帶電粒子束裝置以及程序的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種通過向試樣照射帶電粒子束來進(jìn)行該試樣的圖像取得等的帶電粒子束裝置及其程序。
【背景技術(shù)】
[0002]帶電粒子束裝置通過向?qū)ο笤嚇诱丈鋷щ娏Ｗ邮?，來進(jìn)行對象試樣的觀察或分析等。例如，在掃描電子顯微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)或透射型電子顯微鏡(TEM:Transmiss1n Electron Microscope)中，為了根據(jù)通過向?qū)ο笤嚇诱丈鋷щ娏Ｗ邮玫降母鞣N信息來生成對象試樣的顯微鏡像，取得適用于該試樣的觀察的圖像，要求進(jìn)行與帶電粒子束裝置的動作相關(guān)的各種設(shè)定值的細(xì)微調(diào)整。
[0003]此外，在掃描電子顯微鏡或透射型電子顯微鏡中，如在使用帶電粒子束的其他多個裝置中看到那樣，大多情況下與動作相關(guān)的設(shè)定值的調(diào)整范圍非常廣，因此在該較廣的設(shè)定范圍中需要進(jìn)行較大地變更各設(shè)定值的調(diào)整和細(xì)微地變更的調(diào)整這兩者。
[0004]關(guān)于這樣的帶電粒子束裝置的設(shè)定值的調(diào)整，例如在專利文獻(xiàn)1(日本特開2007 - 242432號公報)中公開了如下的帶電粒子束裝置，即為了控制帶電粒子束裝置，且為了變更帶電粒子束裝置所具備的至少成為一個控制對象的裝置的設(shè)定值來控制裝置，而具備具有以用戶能夠移動操作其位置的方式設(shè)置的標(biāo)記的圖形用戶界面上的滑塊和用于進(jìn)行標(biāo)記位置的移動操作的指示器。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)1:日本特開2007 - 242432號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]發(fā)明要解決的問題
[0009]然而，在上述現(xiàn)有技術(shù)中，當(dāng)用戶激活了滑塊上的標(biāo)記位置的移動操作時，通過變換單元將取得的從標(biāo)記基準(zhǔn)位置開始的位移量換算成變更速度值，將基于該換算值的指令以由定時器設(shè)定的一定時間間隔發(fā)送給裝置。然后，在標(biāo)記位置的移動操作激活的期間，繼續(xù)進(jìn)行對根據(jù)重新取得的從標(biāo)記的基準(zhǔn)位置開始的位移量更新后的指令進(jìn)行裝置發(fā)送的處理，由此根據(jù)從標(biāo)記的基準(zhǔn)位置開始的位移量使裝置設(shè)定值的變更速度變化。也就是說，由于是在標(biāo)記位置的移動操作激活的期間繼續(xù)進(jìn)行裝置設(shè)定值的變更的結(jié)構(gòu)，因此很難在目標(biāo)值停止設(shè)定值的變更，從而需要反復(fù)進(jìn)行多次設(shè)定值的變更。
[0010]本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，其目的是提供一種能夠容易且準(zhǔn)確地進(jìn)行與動作控制相關(guān)的設(shè)定值的粗調(diào)整和微調(diào)整的帶電粒子束裝置以及能夠?qū)崿F(xiàn)它的程序。
[0011]用于解決課題的手段
[0012]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的通過向試樣照射帶電粒子束來生成所述試樣的圖像的帶電粒子束裝置，具備:顯示裝置，其至少顯示用于顯示所述試樣的圖像的圖像顯示部；指示器，其為了進(jìn)行在所述顯示裝置的畫面上配置的對象的選擇或移動等操作，而進(jìn)行在所述畫面上顯示的光標(biāo)的操作；第I設(shè)定值調(diào)整軸顯示部，其與所述圖像顯示部被并排配置在所述顯示裝置的畫面上，顯示用于調(diào)整在所述帶電粒子束裝置的控制中使用的至少一個設(shè)定值的設(shè)