降低透明導(dǎo)電性膜的表面電阻值（例如， 小于150Q/ □)，進(jìn)行了增厚導(dǎo)電層的厚度的嘗試，但根據(jù)本導(dǎo)電性膜，由于在高溫下具有 高的熱尺寸穩(wěn)定性，因此能夠高溫下形成導(dǎo)電層，即使不增厚導(dǎo)電層的厚度，也可以得到足 夠低的表面低電阻值。
[0151] 作為透明導(dǎo)電層的形成方法，已知真空蒸鍍法、濺射法、CVD法、離子鍍法、噴霧法 等，可以根據(jù)材料的種類和所需的膜厚選擇使用適當(dāng)?shù)姆椒ā＠?，濺射法的情況下，可采 用使用了化合物靶的通常的濺射、使用了金屬靶的反應(yīng)性濺射等。此時(shí)，也可以導(dǎo)入氧、氮、 水蒸氣等反應(yīng)性氣體，或并用臭氧添加、離子輔助等方法。
[0152] 作為上述透明導(dǎo)電層的形成條件，優(yōu)選為溫度150°C~220°C的范圍。例如，通過(guò) 濺射法在膜上形成透明導(dǎo)電層時(shí)，通常的濺射溫度為室溫~l〇〇°C左右。與此相對(duì)，本導(dǎo)電 性膜所用的透明層疊膜如上所述熱尺寸穩(wěn)定優(yōu)異，因此即使在如上述的相對(duì)高的溫度下例 如150°C~220°C，也可以進(jìn)行濺射而將無(wú)機(jī)氧化膜制膜，因此由此可充分地促進(jìn)透明導(dǎo)電 層的結(jié)晶化，可以得到表面電阻值小的透明導(dǎo)電性膜。
[0153] <底涂層>
[0154] 在透明層疊膜上形成透明導(dǎo)電層時(shí)，優(yōu)選介由底涂層。通過(guò)介由底涂層，可以提高 透明導(dǎo)電層的密合性和結(jié)晶性。
[0155] 底涂層的材料只要是樹脂材料則沒有特別限定。例如，可以很好地使用聚（甲基） 丙烯酸酯、環(huán)氧樹脂、聚氨酯樹脂、聚酯樹脂等。除此以外，也可以使用含有光或熱聚合性化 合物的組合物，使其聚合而形成底涂層。
[0156] 此外，若底涂層的平坦性差，則有可能阻礙透明導(dǎo)電層的結(jié)晶生長(zhǎng)，因此底涂層優(yōu) 選實(shí)質(zhì)上不含微粒。
[0157] 此時(shí)，"實(shí)質(zhì)上不含微粒"是指無(wú)機(jī)微粒的含量為底涂層整體的5質(zhì)量％以下，優(yōu)選 為3質(zhì)量％以下，特別優(yōu)選為1質(zhì)量％以下。
[0158] 此外，本導(dǎo)電性膜中，透明層疊膜的交聯(lián)樹脂層中含有微粒時(shí)，優(yōu)選在透明層疊膜 上形成透明導(dǎo)電層時(shí)夾入上述底涂層。
[0159] 通過(guò)如此夾入底涂層，從可以提高表面平滑性、提高透明導(dǎo)電層的連續(xù)性的理由 出發(fā)，可以減小本導(dǎo)電性膜的表面電阻值。
[0160] < 物性 >
[0161] 接著，對(duì)本導(dǎo)電性膜和本導(dǎo)電性膜所用的透明層疊膜可具備的各種物性進(jìn)行說(shuō) 明。
[0162] (熱收縮率）
[0163] 本導(dǎo)電性膜所用的透明層疊膜優(yōu)選在200°C加熱10分鐘時(shí)的縱向（MD方向）和橫 向（I'D方向）的任一方向的收縮率為在相同條件下測(cè)定的基材膜的熱收縮率的70%以下。
[0164] 通過(guò)該透明層疊膜具有該范圍的收縮率，具有減少形成電路或元件時(shí)的尺寸偏 差，且在使無(wú)機(jī)阻隔層層疊時(shí)也可得到更高的阻隔性的優(yōu)點(diǎn)。
