道211和直凹道212的數(shù)量，其中，被加工工件S的特性包括諸如被加工工件S材質(zhì)的軟硬程度、摩擦因素等性質(zhì)。具體地,針對機械手20的上表面的面積較大、被加工工件S的材質(zhì)軟、翹曲大、摩擦因素較小和/或被加工工件與機械手二者之間的最小摩擦力較大時，可以設(shè)置環(huán)形凹道211和直凹道212的數(shù)量相對多一些；針對機械手20的上表面的面積較小、被加工工件S的材質(zhì)硬、翹曲小、摩擦因素較大和/或被加工工件與機械手二者之間的最小摩擦力較小時，可以設(shè)置環(huán)形凹道211和直凹道212的數(shù)量相對少一些。當然，在實際應(yīng)用中，需要對各種因素綜合考慮，具體設(shè)置環(huán)形凹道211和直凹道212的數(shù)量。在本實施例中，機械手20也可以采用如圖5和圖6所示的結(jié)構(gòu)，在圖5中，環(huán)形凹道211的數(shù)量為2個，直凹道212的數(shù)量為12個；在圖6中，環(huán)形凹道211的數(shù)量為4個，直凹道212的數(shù)量為3個。
[0031]在本實施例中，由于機械手20上表面的形狀不規(guī)則，如圖2所示，因此，在機械手20上表面上設(shè)置的凹道不僅包括環(huán)形凹道211和直凹道212，而且還包括輔助凹道213，其中，輔助凹道213在機械手20上表面的形狀為曲線，借助輔助凹道213可以實現(xiàn)對環(huán)形凹道211和直凹道212在機械手20上表面上涉及不到的位置進行補償，從而可以實現(xiàn)將機械手20與被加工工件S之間的任意位置處的氣流排出。在實際應(yīng)用中，具體根據(jù)機械手20上表面的形狀設(shè)定凹道21的實施方式，例如，凹道21可以僅包括輔助凹道213，或者凹道21包括輔助凹道213和直凹道212。
[0032]需要說明的是，在機械手20上設(shè)置的至少一個凹道21，需要考慮要保證機械手20將被加工工件S穩(wěn)固支撐，即，要保證機械手20與被加工工件S之間有足夠的接觸面積，以防止被加工工件S相對機械手20滑動；另外，在保證機械手20將被加工工件S穩(wěn)固支撐的前提下，要保證將機械手20與被加工工件S之間氣流排出，以防止對被加工工件S的穩(wěn)固性產(chǎn)生影響，因此，就需要綜合考慮凹道21的深度H和寬度L。在本實施例中，優(yōu)選地，每個凹道21的寬度L范圍為I?2mm ;每個凹道21的深度H范圍為I?2mm。
[0033]還需要說明的是，在本實施例中，凹道21包括環(huán)形凹道、直凹道和輔助凹道213，但是，本發(fā)明并不局限于此，在實際應(yīng)用中，凹道的【具體實施方式】很多，例如，在實際應(yīng)用中，每個凹道21可以為由彼此獨立的至少兩條凹道段組成，且至少兩條凹道段在機械手20上表面上形成的形狀包括折線、曲線或者折線與曲線串接的形狀；又如，也可以每個凹道21為沿在機械手20上徑向表面上纏繞的螺旋狀結(jié)構(gòu)，由于凹道21的【具體實施方式】很多，在此不一一列舉，因此，凡是能夠與被加工工件形成用于將被加工工件與機械手之間的氣流排出的氣流通道的凹道，均屬于本發(fā)明的保護范圍。
[0034]另外需要說明的是，本發(fā)明提供的傳輸系統(tǒng)還包括伸縮驅(qū)動裝置和升降驅(qū)動裝置，其中，伸縮裝置用于驅(qū)動機械手20在水平方向上移動，升降驅(qū)動裝置用于驅(qū)動機械手20在豎直方向上移動，通過伸縮驅(qū)動裝置、升降驅(qū)動裝置和機械手20之間的配合來實現(xiàn)傳輸被加工工件，由于其具體過程與現(xiàn)有技術(shù)相類似，在此不再贅述。
[0035]本實施例提供的傳輸系統(tǒng)，其通過在機械手20的上表面上分布有至少一個凹道21，且每個凹道21的至少一端沿機械手20的徑向延伸至機械手20的邊界處，每個凹道21與被加工工件S形成氣流通道，用以使位于機械手20與被加工工件S之間的氣流經(jīng)由該氣流通道排出。由上可知，被加工工件S位于機械手20的上表面上，這與現(xiàn)有技術(shù)中借助三個小凸起承載被加工工件相比，可以增加被加工工件S與機械手20的接觸面積和摩擦力，從而不僅可以有效地防止被加工工件S相對機械手20滑動，進而可以提高傳輸系統(tǒng)的穩(wěn)定性；而且，由于被加工工件S與機械手20的接觸面積變大，可以防止在傳輸被加工工件的過程中翹曲大或材質(zhì)軟的被加工工件翹曲嚴重，從而可以提高傳輸系統(tǒng)的傳輸質(zhì)量，還可以提高傳輸系統(tǒng)的適用性。
[0036]作為另一個技術(shù)方案，本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，包括傳輸系統(tǒng)和反應(yīng)腔室，其中，傳輸系統(tǒng)用于將未完成工藝的被加工工件傳入反應(yīng)腔室內(nèi)，以及將完成工藝的被加工工件自反應(yīng)腔室內(nèi)傳出，傳輸系統(tǒng)采用上述實施例提供的傳輸系統(tǒng)。
