)利要求11所述的處理腔室，其中用材料浸漬所述網(wǎng)狀物或羊毛狀物以增加熱傳遞。13.如權(quán)利要求12所述的處理腔室，其中所述浸漬材料包括蠟、油脂、或順應(yīng)性聚合物。14.如權(quán)利要求13所述的處理腔室，其中所述浸漬材料是硅酮，其中所述硅酮包含嵌在所述硅酮中的顆粒，其中所述顆粒包括金屬片(flake)，且其中所述網(wǎng)狀物或羊毛狀物包含金屬或陶瓷。15.一種處理腔室，所述處理腔室包括: 腔室主體，所述腔室主體包括光學(xué)透明窗； 燈箱，所述燈箱設(shè)置成與所述光學(xué)透明窗鄰近，所述光學(xué)透明窗與所述燈箱之間有間隙，且一個(gè)或多個(gè)冷卻通道設(shè)置在所述燈箱中；及 多個(gè)順應(yīng)性導(dǎo)體，所述多個(gè)順應(yīng)性導(dǎo)體設(shè)置在所述燈箱與透明窗之間的所述間隙中，且與所述燈箱和透明窗接觸，其中所述順應(yīng)性導(dǎo)體包括涂層，所述涂層在所述順應(yīng)性導(dǎo)體與所述透明窗接觸的一端上。
【專(zhuān)利摘要】本文所述的實(shí)施方式大體涉及用于處理基板的設(shè)備。該設(shè)備大體包括處理腔室，該處理腔室包括燈箱，該燈箱包括多個(gè)燈，且定位成與光學(xué)透明窗鄰近。燈箱內(nèi)的燈提供輻射能至定位于基板支撐件上的基板。使用燈箱中的冷卻通道有助于光學(xué)透明窗的溫度控制。使用順應(yīng)性導(dǎo)體將燈箱熱耦接至光學(xué)透明窗。這些順應(yīng)性導(dǎo)體維持均一的傳導(dǎo)長(zhǎng)度，而與光學(xué)透明窗和燈箱的機(jī)械加工公差無(wú)關(guān)。均一的傳導(dǎo)長(zhǎng)度促進(jìn)精確的溫度控制。因?yàn)轫槕?yīng)性導(dǎo)體的長(zhǎng)度是均一的而與腔室部件的機(jī)械加工公差無(wú)關(guān)，所以對(duì)不同的處理腔室而言，傳導(dǎo)長(zhǎng)度是相同的。因此，多個(gè)處理腔室之間的溫度控制是均勻的，從而減少腔室與腔室間的變化。
【IPC分類(lèi)】H01L21/324, H01L21/02
【公開(kāi)號(hào)】CN105190851
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201480026049
【發(fā)明人】約瑟夫·M·拉內(nèi)什, 保羅·布里爾哈特
【申請(qǐng)人】應(yīng)用材料公司
【公開(kāi)日】2015年12月23日
【申請(qǐng)日】2014年4月15日
【公告號(hào)】US20140334806, WO2014182405A1