的材料，這樣可以制作出高質(zhì)量的納米周期性結(jié)構(gòu)的金屬彩色濾光片，由于金，銀在可見光波段具有較高的表面等離子體激發(fā)效率，采用金或銀制作周期性納米結(jié)構(gòu)的彩色濾光片可以得到優(yōu)良的光學(xué)性質(zhì)，如高透過率，較窄的透射譜線寬，從而能夠?qū)崿F(xiàn)顏色的精細(xì)調(diào)節(jié)，保證金屬彩色濾光片的高分辨率和高透過率，尤其相比之下，銀的納米結(jié)構(gòu)可以得到更高的透射強(qiáng)度和極窄的光譜線寬，從而能夠有效避免不同顏色間的交叉效應(yīng)。
[0060]在具體實(shí)施時(shí)，本發(fā)明實(shí)施例提供的上述有機(jī)電致發(fā)光顯示面板中，如圖7所示，還可以包括:偏光片8、光學(xué)膠9和玻璃蓋板10 ;偏光片8位于第二封裝薄膜6之上；光學(xué)膠9位于偏光片8與玻璃蓋板10之間，具體地，本發(fā)明實(shí)施例提供的上述有機(jī)電致發(fā)光顯示面板中，第二封裝薄膜之上還具有偏光片，通過光學(xué)膠將偏光片與玻璃蓋板貼合，完成顯示面板的整體貼合封裝，實(shí)現(xiàn)顯示面板的正常顯示功能。
[0061]在具體實(shí)施時(shí)，本發(fā)明實(shí)施例提供的上述有機(jī)電致發(fā)光顯示面板中，第二封裝薄膜的折射率與作為金屬彩色濾光片基底的第一封裝薄膜的折射率相匹配，具體地，本發(fā)明實(shí)施例提供的上述有機(jī)電致發(fā)光顯示面板中，采用與第一封裝薄膜的折射率相匹配的第二封裝薄膜對金屬彩色濾片進(jìn)行封裝，不僅可以保護(hù)具有周期性納米結(jié)構(gòu)的金屬彩色濾光片，還可以提高金屬彩色濾光片產(chǎn)生的光的透過率，有助于提高顯示面板的顯示效果。
[0062]在具體實(shí)施時(shí)，本發(fā)明實(shí)施例提供的上述有機(jī)電致發(fā)光顯示面板中，第二封裝薄膜的材料與第一封裝薄膜的材料相同，可以為二氧化硅材料，具體地，本發(fā)明實(shí)施例提供的上述有機(jī)電致發(fā)光顯示面板中，采用第二封裝薄膜對金屬彩色濾光片進(jìn)行保護(hù)，有利于后續(xù)制程工藝的進(jìn)行，其中第二封裝薄膜的材料可以采用二氧化硅，也可以采用其他可以實(shí)現(xiàn)保護(hù)金屬彩色濾光片的材料，在此不作限定，第二封裝薄膜可以阻擋水、氧等對金屬彩色濾光片的侵蝕，有利于后續(xù)制程工藝。
[0063]基于同一發(fā)明構(gòu)思，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的制備方法，如圖8所示，可以具體包括以下步驟:
[0064]S101、在柔性基板上通過構(gòu)圖工藝形成開關(guān)晶體管陣列；
[0065]S102、在形成有開關(guān)晶體管陣列的柔性基板上形成白色有機(jī)發(fā)光二極管；
[0066]S103、在形成有白色有機(jī)發(fā)光二極管的柔性基板上進(jìn)行薄膜封裝工藝，形成第一封裝薄膜；
[0067]S104、在形成有第一封裝薄膜的柔性基板上采用光刻工藝形成具有周期性納米結(jié)構(gòu)的金屬彩色濾光片；
[0068]S105、在形成有金屬彩色濾光片的柔性基板上進(jìn)行薄膜封裝工藝，形成第二封裝薄膜。
[0069]本發(fā)明實(shí)施例提供的上述有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的制備方法中，在柔性基板上形成白色有機(jī)發(fā)光二極管和具有周期性納米結(jié)構(gòu)的金屬彩色濾光片，這樣通過設(shè)置一層具有周期性納米結(jié)構(gòu)的金屬彩色濾光片，與白色有機(jī)發(fā)光二極管背光源整合在一起，可以實(shí)現(xiàn)彩色OLED顯示結(jié)構(gòu)，與現(xiàn)有的OLED彩色顯示結(jié)構(gòu)相比，本發(fā)明實(shí)施例提供的有機(jī)電致發(fā)光顯示面板只采用一道制作工序形成金屬彩色濾光片，相較于現(xiàn)有技術(shù)采用多次蒸鍍工藝形成RGB彩膜層，可以減少掩膜數(shù)量，簡化了 OLED顯示面板的制作工藝降低了生產(chǎn)成本，且采用周期性納米結(jié)構(gòu)的金屬彩色濾光片有利于開發(fā)高分辨率的產(chǎn)品。
[0070]在具體實(shí)施時(shí)，本發(fā)明實(shí)施例提供的上述有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的制備方法中，步驟S104，可以具體包括:采用等離子干刻工藝，或聚焦離子束刻蝕工藝，或納米壓印工藝，在形成有第一封裝薄膜的柔性基板上形成具有周期性納米結(jié)構(gòu)的金屬彩色濾光片，具體地，本發(fā)明實(shí)施例提供的上述有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的制備方法中，可以采用多種刻蝕工藝形成周期性納米結(jié)構(gòu)的金屬彩色濾光片，在此不作限定，形成的周期性納米結(jié)構(gòu)的金屬彩色濾光片，與白色有機(jī)發(fā)光二極管背光源整合在一起，可以實(shí)現(xiàn)彩色OLED顯示結(jié)構(gòu)，與現(xiàn)有的OLED彩色顯示結(jié)構(gòu)相比，本發(fā)明實(shí)施例提供的有機(jī)電致發(fā)光顯示面板只采用一道制作工序形成金屬彩色濾光片，相較于現(xiàn)有技術(shù)采用多次蒸鍍工藝形成RGB彩膜層，可以減少掩膜數(shù)量，簡化了 OLED顯示面板的制作工藝降低了生產(chǎn)成本，且采用周期性納米結(jié)構(gòu)的金屬彩色濾光片有利于開發(fā)高分辨率的產(chǎn)品。