[0037]本發(fā)明提供的半導(dǎo)體加工設(shè)備，其采用上述實施例提供的傳輸系統(tǒng)，不僅可以有效地防止被加工工件相對機械手滑動，進而可以提高傳輸系統(tǒng)的穩(wěn)定性；而且可以提高傳輸系統(tǒng)的傳輸質(zhì)量，還可以提高傳輸系統(tǒng)的適用性。
[0038]可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的原理和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本發(fā)明的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種傳輸系統(tǒng),包括機械手，所述機械手的上表面用于承載被加工工件，其特征在于，在所述機械手的上表面上分布有至少一個凹道，每個所述凹道的至少一端沿所述機械手的徑向延伸至所述機械手的邊界處， 每個所述凹道與所述被加工工件的下表面形成氣流通道，用以使位于所述機械手與所述被加工工件之間的氣流經(jīng)由該氣流通道排出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳輸系統(tǒng)，其特征在于，所述至少一個凹道在所述機械手的上表面上均勻分布。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳輸系統(tǒng)，其特征在于，所述至少一個凹道中包括至少兩個環(huán)形凹道和至少一個直凹道，其中 所述至少兩個環(huán)形凹道以所述機械手上表面的中心為圓心，且半徑不同；所述至少一個直凹道的一端位于所述機械手的上表面的中心位置處，另一端沿所述機械手的徑向延伸至所述機械手的邊界處。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的傳輸系統(tǒng)，其特征在于，至少兩個環(huán)形凹道在所述機械手的徑向上間隔且均勻設(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的傳輸系統(tǒng)，其特征在于，所述直凹道的數(shù)量為多個，且多個所述直凹道沿所述機械手的周向間隔且均勻設(shè)置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳輸系統(tǒng)，其特征在于，每個所述凹道由彼此獨立的至少兩條凹道段組成，且所述至少兩條凹道段在所述機械手上表面上形成的形狀包括折線、曲線或者折線與曲線串接的形狀。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳輸系統(tǒng)，其特征在于，每個所述凹道為在所述機械手上表面上纏繞的螺旋狀結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳輸系統(tǒng)，其特征在于，每個所述凹道的寬度范圍為I?2mm ο
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳輸系統(tǒng)，其特征在于，每個所述凹道的深度范圍為I?2mm ο
10.一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，包括傳輸系統(tǒng)和反應(yīng)腔室，其中，所述傳輸系統(tǒng)用于將未完成工藝的被加工工件傳入所述反應(yīng)腔室內(nèi)，以及將完成工藝的被加工工件自所述反應(yīng)腔室內(nèi)傳出，其特征在于，所述傳輸系統(tǒng)米用權(quán)利要求1-9任意一項所述的傳輸系統(tǒng)。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種傳輸系統(tǒng)及半導(dǎo)體加工設(shè)備，傳輸系統(tǒng)包括機械手，機械手的上表面用于承載被加工工件，且在機械手的上表面上分布有至少一個凹道，每個凹道的至少一端沿機械手的徑向延伸至機械手的邊界處，每個凹道與被加工工件的下表面形成氣流通道，用以使位于機械手與被加工工件之間的氣流經(jīng)由該氣流通道排出。本發(fā)明提供的傳輸系統(tǒng)，不僅可以有效地防止被加工工件相對機械手滑動，進而可以提高傳輸系統(tǒng)的穩(wěn)定性；而且可以提高傳輸系統(tǒng)的傳輸質(zhì)量，還可以提高傳輸系統(tǒng)的適用性。
【IPC分類】H01L21-677
【公開號】CN104752289
【申請?zhí)枴緾N201310750274
【發(fā)明人】宗令蓓
【申請人】北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
【公開日】2015年7月1日
【申請日】2013年12月31日