[0165] 尤其對(duì)于雙軸拉伸膜等而言，可以在制膜工序中通過(guò)橫向的松弛處理減少收縮 率，但縱向的松弛處理大多需要另外的工序，一般而言，縱向的收縮率相對(duì)變大。因此，本導(dǎo) 電性膜特別優(yōu)選使縱向的收縮率減少。
[0166] 此外，本導(dǎo)電性膜所用的透明層疊膜優(yōu)選具備基材膜和交聯(lián)樹脂層，且在溫度 200°C加熱10分鐘時(shí)的熱收縮率為1. 5%以下。
[0167] 通過(guò)在基材膜的表背兩側(cè)具備具有基材膜的厚度的8%以上的厚度的交聯(lián)樹脂 層，該交聯(lián)樹脂層可對(duì)抗高溫區(qū)域的基材膜的收縮應(yīng)力而緩和收縮。因此，可以如上所述提 高相對(duì)于高溫時(shí)的收縮的透明層疊膜的熱尺寸穩(wěn)定性。
[0168] 本導(dǎo)電性膜由于是在這樣高溫下具備高的熱尺寸穩(wěn)定性的透明層疊膜上具有透 明導(dǎo)電層的構(gòu)成，因此可以在高溫環(huán)境下（具體而言150~220°C)形成透明導(dǎo)電層，可以 使導(dǎo)電層的結(jié)晶化充分地進(jìn)行，可以具有低的表面電阻值。
[0169] (表面電阻值）
[0170] 本導(dǎo)電性膜的表面電阻值優(yōu)選為150D/ □以下，更優(yōu)選為100D/□以下。通過(guò) 本導(dǎo)電性膜有這種范圍的表面電阻值，具有減少顯示器設(shè)備的輸電損失、減少將觸控面板 感應(yīng)器大型化時(shí)的應(yīng)答速度不均等優(yōu)點(diǎn)。
[0171] 通過(guò)在150~220°C的溫度環(huán)境中將無(wú)機(jī)氧化膜制膜，可以提高無(wú)機(jī)氧化膜的結(jié) 晶性，可以提高表面電阻值。
[0172] <本導(dǎo)電性膜等的制造方法>
[0173] 本導(dǎo)電性膜所用的透明層疊膜可以通過(guò)在基材膜的表背兩側(cè)涂布固化性組合物 使其固化而形成交聯(lián)樹脂層來(lái)進(jìn)行制造。
[0174] 作為涂布固化性組合物等的方法，例如可舉出通過(guò)棒式涂布、邁耶棒涂布、氣刀涂 布、凹版涂布、反向凹版涂布、膠版印刷、柔版印刷、絲網(wǎng)印刷、浸漬涂布等將固化性組合物 涂布于基材膜的方法。此外，在玻璃、聚酯膜上將交聯(lián)樹脂層成型后，將成型的交聯(lián)樹脂層 轉(zhuǎn)印至基材膜的方法也有效。
[0175] 作為如上述將固化性組合物涂布于基材膜后，使該固化性組合物固化（交聯(lián)）的 方法，可以單獨(dú)或組合使用熱固化、紫外線固化、電子射線固化等方法。其中，從可短時(shí)間且 相對(duì)容易地達(dá)成固化出發(fā)，優(yōu)選使用利用紫外線固化的方法。
[0176] 通過(guò)紫外線使其固化時(shí)，使用具有氙燈、高壓水銀燈、金屬鹵化物燈作為光源的紫 外線照射裝置，根據(jù)需要調(diào)整光量、光源的配置等。
[0177] 此外，使用高壓水銀燈時(shí)，優(yōu)選相對(duì)于具有80~160W/cm的光量的1盞燈以輸送 速度5~60m/分鐘使其固化。
[0178] 另一方面，利用電子射線使其固化時(shí)，優(yōu)選使用具有100~500eV能量的電子射線 加速裝置。
[0179] < 用途 >
