一種設(shè)有泵送管道壓力監(jiān)控裝置的化學(xué)干法蝕刻機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，具體涉及一種設(shè)有泵送管道壓力監(jiān)控裝置的化學(xué)干法蝕刻機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中的化學(xué)干法蝕刻機(jī)，工藝室泵送管道外側(cè)沒有設(shè)置監(jiān)測檢測壓力改變的裝置。如果工具接到“排氣無法在設(shè)定的時(shí)間內(nèi)完成”的警報(bào)，這意味著工藝室無法將氣體排到基準(zhǔn)壓力(低于7.5毫托)外。造成這種情況的原因如下:
1、干泵效率衰減；
2、泵送管道O型圈損壞；
3、APC組件故障；
4、隔離閥故障等。
[0003]由于不知道泵送管道的壓力，我們可能浪費(fèi)大量的時(shí)間來逐一排查可能造成故障的原因。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提供一種設(shè)有泵送管道壓力監(jiān)控裝置的化學(xué)干法蝕刻機(jī)，能夠監(jiān)控泵送管道的壓力改變，實(shí)時(shí)消除泵送管道前級APC組件和隔離閥的故障，防止泵送管道泄露。
[0005]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):一種設(shè)有泵送管道壓力監(jiān)控裝置的化學(xué)干法蝕刻機(jī)，其特點(diǎn)是，包含:通過泵送管道依次連接的工藝室、隔離閥、自動(dòng)壓力控制器及干泵；
上述的自動(dòng)壓力控制器與干泵之間設(shè)置數(shù)字壓力檢測器；
上述的數(shù)字壓力檢測器設(shè)置在泵送管道的外側(cè)；
上述的數(shù)字壓力檢測器用于檢測泵送管道壓力改變。
[0006]上述的泵送管道外側(cè)均布多個(gè)O型圈。
[0007]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn):由于設(shè)有數(shù)字壓力檢測器，能夠監(jiān)控泵送管道的壓力改變，實(shí)時(shí)消除泵送管道前級APC組件和隔離閥的故障，檢測O型圈是否破壞。
【附圖說明】
[0008]圖1為本發(fā)明一種設(shè)有泵送管道壓力監(jiān)控裝置的化學(xué)干法蝕刻機(jī)整體結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0009]以下結(jié)合附圖，通過詳細(xì)說明一個(gè)較佳的具體實(shí)施例，對本發(fā)明做進(jìn)一步闡述。
[0010]如圖1所示，一種設(shè)有泵送管道壓力監(jiān)控裝置的化學(xué)干法蝕刻機(jī)，包含通過泵送管道3依次連接的工藝室1、隔離閥4、自動(dòng)壓力控制器5及干泵2 ；自動(dòng)壓力控制器5與干泵2之間設(shè)置市售的數(shù)字壓力檢測器6 ;數(shù)字壓力檢測器6設(shè)置在泵送管道3的外側(cè)；數(shù)字壓力檢測器6用于檢測泵送管道3壓力改變。泵送管道3外側(cè)均布多個(gè)O型圈31。
[0011]具體應(yīng)用:當(dāng)工藝室遇到“排氣無法在設(shè)定的時(shí)間內(nèi)完成”時(shí)，我們可以堵住自動(dòng)壓力控制器5與泵送管道3之間的端口，通過數(shù)字壓力檢測器6監(jiān)控泵送管道3的眼里改變，從而確定泵送管道3的O型圈31是否被破壞。
[0012]盡管本發(fā)明的內(nèi)容已經(jīng)通過上述優(yōu)選實(shí)施例作了詳細(xì)介紹，但應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到上述的描述不應(yīng)被認(rèn)為是對本發(fā)明的限制。在本領(lǐng)域技術(shù)人員閱讀了上述內(nèi)容后，對于本發(fā)明的多種修改和替代都將是顯而易見的。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)由所附的權(quán)利要求來限定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種設(shè)有泵送管道壓力監(jiān)控裝置的化學(xué)干法蝕刻機(jī)，其特征在于，包含:通過泵送管道(3)依次連接的工藝室(I)、隔離閥(4)、自動(dòng)壓力控制器(5)及干泵(2)； 所述的自動(dòng)壓力控制器(5)與干泵(2)之間設(shè)置數(shù)字壓力檢測器(6)； 所述的數(shù)字壓力檢測器(6)設(shè)置在泵送管道(3)的外側(cè)； 所述的數(shù)字壓力檢測器(6)用于檢測泵送管道(3)壓力改變。2.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)干法蝕刻機(jī)，其特征在于，所述的泵送管道(3)外側(cè)均布多個(gè)O型圈(31)。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種設(shè)有泵送管道壓力監(jiān)控裝置的化學(xué)干法蝕刻機(jī)，包含通過泵送管道依次連接的工藝室、隔離閥、自動(dòng)壓力控制器及干泵；自動(dòng)壓力控制器與干泵之間設(shè)置數(shù)字壓力檢測器；數(shù)字壓力檢測器設(shè)置在泵送管道的外側(cè)；數(shù)字壓力檢測器用于檢測泵送管道壓力改變。泵送管道外側(cè)均布多個(gè)O型圈。本發(fā)明能夠監(jiān)控泵送管道的壓力改變，實(shí)時(shí)消除泵送管道前級APC組件和隔離閥的故障，防止泵送管道泄露。
【IPC分類】H01L21/66, H01L21/306
【公開號】CN104900508
【申請?zhí)枴緾N201410075877
【發(fā)明人】張程, 王旭東
【申請人】上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司
【公開日】2015年9月9日
【申請日】2014年3月4日