[0071 ] 在具體實(shí)施時(shí)，本發(fā)明實(shí)施例提供的上述有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的制備方法中，形成的金屬彩色濾光片具有亞波長周期性納米結(jié)構(gòu)，具體地，本發(fā)明實(shí)施例提供的上述有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的制備方法中，形成的金屬彩色濾光片具有亞波長周期性納米結(jié)構(gòu)，這樣可利用金屬納米周期性結(jié)構(gòu)的表面等離子共振激發(fā)原理，不同周期及尺寸的金屬納米結(jié)構(gòu)在可見光波段選擇性透過一定波長、帶寬的光波，可以分別產(chǎn)生RGB等不同顏色，即通過調(diào)節(jié)周期結(jié)構(gòu)配合白色有機(jī)發(fā)光二極管產(chǎn)生的背光，進(jìn)而產(chǎn)生RGB等不同顏色的光譜，其中激發(fā)一個(gè)顏色的周期結(jié)構(gòu)構(gòu)成一個(gè)亞像素，RGB三種周期結(jié)構(gòu)構(gòu)成一個(gè)像素，這樣通過具有亞波長周期性納米結(jié)構(gòu)的金屬彩色濾光片，配合白色有機(jī)發(fā)光二極管產(chǎn)生的背光，即可實(shí)現(xiàn)OLED顯示面板的彩色顯示。
[0072]在具體實(shí)施時(shí)，本發(fā)明實(shí)施例提供的上述有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的制備方法中，形成的金屬彩色濾光片的亞波長周期性納米結(jié)構(gòu)為一維光柵周期性結(jié)構(gòu)或二維光柵周期性結(jié)構(gòu)，具體地，本發(fā)明實(shí)施例提供的上述有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的制備方法中，形成的金屬彩色濾光片具有的亞波長周期性納米結(jié)構(gòu)可以為條形的一維光柵結(jié)構(gòu)，或周期性的圓孔、三角形、矩形等二維光柵結(jié)構(gòu)，也可以為其他亞波長周期性結(jié)構(gòu)，在此不作限定，這樣可以通過調(diào)節(jié)光柵周期、孔徑直徑等參數(shù)來控制金屬彩色濾光片選擇透過一定波長、帶寬的光波，進(jìn)而分別產(chǎn)生RGB等不同顏色的光，即通過調(diào)節(jié)金屬彩色濾光片的亞波長周期性納米結(jié)構(gòu)，配合白色發(fā)光二極管產(chǎn)生的背光，可以實(shí)現(xiàn)OLED顯示面板的彩色顯示。
[0073]在具體實(shí)施時(shí)，本發(fā)明實(shí)施例提供的上述有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的制備方法中，步驟S104，可以具體包括:采用同一掩膜在形成有第一封裝薄膜的柔性基板上，通過一次構(gòu)圖工藝形成具有金屬網(wǎng)格結(jié)構(gòu)的觸控電極和具有周期性納米結(jié)構(gòu)的金屬彩色濾光片，具體地，本發(fā)明實(shí)施例提供的上述有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的制備方法中，可以采用一次構(gòu)圖工藝形成具有金屬網(wǎng)格結(jié)構(gòu)的觸控電極和具有周期性納米結(jié)構(gòu)的金屬彩色濾光片，這樣相對于現(xiàn)有技術(shù)單獨(dú)制作觸控功能層，且將觸控功能層通過光學(xué)膠分別與偏光片和玻璃蓋板貼合，本發(fā)明實(shí)施例提供的上述有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的制備方法中，采用一次構(gòu)圖工藝將觸控電極與金屬彩色濾光片同層設(shè)置，可以減少OLED顯示面板的制作工藝降低生產(chǎn)成本，同時(shí)將觸控功能內(nèi)嵌到顯示面板中，可以減薄顯示面板的厚度。
[0074]下面以具體實(shí)施例來介紹本發(fā)明提供的有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的結(jié)構(gòu)及制備方法，具體如下:
[0075]其中，以采用金屬鋁形成的一維條形光柵結(jié)構(gòu)的金屬彩色濾光片為例進(jìn)行說明，首先在柔性基板上進(jìn)行低溫多晶硅或氧化物開關(guān)晶體管陣列工藝制程；然后進(jìn)行白色有機(jī)發(fā)光二極管的工藝制程；之后進(jìn)行薄膜封裝工藝形成第一封裝薄膜；而后采用光刻法曝光形成一維光柵結(jié)構(gòu)，具體地，沉積一定厚度的鋁(厚度可以為100-200nm)，使用聚焦離子束方法刻蝕金屬膜層，得到一維條形光柵結(jié)構(gòu)；進(jìn)而通過調(diào)節(jié)光柵周期來控制產(chǎn)生RGB三種顏色的透射光譜(