[0180] 如上所述，本導(dǎo)電性膜具有維持透明性且加熱處理所致的尺寸變化（熱尺寸穩(wěn)定 性）少、表面電阻值小的優(yōu)點(diǎn)。因此，本導(dǎo)電性膜除了例如液晶顯示器、有機(jī)發(fā)光顯示器 (OLED)、電泳顯示器（電子紙）、觸控面板等顯示器材料的基板或太陽(yáng)能電池的基板以外， 還可以很好地用于光電元件基板等。
[0181] 此外，本導(dǎo)電膜由于具備如上述的優(yōu)點(diǎn)，因此通過(guò)進(jìn)行氣體阻隔加工，也可很好地 用于有機(jī)EL等半導(dǎo)體設(shè)備、液晶顯示元件和太陽(yáng)能電池用途。
[0182] 此外，本導(dǎo)電性膜也可以對(duì)設(shè)置于基材膜的交聯(lián)樹脂層的一面或兩面實(shí)施氣體阻 隔加工而用作具有氣體阻隔性的氣體阻隔膜（稱為"本阻隔膜"）。
[0183] 以往，將聚酯膜用作氣體阻隔加工用膜時(shí)，存在氣體阻隔層產(chǎn)生裂痕或產(chǎn)生皺紋 而無(wú)法充分表現(xiàn)包含氣體阻隔性的功能等問(wèn)題。與此相對(duì)，本阻隔膜在無(wú)上述問(wèn)題的方面 優(yōu)異。
[0184] 本阻隔膜除有機(jī)EL等有機(jī)半導(dǎo)體設(shè)備或液晶顯示元件以外，也可很好地用于太 陽(yáng)能電池等要求氣體阻隔性和導(dǎo)電性的用途。
[0185] 應(yīng)予說(shuō)明，氣體阻隔加工是將由金屬氧化物等無(wú)機(jī)物質(zhì)或有機(jī)物等的氣體阻隔性 高的材料構(gòu)成的氣體阻隔層形成于本導(dǎo)電性膜所用的透明層疊膜、本層疊膜和本氣體阻隔 性膜的交聯(lián)樹脂層的至少單面的加工方法。
[0186] 此時(shí)，作為氣體阻隔性高的材料，例如可舉出硅、鋁、鎂、鋅、錫、鎳、鈦、或它們的氧 化物、碳化物、氮化物、碳氧化物、氮氧化物、碳氮氧化物、類金剛石碳或它們的混合物等。其 中，從用于太陽(yáng)能電池等時(shí)不擔(dān)心漏電的方面出發(fā)，優(yōu)選為氧化硅、碳氧化硅、氮氧化硅、碳 氮氧化硅、氧化鋁、碳氧化鋁和氮氧化鋁等無(wú)機(jī)氧化物、氮化硅和氮化鋁等氮化物、類金剛 石碳以及它們的混合物。從可穩(wěn)定地維持高的氣體阻隔性的方面出發(fā)，特別優(yōu)選為氧化硅、 碳氧化娃、氮氧化娃、碳氮氧化娃、氮化娃、氧化鋁、碳氧化鋁、氮氧化鋁、氮化鋁和它們的混 合物。
[0187] 作為使用上述材料將氣體阻隔層形成于本導(dǎo)電性膜的方法，蒸鍍法、涂覆法等方 法均可以采用。從可得到氣體阻隔性高的均勻的薄膜的方面考慮，優(yōu)選為蒸鍍法。
[0188] 該蒸鍍法包含物理氣相蒸鍍（PVD)或化學(xué)氣相蒸鍍（CVD)等方法。
[0189] 作為物理氣相蒸鍍法，可舉出真空蒸鍍、離子鍍、濺射等。
[0190] 作為化學(xué)氣相蒸鍍法，可舉出利用等離子體的等離子體CVD、使用加熱催化劑體將 材料氣體接觸熱分解的催化劑化學(xué)氣相生長(zhǎng)法（Cat-CVD)等。
[0191] 從穩(wěn)定的氣體阻隔性的顯現(xiàn)和透明性的方面出發(fā)，氣體阻隔層的厚度優(yōu)選為 IOnm~lOOOnm，其中更優(yōu)選為40nm以上或800nm以下，其中特別進(jìn)一步優(yōu)選為50nm以上 或600nm以下。
[0192] 此外，氣體阻隔層可為單層也可為多層。在氣體阻隔層為多層時(shí)，各層可以由相同 的材料構(gòu)成，也可以由不同的材料構(gòu)成。
