結(jié)果為否的情況下，判定是否通過(guò)光標(biāo)220向下側(cè)(最小值側(cè))移動(dòng)操作了第I調(diào)整滑塊205 (步驟S160)。
[0059]在步驟S160中的判定結(jié)果為否的情況下，返回到Al，向步驟SlOO前進(jìn)。此外，在步驟S160中的判定結(jié)果為是的情況下，判定第I調(diào)整滑塊205是否位于第一設(shè)定值調(diào)整軸顯示部202的下限(步驟S170)。在步驟S170中的判定結(jié)果為否的情況下，使第I調(diào)整滑塊205向下側(cè)(最小值側(cè))移動(dòng)光標(biāo)220的操作量(步驟S171)，根據(jù)第I調(diào)整滑塊205的移動(dòng)量移動(dòng)第2調(diào)整滑塊204 (步驟S172)，返回到Al，向步驟SlOO前進(jìn)。
[0060]此外，在步驟S170中的判定結(jié)果為是的情況下，判定第2調(diào)整滑塊204是否位于第I設(shè)定值調(diào)整軸顯示部202的下限(步驟S180)，在判定結(jié)果為否的情況下，僅使第2調(diào)整滑塊204向下側(cè)(最小值側(cè))移動(dòng)(步驟S181)，返回到Al，向步驟SlOO前進(jìn)。此外，在步驟S180中的判定結(jié)果為是的情況下，使第I調(diào)整軸顯示部202的顯示范圍與第I調(diào)整滑塊205和第2調(diào)整滑塊204 —起向下側(cè)(最小值側(cè))移動(dòng)(步驟S190)，顯示第2調(diào)整軸顯示部211 (步驟S200)，返回到Al，向步驟SlOO前進(jìn)。
[0061]圖7是表示通過(guò)光標(biāo)選擇了第2調(diào)整滑塊時(shí)的基于計(jì)算機(jī)部的數(shù)值設(shè)定部顯示處理的細(xì)節(jié)的流程圖。
[0062]首先，計(jì)算機(jī)部15判定是否通過(guò)由鼠標(biāo)19操作的光標(biāo)220選擇了第2調(diào)整滑塊204(步驟S300)，在判定結(jié)果為否的情況下結(jié)束處理。此外，在步驟S300中的判定結(jié)果為是的情況下，使第I調(diào)整滑塊20向第2調(diào)整滑塊204的位置移動(dòng)(步驟S310)。
[0063]接著，判定是否向上側(cè)(最大值側(cè))移動(dòng)操作了第2調(diào)整滑塊204(步驟S320)，在判定結(jié)果為是的情況下，判定第2調(diào)整滑塊204是否位于第I調(diào)整軸顯示部202的上限(步驟S330)。在步驟S330中的判定結(jié)果為是的情況下，使第I調(diào)整軸顯示部202與第I和第2調(diào)整滑塊205、204 —起向上側(cè)移動(dòng)(步驟S340)，接著，向步驟S380的處理前進(jìn)。此外，在步驟S330中的判定結(jié)果為否的情況下，使第I和第2調(diào)整滑塊205、204向上側(cè)移動(dòng)與操作量對(duì)應(yīng)的量(步驟S331)，接著向步驟S380的處理前進(jìn)。
[0064]此外，在步驟S320中的判定結(jié)果為否的情況下，判定是否向下側(cè)(最小值側(cè))移動(dòng)操作了第2調(diào)整滑塊204 (步驟S350)，在判定結(jié)果為是的情況下，判定第2調(diào)整滑塊204是否位于第I調(diào)整軸顯示部202的下限(步驟S360)。在步驟S360中的判定結(jié)果為是的情況下，使第I調(diào)整軸顯示部202與第I和第2調(diào)整滑塊205、204 —起向下側(cè)移動(dòng)(步驟S370)，接著向步驟S380的處理前進(jìn)。此外，在步驟S360中的判定結(jié)果為否的情況下，使第I和第2調(diào)整滑塊205、204向下側(cè)移動(dòng)與操作量對(duì)應(yīng)的量(步驟S361)，接著向步驟S380的處理前進(jìn)。此外，在步驟S350中的判定結(jié)果為否的情況下，接著向步驟S380的處理前進(jìn)。
[0065]在步驟S380中，判定是否通過(guò)光標(biāo)220選擇了第I調(diào)整滑塊205 (步驟S380)，在判定結(jié)果為是的情況下，返回到BI向步驟S300前進(jìn)。此外，在步驟S380中的判定結(jié)果為否的情況下，使第I和第2調(diào)整滑塊205、204移動(dòng)至第I調(diào)整軸顯示部202的中央(步驟S380)，返回到BI向步驟S300前進(jìn)。
