一種tft基板的生產(chǎn)工藝的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體的說是涉及一種新型TFT基板的生產(chǎn)工藝。
【背景技術(shù)】
[0002]TFT技術(shù)是二十世紀(jì)九十年代發(fā)展起來的，采用新材料和新工藝的大規(guī)模半導(dǎo)體全集成電路制造技術(shù)，是液晶(LC)、無機(jī)和有機(jī)薄膜電致發(fā)光(EL和0EL)平板顯示器的基礎(chǔ)。TFT是在玻璃或塑料基板等非單晶片上(當(dāng)然也可以在晶片上)通過濺射、化學(xué)沉積工藝形成制造電路必需的各種膜，通過對(duì)膜的加工制作大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路(LSIC)。采用非單晶基板可以大幅度地降低成本，是傳統(tǒng)大規(guī)模集成電路向大面積、多功能、低成本方向的延伸，是現(xiàn)代大生產(chǎn)的頂尖技術(shù)。
[0003]薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管是指液晶顯示器上的每一液晶像素點(diǎn)都是由集成在其后的薄膜晶體管來驅(qū)動(dòng)，從而可以做到高速度高亮度高對(duì)比度顯示屏幕信息，TFT-LCD (薄膜晶體管液晶顯示器)是多數(shù)液晶顯示器的一種，可以做到高速度、高亮度、高對(duì)比度顯示屏幕信息，是最好的LCD彩色顯示設(shè)備之一，其效果接近CRT顯示器，是筆記本電腦和臺(tái)式機(jī)上的主流顯示設(shè)備。TFT的每個(gè)像素點(diǎn)都是由集成在自身上的TFT來控制，是有源像素點(diǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]鑒于已有技術(shù)存在的缺陷，本發(fā)明的目的是要提供一種新型的TFT基板的生產(chǎn)工藝。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案:
[0006]一種TFT基板的生產(chǎn)工藝，其特征在于:
[0007]包括玻璃基板的制作工序，TFT的制作工序以及后段組裝清洗工序；
[0008]所述的玻璃基板的制作工序包括在高溫熔爐中將玻璃原料熔融成玻璃熔體的過程中添加鑰材料，退火切割成相應(yīng)形狀尺寸的玻璃基板；
[0009]所述的TFT的制作工序包括對(duì)玻璃基板利用醋酸鈉以及去離子水的水溶液進(jìn)行清洗，清洗后在50°C下進(jìn)行預(yù)烘干，在玻璃基板涂布一層光刻膠，再次進(jìn)行烘干處理，在導(dǎo)電層上沉積一層犧牲層后利用紫外光對(duì)玻璃基板進(jìn)行選擇性曝光，對(duì)玻璃基板進(jìn)行刻蝕去膜處理，在玻璃基板表面涂覆取向?qū)?，?duì)限向?qū)舆M(jìn)行處理并利用封接材料貼合起來并固化；
[0010]所述的后段組裝清洗工序包括對(duì)上述產(chǎn)品進(jìn)行老化處理后，進(jìn)行超聲波清洗除雜，并進(jìn)行30°c的恒溫烘干處理。
[0011]所述的TFT的制作工序中醋酸鈉以及去離子水質(zhì)量比例為0.05——0.2:50。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果:
[0013]本發(fā)明工藝方法簡(jiǎn)單，采用本方法制作的TFT基板產(chǎn)品使用壽命長(zhǎng)，單色字符圖形分辨率高，防靜電效果優(yōu)異。
【具體實(shí)施方式】
[0014]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0015]一種TFT基板的生產(chǎn)工藝，其特征在于:
[0016]包括玻璃基板的制作工序，TFT的制作工序以及后段組裝清洗工序；
[0017]所述的玻璃基板的制作工序包括在高溫熔爐中將玻璃原料熔融成玻璃熔體的過程中添加鑰材料，退火切割成相應(yīng)形狀尺寸的玻璃基板；