[0193] 本阻隔膜的40°C90%的水蒸氣透過(guò)率優(yōu)選小于0.UgAm2?天）]，更優(yōu)選為 0? 06 [g/ (m2?天）]以下，進(jìn)一步優(yōu)選為0? 03 [g/ (m2?天）]以下。
[0194] 水蒸氣透過(guò)率的測(cè)定方法可以按照J(rèn)ISZ0222"防濕包裝容器的透濕度試驗(yàn)方法"、 JISZ0208 "防濕包裝材料的透濕度試驗(yàn)方法（卡普法）"的各條件，具體而言通過(guò)實(shí)施例 所記載的方法進(jìn)行測(cè)定。
[0195][本層疊膜]
[0196] 本發(fā)明的實(shí)施方式的一個(gè)例子所涉及的本層疊膜是具備透明層疊膜的層疊膜，該 透明層疊膜在如上所述的基材膜的表背兩側(cè)具有特殊的交聯(lián)樹脂層。
[0197] 本層疊膜在基材膜的表背兩側(cè)具有規(guī)定的交聯(lián)樹脂層，因此該交聯(lián)樹脂層可以對(duì) 抗高溫區(qū)域的基材膜的收縮應(yīng)力而緩和收縮。因此，可以提高本層疊膜相對(duì)于高溫時(shí)的收 縮的尺寸穩(wěn)定性。
[0198] 作為觸控面板、有機(jī)EL顯示器和有機(jī)EL照明的基板材料使用的樹脂膜為了輕量 化、薄型化和低成本化，要求減薄膜厚度。一般而言，以擠出成型得到樹脂膜時(shí)，為了減薄厚 度，使熔融狀態(tài)的樹脂伸長(zhǎng)而減薄，或?qū)⒓訜嶂敛ＡЩD(zhuǎn)變溫度以上的樹脂膜拉伸而得到。
[0199]S卩，隨著減薄樹脂膜，對(duì)成型施加的外部應(yīng)力增大，其結(jié)果，成為殘留應(yīng)力大的樹 脂膜。因此將具有100ym以下的厚度的樹脂膜用于經(jīng)過(guò)電路形成等高溫工藝的用途時(shí)，出 現(xiàn)以下問(wèn)題，即該殘留應(yīng)力在高溫時(shí)緩和而產(chǎn)生尺寸變化。
[0200] 因此，本層疊膜通過(guò)在特定厚度的基材膜具體而言75ym以下、更優(yōu)選為70ym以 下的基材膜的表背兩側(cè)設(shè)置厚度合計(jì)為基材膜的8%以上的交聯(lián)樹脂層，從而交聯(lián)樹脂層 顯著地抑制基材膜的高溫時(shí)的收縮，可以得到熱尺寸穩(wěn)定性優(yōu)異的透明的層疊膜。
[0201] <基材膜>
[0202] 本層疊膜具有在溫度200°C加熱10分鐘時(shí)的熱收縮率低于基材膜，例如70%以下 的性質(zhì)。即，使用在相同條件下的熱收縮率高的基材膜時(shí)，可以發(fā)揮特別顯著的效果。若從 這種觀點(diǎn)出發(fā)，則作為本層疊膜的基材膜，優(yōu)選使用在溫度200°C加熱10分鐘時(shí)的收縮率 比較高的、由聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯樹脂構(gòu)成的雙軸拉伸膜。
[0203] 基材膜的厚度優(yōu)選為75ym以下，其中更優(yōu)選為5ym以上或75ym以下，其中進(jìn) 一步優(yōu)選為10Um以上或70ym以下，其中最優(yōu)選為20ym以上或60ym以下。通過(guò)設(shè)為 這種范圍，可以得到光線透射率提高、處理性能高等優(yōu)點(diǎn)。
[0204] <交聯(lián)樹脂層>