定值調(diào)整軸的局部；第I調(diào)整滑塊，其被配置在所述設(shè)定值調(diào)整軸上，并被設(shè)置成通過由所述指示器操作的光標(biāo)而能夠沿著所述設(shè)定值調(diào)整軸移動；第2調(diào)整滑塊，其被配置在所述設(shè)定值調(diào)整軸上，根據(jù)所述設(shè)定值調(diào)整軸上的位置設(shè)定所述設(shè)定值，使所述第2調(diào)整滑塊與基于所述光標(biāo)的所述第I調(diào)整滑塊的移動操作聯(lián)動地沿著所述設(shè)定值調(diào)整軸移動，在所述第I調(diào)整滑塊位于所述設(shè)定值調(diào)整軸的所述第I設(shè)定值調(diào)整軸顯示部所顯示的范圍中的兩端部以外的位置的情況下，相對于所述第I調(diào)整滑塊的移動距離減小所述第2調(diào)整滑塊的移動距離，并且在所述第I調(diào)整滑塊位于所述設(shè)定值調(diào)整軸的所述第I設(shè)定值調(diào)整軸顯示部所顯示的范圍中的至少一方的端部的位置，且所述第2調(diào)整滑塊位于所述兩端部以外的位置的情況下，通過所述光標(biāo)對所述第I調(diào)整滑塊進(jìn)行了預(yù)定的操作時，不移動所述第I調(diào)整滑塊，僅使所述第2調(diào)整滑塊向所述一方的端部方向移動。
[0013]發(fā)明效果
[0014]根據(jù)本發(fā)明，能夠容易且準(zhǔn)確地進(jìn)行與動作控制相關(guān)的設(shè)定值的粗調(diào)整和微調(diào)整。
【附圖說明】
[0015]圖1是表示本實(shí)施方式的掃描電子顯微鏡的整體結(jié)構(gòu)的圖。
[0016]圖2是概要性地表示控制部的處理功能的基本結(jié)構(gòu)的圖。
[0017]圖3是表示進(jìn)行在基于計算機(jī)部的掃描電子顯微鏡的動作控制中所使用的各種數(shù)值的設(shè)定的數(shù)值設(shè)定畫面的圖。
[0018]圖4是表示設(shè)定值調(diào)整軸的整體的圖。
[0019]圖5是表示顯示第2設(shè)定值調(diào)整軸顯示部的情況的圖。
[0020]圖6是表示通過光標(biāo)選擇了第I調(diào)整滑塊時的基于計算機(jī)部的數(shù)值設(shè)定部顯示處理的細(xì)節(jié)的流程圖。
[0021]圖7是表示通過光標(biāo)選擇了第2調(diào)整滑塊時的基于計算機(jī)部的數(shù)值設(shè)定部顯示處理的細(xì)節(jié)的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]以下，作為本發(fā)明的實(shí)施方式的帶電粒子束裝置的一例列舉了掃描電子顯微鏡，并參照附圖詳細(xì)地進(jìn)行說明。
[0023]圖1是表示本實(shí)施方式的掃描電子顯微鏡的整體結(jié)構(gòu)的圖。
[0024]在圖1中，掃描電子顯微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)大致由電子槍1、陽極2、聚光透鏡3、偏轉(zhuǎn)器5、物鏡6、試樣工作臺9、二次電子檢測器11以及包含主控制部14、計算機(jī)部15等的控制部100構(gòu)成。將電子槍1、陽極2、聚光透鏡3、偏轉(zhuǎn)器5、物鏡6、試樣工作臺9以及二次電子檢測器11配置在未圖示的試樣室內(nèi)，各自的動作通過控制部100的主控制部14來控制。
[0025]電子槍I是發(fā)射用于向作為觀察對象的試樣17照射的電子束(一次電子束)4的部件。從電子槍向試樣17的方向發(fā)射的一次電子束4通過陽極2被加速，通過聚光透鏡3接受會聚作用，經(jīng)過偏轉(zhuǎn)器5后通過物鏡6的會聚作用進(jìn)一步被收縮后，向配置在試樣工作臺9的試樣臺8上的試樣17照射。
[0026]試樣工作臺9具有根據(jù)來自主控制部14的控制信號對試樣工作臺9的動作進(jìn)行控制的工作臺控制部10。試樣工作臺9被設(shè)置成通過由工作臺控制部10控制的驅(qū)動裝置(未圖示)而能夠向前后、左右、上下方向移動，并能夠?qū)ε渲迷谠嚇优_8上的試樣17進(jìn)行任意的定位。