[0066]對(duì)如上所述地構(gòu)成的本實(shí)施方式的效果進(jìn)行說(shuō)明。
[0067]作為現(xiàn)有技術(shù)，已知的有:為了進(jìn)行帶電粒子束裝置的控制，為了變更帶電粒子束裝置所具備的至少成為一個(gè)控制對(duì)象的裝置的設(shè)定值來(lái)控制裝置，而具備具有以用戶可移動(dòng)操作其位置的方式設(shè)置的標(biāo)記的圖形用戶界面上的滑塊和用于進(jìn)行標(biāo)記的位置移動(dòng)操作的指示器的帶電粒子束裝置。
[0068]在上述現(xiàn)有技術(shù)中，用戶激活滑塊上的標(biāo)記位置的移動(dòng)操作時(shí)，將從取得的標(biāo)記的基準(zhǔn)位置開始的位移量通過(guò)變換單元換算成變更速度值，并將基于該換算值的指令以由定時(shí)器設(shè)定的一定時(shí)間間隔發(fā)送給裝置。然后，在激活了標(biāo)記位置的移動(dòng)操作的期間，繼續(xù)進(jìn)行對(duì)根據(jù)重新取得的從標(biāo)記的基準(zhǔn)位置開始的位移量更新后的指令進(jìn)行裝置發(fā)送的處理，由此裝置設(shè)定值的變更速度根據(jù)從標(biāo)記的基準(zhǔn)位置開始的位移量而變化。
[0069]然而，在上述現(xiàn)有技術(shù)中存在如下的問(wèn)題點(diǎn)。
[0070]S卩，在現(xiàn)有技術(shù)中，在標(biāo)記位置的移動(dòng)操作激活期間繼續(xù)裝置的設(shè)定值的變更。因此，在該情況下，很難在設(shè)定值變?yōu)檫m當(dāng)?shù)闹档乃查g停止設(shè)定值的變更，導(dǎo)致過(guò)度地變更設(shè)定值，而需要再變更或再再變更設(shè)定值。尤其，在掃描電子顯微鏡或透射型電子顯微鏡那樣的帶電粒子束裝置中，要求設(shè)定值的非常細(xì)小的調(diào)整，因此上述現(xiàn)有技術(shù)并不一定適于設(shè)定值的調(diào)整。
[0071]對(duì)此，在本實(shí)施方式中，在顯示裝置的畫面上與圖像顯示部并排配置第I設(shè)定值調(diào)整軸顯示部，該第I設(shè)定值調(diào)整軸顯示部顯示用于調(diào)整在帶電粒子束裝置的控制中使用的至少一個(gè)設(shè)定值的設(shè)定值調(diào)整軸的局部，并且在設(shè)定值調(diào)整軸上配置以通過(guò)由指示器操作的光標(biāo)而能夠沿著設(shè)定值調(diào)整軸移動(dòng)的方式設(shè)置的第一調(diào)整滑塊和根據(jù)設(shè)定值調(diào)整軸上的位置來(lái)設(shè)定設(shè)定值的第2調(diào)整滑塊，使第2調(diào)整滑塊與基于光標(biāo)的第I調(diào)整滑塊的移動(dòng)操作聯(lián)動(dòng)地沿著設(shè)定值調(diào)整軸移動(dòng)。并且，在第I調(diào)整滑塊位于設(shè)定值調(diào)整軸的第I設(shè)定值調(diào)整軸顯示部所顯示的范圍中的除兩端部以外的位置的情況下，相對(duì)于第I調(diào)整滑塊的移動(dòng)距離減小第2調(diào)整滑塊的移動(dòng)距離，并且在第I調(diào)整滑塊位于設(shè)定值調(diào)整軸的第I設(shè)定值調(diào)整軸顯示部所顯示的范圍中的至少一方的端部，且第2調(diào)整滑塊位于除了兩端部以外的位置，并通過(guò)光標(biāo)選擇操作了第I調(diào)整滑塊的情況下，不移動(dòng)第I調(diào)整滑塊，而僅使第2調(diào)整滑塊向一方的端部方向移動(dòng)。
[0072]由此，在本實(shí)施方式中，能夠容易且準(zhǔn)確地進(jìn)行與動(dòng)作控制相關(guān)的設(shè)定值的粗調(diào)整和微調(diào)整。
[0073]符號(hào)說(shuō)明
[0074]I電子槍
[0075]2 陽(yáng)極
[0076]3聚光透鏡
[0077]4 一次電子束
[0078]5偏轉(zhuǎn)器
[0079]6 物鏡
[0080]7 二次電子
[0081]8試樣臺(tái)
[0082]9試樣工作臺(tái)
[0083]10工作臺(tái)控制部