[0205] 本層疊膜中的交聯(lián)樹脂層可以使用含有光聚合性化合物、光聚合引發(fā)劑和微粒的 固化性組合物形成。該光聚合性化合物等的各成分可使用上述所例示的物質(zhì)。其中，光聚 合性化合物優(yōu)選為1分子內(nèi)具有2個(gè)以上的丙烯酰基或甲基丙烯?；墓饩酆闲裕谆?丙烯酸酯單體或低聚物，更優(yōu)選為1分子內(nèi)具有1個(gè)以上的脂環(huán)式結(jié)構(gòu)的脂環(huán)式多官能丙 烯酸酯單體。
[0206](微粒）
[0207] 通過(guò)本層疊膜中的交聯(lián)樹脂層含有微粒，可以具有優(yōu)異的高溫尺寸穩(wěn)定性。
[0208] 作為上述微粒，優(yōu)選使用平均粒徑為Inm~200nm的范圍的微粒，其中，特別優(yōu)選 使用平均粒徑為Inm以上或IOnm以下，其中特別優(yōu)選使用4nm以上或50nm以下的范圍的 微粒。通過(guò)使用平均粒徑在該范圍的微粒，不會(huì)對(duì)由于米氏散射現(xiàn)象而入射的光產(chǎn)生散射 現(xiàn)象，可以確保膜的透明性。
[0209](含有比例）
[0210] 作為上述固化性組合物中所含的上述光聚合性化合物（A)的含量，相對(duì)于固化性 組合物整體，優(yōu)選設(shè)為9~50質(zhì)量％ (使用溶劑時(shí)換算成固體成分，以下相同），其中更優(yōu) 選設(shè)為15質(zhì)量％以上或45質(zhì)量％以下，其中最優(yōu)選設(shè)為19質(zhì)量％以上或40質(zhì)量％以下。 若光聚合性化合物（A)的含量少，則微粒的分散變得困難，因此微粒彼此產(chǎn)生凝聚，透明性 顯著變差。此外，通過(guò)使光聚合性化合物（A)的含量不過(guò)多，可以消除微粒對(duì)膜整體的熱尺 寸穩(wěn)定性的作用減半、無(wú)法發(fā)揮微粒具有的優(yōu)異的熱尺寸穩(wěn)定性的可能性。
[0211] 作為上述固化性組合物中所含的上述光聚合引發(fā)劑（B)的含量，相對(duì)于固化性組 合物整體，優(yōu)選設(shè)為0. 1質(zhì)量％~10質(zhì)量％，其中更優(yōu)選設(shè)為0.5質(zhì)量％以上或5質(zhì)量％ 以下。通過(guò)設(shè)為這種范圍，可以可靠地高效率地進(jìn)行固化性組合物的固化反應(yīng)。
[0212] 作為上述固化性組合物中所含的上述微粒（C)的含量，相對(duì)于固化性組合物整 體，優(yōu)選設(shè)為10~90質(zhì)量％，其中進(jìn)一步優(yōu)選為20質(zhì)量％以上或84質(zhì)量％以下，其中進(jìn) 一步優(yōu)選為70質(zhì)量％以上或80質(zhì)量％以下。通過(guò)設(shè)為這種范圍，可以在微?？煞稚⒌姆?圍內(nèi)維持透明性，并且最大限度地發(fā)揮優(yōu)異的熱尺寸穩(wěn)定性。
[0213] 以上之中，關(guān)于上述固化性組合物中所含的上述光聚合性化合物和微粒的含有比 例，優(yōu)選設(shè)為光聚合性化合物（A) 9~50質(zhì)量％、光聚合引發(fā)劑（B)O. 1~10質(zhì)量％和微粒 (C) 10~90質(zhì)量％的含有比例，其中，更優(yōu)選設(shè)為光聚合性化合物（A) 15~45質(zhì)量％、光聚 合引發(fā)劑（B)O. 5~5質(zhì)量％和微粒（C) 20~84質(zhì)量％，其中，更優(yōu)選設(shè)為光聚合性化合物 (A)19~40質(zhì)量％、光聚合引發(fā)劑（B)O. 5~5質(zhì)量％和微粒（C) 70~80質(zhì)量％。通過(guò)設(shè) 為這種含有比例，可以最大限度地發(fā)揮微粒所具有的優(yōu)異的熱尺寸穩(wěn)定性，并且高效率地 穩(wěn)定地供給具備透明性、生產(chǎn)率的層疊膜。
