技術(shù)編號:8382417
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。TFT技術(shù)是二十世紀九十年代發(fā)展起來的,采用新材料和新工藝的大規(guī)模半導體全集成電路制造技術(shù),是液晶(LC)、無機和有機薄膜電致發(fā)光(EL和0EL)平板顯示器的基礎。TFT是在玻璃或塑料基板等非單晶片上(當然也可以在晶片上)通過濺射、化學沉積工藝形成制造電路必需的各種膜,通過對膜的加工制作大規(guī)模半導體集成電路(LSIC)。采用非單晶基板可以大幅度地降低成本,是傳統(tǒng)大規(guī)模集成電路向大面積、多功能、低成本方向的延伸,是現(xiàn)代大生產(chǎn)的頂尖技術(shù)。薄膜場效應晶體管是指液...
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