[0027]偏轉(zhuǎn)器5具有根據(jù)來自主控制部14的控制信號對向偏轉(zhuǎn)器5供給的偏轉(zhuǎn)電流進(jìn)行控制的偏轉(zhuǎn)控制部18。偏轉(zhuǎn)器5通過從偏轉(zhuǎn)控制部18供給的偏轉(zhuǎn)電流的作用使一次電子束4進(jìn)行偏轉(zhuǎn)，由此以二維方式掃描試樣的表面。
[0028]二次電子檢測器11具有:放大器12，其放大檢測信號；以及圖像存儲部13，其存儲放大后的檢測信號，并且發(fā)送給主控制部14。通過基于一次電子束4的試樣17的掃描而產(chǎn)生的二次電子7被二次電子檢測器11檢測出后發(fā)送給主控制部14。在主控制部14中，使用于控制偏轉(zhuǎn)器5的控制信號與基于二次電子檢測器11的檢測信號同步，由此生成試樣17的圖像。
[0029]控制部100具有:控制掃描電子顯微鏡整體的動作的主控制部14、用于進(jìn)行基于操作員(用戶)的各種設(shè)定或操作的計算機(jī)部15(例如，PC等計算機(jī))以及專用操作面板
21ο
[0030]計算機(jī)部15具備:鼠標(biāo)19或鍵盤20等操作/輸入裝置、存儲在掃描電子顯微鏡的動作控制中使用的各種程序或生成的試樣圖像等各種數(shù)據(jù)的存儲部22(例如，硬盤)以及用于顯示設(shè)定畫面或生成的試樣圖像等的顯示部16 (例如，液晶監(jiān)視器)。
[0031]鼠標(biāo)19或鍵盤20、顯示部16的數(shù)值設(shè)定畫面200 (參照后面的圖3等)等形成用于操作掃描電子顯微鏡的⑶I (Graphical User Interface，圖形用戶界面)。鼠標(biāo)19是為了進(jìn)行在顯示部16 (顯示裝置)的畫面上配置的對象的選擇或移動等操作，而操作在畫面上顯示的光標(biāo)220的指示器。
[0032]存儲在存儲部22中的程序有:用于進(jìn)行使用GUI來進(jìn)行在動作控制中使用的數(shù)值的設(shè)定的數(shù)值設(shè)定部顯示處理(后述)的程序，或針對試樣17進(jìn)行一次電子束4的掃描或二次電子7的檢測的程序，或根據(jù)檢測信號生成試樣17的圖像的程序等與目的對應(yīng)的程序。
[0033]另外，所謂本實(shí)施方式中的程序是除了能夠由PC等計算機(jī)直接執(zhí)行的程序外，還包括通過安裝在硬盤等上而能夠執(zhí)行的程序的概念。此外，是還包括壓縮或編碼后的程序的概念。
[0034]圖2是概要性地表示控制部的處理功能的基本結(jié)構(gòu)的圖。
[0035]如圖2所示，控制部100作為處理功能部由以下的各功能部概要構(gòu)成，即用戶(操作員)經(jīng)由計算機(jī)部15 (例如PC)的鼠標(biāo)19或鍵盤20，或者包含顯示部16的各種畫面的⑶I (Graphical User Interface，圖形用戶界面)進(jìn)行的關(guān)于掃描電子顯微鏡(SEM)的操作處理或顯示處理的裝置操作處理31或進(jìn)行圖像觀察處理32的界面功能部30，進(jìn)行與SEM的動作控制整體相關(guān)的處理的SEM控制單元功能部33、與基于SEM控制單元控制部33的處理關(guān)聯(lián)地進(jìn)行關(guān)于試樣工作臺9的動作的工作臺控制處理36的工作臺控制單元功能部35、進(jìn)行與試樣室(未圖示)的真空排氣相關(guān)的排氣系統(tǒng)控制處理38的排氣系統(tǒng)控制單元功能部37、進(jìn)行與一次電子束4的照射或掃描相關(guān)的高電壓控制處理40的高電壓控制單元功能部39。
[0036]圖3是表示進(jìn)行在基于計算機(jī)部的掃描電子顯微鏡的動作控制中所使用的各種數(shù)值的設(shè)定的數(shù)值設(shè)定畫面的圖，圖4是表示設(shè)定值調(diào)整軸的整體的圖。此外，圖5是表示顯示了第2設(shè)定值調(diào)整軸顯示部的情況的圖。
[0037]在圖3中，顯示于顯示部16的數(shù)值設(shè)