[0214](交聯(lián)樹脂層的厚度）
[0215] 本層疊膜中的交聯(lián)樹脂層的表背兩側(cè)的合計(jì)厚度優(yōu)選為基材膜的厚度的8%以 上，其中，進(jìn)一步優(yōu)選為基材膜的厚度的10%以上，其中，特別進(jìn)一步優(yōu)選為基材膜的厚度 的12%以上或50%以下，其中，進(jìn)一步優(yōu)選為20%以上或45%以下，進(jìn)而，其中最優(yōu)選為大 于30 %且45%以下。
[0216] 若交聯(lián)樹脂層薄，則作為層疊膜整體的剛性變小，難以抑制高溫時(shí)的基材膜的收 縮。另一方面，若固化層過(guò)厚，則容易產(chǎn)生裂痕、破裂，不優(yōu)選。
[0217](本層疊膜的物性）
[0218] 接著，對(duì)本層疊膜可具備的各種物性進(jìn)行說(shuō)明。
[0219](全光線透射率）
[0220] 本層疊膜的全光線透射率優(yōu)選為80%以上，進(jìn)一步優(yōu)選為85%以上。通過(guò)本層疊 膜具有該范圍的全光線透射率，可以抑制照明或顯示器等情況下的光的衰減，變得更明亮。 此外，作為太陽(yáng)能電池構(gòu)件，可得到可吸收更多的光等優(yōu)點(diǎn)。應(yīng)予說(shuō)明，通過(guò)調(diào)整交聯(lián)樹脂 層中的樹脂的種類、微粒的種類和粒徑、微粒的含量等，可以調(diào)整本層疊膜的光線透射率。
[0221] (熱收縮率）
[0222] 本層疊膜由于上述理由，優(yōu)選在200°C加熱10分鐘時(shí)的縱向（MD方向）和橫向（TD 方向）的至少任一方向的收縮率為相同條件下測(cè)定的基材膜的熱收縮率的70%以下。
[0223] 本層疊膜通過(guò)具有該范圍的收縮率，如上所述具有減少形成電路或元件時(shí)的尺寸 偏差，以及在層疊無(wú)機(jī)阻隔層時(shí)也可得到更高的阻隔性的優(yōu)點(diǎn)。本層疊膜也由于上述理由， 特別優(yōu)選減少縱向的收縮率。
[0224] <本層疊膜的制造方法>
[0225] 本層疊膜可以通過(guò)在基材膜的表背兩側(cè)涂布固化性組合物使其固化而形成交聯(lián) 樹脂層來(lái)制造。
[0226] 形成交聯(lián)樹脂層的方法與上述本導(dǎo)電性膜同樣。
[0227] <本層疊膜的用途>
[0228] 如上所述，本層疊膜具有維持透明性并且加熱處理所致的尺寸變化（熱尺寸穩(wěn)定 性）少的優(yōu)點(diǎn)，因此可以很好地用于上述所例示的用途。例如，可以在本層疊膜上形成氣體 阻隔層而作為氣體阻隔膜使用（詳細(xì)內(nèi)容基于本導(dǎo)電性膜的本阻隔膜）。
[0229][本氣體阻隔性膜]
[0230] 本發(fā)明的實(shí)施方式的一個(gè)例子所涉及的本氣體阻隔性膜是具備以下構(gòu)成的氣體 阻隔性層疊膜：具備在如上所述的基材膜的兩面具有如上所述的交聯(lián)樹脂層的透明層疊 膜，進(jìn)而，在該交聯(lián)樹脂層的至少一面具備規(guī)定的氣體阻隔層。
[0231] 本氣體阻隔性膜由于具備在基材膜的兩面具有規(guī)定的交聯(lián)樹脂層且在該交聯(lián)樹 脂層的至少一面具有規(guī)定的氣體阻隔層的構(gòu)