[0018]所述的TFT的制作工序包括對(duì)玻璃基板利用醋酸鈉以及去離子水的水溶液進(jìn)行清洗，清洗后在50°C下進(jìn)行預(yù)烘干，在玻璃基板涂布一層光刻膠，再次進(jìn)行烘干處理，在導(dǎo)電層上沉積一層犧牲層后利用紫外光對(duì)玻璃基板進(jìn)行選擇性曝光，對(duì)玻璃基板進(jìn)行刻蝕去膜處理，在玻璃基板表面涂覆取向?qū)?，?duì)限向?qū)舆M(jìn)行處理并利用封接材料貼合起來并固化；
[0019]所述的后段組裝清洗工序包括對(duì)上述產(chǎn)品進(jìn)行老化處理后，進(jìn)行超聲波清洗除雜，并進(jìn)行30°C的恒溫烘干處理。
[0020]所述的TFT的制作工序中醋酸鈉以及去離子水質(zhì)量比例為0.05——0.2:50。優(yōu)選比例為0.1:50。
[0021]以上所述，僅為本發(fā)明較佳的【具體實(shí)施方式】，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案及其發(fā)明構(gòu)思加以等同替換或改變，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種TFT基板的生產(chǎn)工藝，其特征在于: 包括玻璃基板的制作工序，TFT的制作工序以及后段組裝清洗工序； 所述的玻璃基板的制作工序包括在高溫熔爐中將玻璃原料熔融成玻璃熔體的過程中添加鑰材料，退火切割成相應(yīng)形狀尺寸的玻璃基板； 所述的TFT的制作工序包括對(duì)玻璃基板利用醋酸鈉以及去離子水的水溶液進(jìn)行清洗，清洗后在50°C下進(jìn)行預(yù)烘干，在玻璃基板涂布一層光刻膠，再次進(jìn)行烘干處理，在導(dǎo)電層上沉積一層犧牲層后利用紫外光對(duì)玻璃基板進(jìn)行選擇性曝光，對(duì)玻璃基板進(jìn)行刻蝕去膜處理，在玻璃基板表面涂覆取向?qū)?，?duì)限向?qū)舆M(jìn)行處理并利用封接材料貼合起來并固化； 所述的后段組裝清洗工序包括對(duì)上述產(chǎn)品進(jìn)行老化處理后，進(jìn)行超聲波清洗除雜，并進(jìn)行30°C的恒溫烘干處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種TFT基板的生產(chǎn)工藝，其特征在于:所述的TFT的制作工序中醋酸鈉以及去離子水質(zhì)量比例為0.05——0.2:50。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種TFT基板的生產(chǎn)工藝，包括玻璃基板的制作工序，TFT的制作工序以及后段組裝清洗工序；所述的玻璃基板的制作工序包括在高溫熔爐中將玻璃原料熔融成玻璃熔體的過程中添加鉬材料，退火切割成相應(yīng)形狀尺寸的玻璃基板；所述的TFT的制作工序包括對(duì)玻璃基板利用醋酸鈉以及去離子水的水溶液進(jìn)行清洗，在導(dǎo)電層上沉積一層犧牲層后利用紫外光對(duì)玻璃基板進(jìn)行選擇性曝光，對(duì)玻璃基板進(jìn)行刻蝕去膜處理等；所述的后段組裝清洗工序包括對(duì)上述產(chǎn)品進(jìn)行老化處理后，進(jìn)行超聲波清洗除雜，并進(jìn)行30℃的恒溫烘干處理。本發(fā)明工藝方法簡(jiǎn)單，采用本方法制作的TFT基板產(chǎn)品使用壽命長(zhǎng)，單色字符圖形分辨率高，防靜電效果優(yōu)異。
【IPC分類】G02F1-1362, G02F1-1368, H01L27-12, H01L21-77
【公開號(hào)】CN104701253
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201310660451
【發(fā)明人】王東巍
【申請(qǐng)人】大連鑫永工業(yè)制造有限公司
【公開日】2015年6月10日
【申請(qǐng)日】2013年12月9日