[0084]11 二次電子檢測(cè)器
[0085]13圖像存儲(chǔ)部
[0086]14主控制部
[0087]15計(jì)算機(jī)部
[0088]16顯示部
[0089]17 試樣
[0090]18偏轉(zhuǎn)控制部
[0091]19鼠標(biāo)(指示器)
[0092]20 鍵盤
[0093]21專用操作面板
[0094]22存儲(chǔ)部
[0095]100控制部
[0096]200數(shù)值設(shè)定畫面
[0097]201圖像顯示部
[0098]202第I設(shè)定值調(diào)整軸顯示部
[0099]203設(shè)定值調(diào)整軸
[0100]204第2調(diào)整滑塊
[0101]205第I調(diào)整滑塊
[0102]206規(guī)定值設(shè)定部
[0103]211第2設(shè)定值調(diào)整軸顯示部
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種帶電粒子束裝置，其通過(guò)向試樣照射帶電粒子束來(lái)生成所述試樣的圖像，該帶電粒子束裝置的特征在于，具備: 顯示裝置，其至少顯示用于顯示所述試樣的圖像的圖像顯示部； 指示器，其為了進(jìn)行在所述顯示裝置的畫面上配置的對(duì)象的選擇或移動(dòng)等操作，而進(jìn)行在所述畫面上顯示的光標(biāo)的操作； 第I設(shè)定值調(diào)整軸顯示部，其與所述圖像顯示部并排配置在所述顯示裝置的畫面上，顯示用于調(diào)整在所述帶電粒子束裝置的控制中所使用的至少一個(gè)設(shè)定值的設(shè)定值調(diào)整軸的局部； 第I調(diào)整滑塊，其被配置在所述設(shè)定值調(diào)整軸上，并被設(shè)置成通過(guò)由所述指示器操作的光標(biāo)而能夠沿著所述設(shè)定值調(diào)整軸移動(dòng)； 第2調(diào)整滑塊，其被配置在所述設(shè)定值調(diào)整軸上，并根據(jù)所述設(shè)定值調(diào)整軸上的位置設(shè)定所述設(shè)定值；以及 控制裝置，其是使所述第2調(diào)整滑塊與基于所述光標(biāo)的所述第I調(diào)整滑塊的移動(dòng)操作聯(lián)動(dòng)地沿著所述設(shè)定值調(diào)整軸移動(dòng)的控制裝置，在所述第I調(diào)整滑塊位于所述設(shè)定值調(diào)整軸的所述第I設(shè)定值調(diào)整軸顯示部所顯示的范圍中的兩端部以外的位置的情況下，相對(duì)于所述第I調(diào)整滑塊的移動(dòng)距離減小所述第2調(diào)整滑塊的移動(dòng)距離，并且在所述第I調(diào)整滑塊位于所述設(shè)定值調(diào)整軸的所述第I設(shè)定值調(diào)整軸顯示部所顯示的范圍中的至少一方的端部的位置，且所述第2調(diào)整滑塊位于所述兩端部以外的位置的情況下，通過(guò)所述光標(biāo)選擇操作了所述第I調(diào)整滑塊時(shí)，不移動(dòng)所述第I調(diào)整滑塊，僅使所述第2調(diào)整滑塊向所述一方的端部的方向移動(dòng)。
2.—種帶電粒子束裝置，其通過(guò)向試樣照射帶電粒子束來(lái)生成所述試樣的圖像，該帶電粒子束裝置的特征在于，具備: 顯示裝置，其至少顯示用于顯示所述試樣的圖像的圖像顯示部； 指示器，其為了進(jìn)行在所述顯示裝置的畫面上配置的對(duì)象的選擇或移動(dòng)等操作，而進(jìn)行在所述畫面上顯示的光標(biāo)的操作； 第I設(shè)定值調(diào)整軸顯示部，其與所述圖像顯示部并排配置在所述顯示裝置的畫面上，顯示用于調(diào)整在所述帶電粒子束裝置的控制中所使用的至少一個(gè)設(shè)定值的設(shè)定值調(diào)整軸的局部； 第I調(diào)整滑塊，其被配置在所述設(shè)定值調(diào)整軸上，并被設(shè)置成通過(guò)由所述指示器操作的光標(biāo)而能夠沿著所述設(shè)定值調(diào)整軸移動(dòng)； 第2調(diào)整滑塊，其被配置在所述設(shè)定值調(diào)整軸上，根據(jù)所述設(shè)定值調(diào)整軸上的位置設(shè)定所述設(shè)定值；以及 控制裝置，其是使所述第2調(diào)整滑塊與基于所述光標(biāo)的所述第I調(diào)整滑塊的移動(dòng)操作聯(lián)動(dòng)地沿著所述設(shè)定值調(diào)整軸移動(dòng)的控制