光阻劑剩余量的監(jiān)測裝置、監(jiān)控方法和芯片制造裝置的制造方法
【技術領域】
[0001] 本申請涉及半導體制造技術領域，更具體地，涉及一種光阻劑剩余量的監(jiān)測裝置、 監(jiān)控方法和芯片制造裝置。
【背景技術】
[0002] 晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓； 在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構，而成為有特定電性功能的產品。
[0003] 在制造晶圓的過程中，需要對硅片進行光刻處理。現(xiàn)有技術中采用芯片制造裝置 (例如：光刻機）進行光刻工藝處理，硅片進入芯片制造裝置內部，需要在沉積過后的硅片表 面涂敷光阻劑進行光刻。
[0004] 該芯片制造裝置內部的黃光區(qū)內可同時放置多種類型的光阻劑，這些光阻劑均裝 在容積為4升(或1加侖，美制1加侖=3. 785升)的塑料瓶或者玻璃瓶內。由于光阻劑是一 種感光介質，且黃光區(qū)有特殊的生產要求，因而上述承載光阻劑所用的光阻瓶均為不透明 的塑料瓶或者玻璃瓶，從而使得工作人員很難觀察每瓶光阻劑的剩余量，無法對光阻瓶內 光阻劑的剩余狀態(tài)進行監(jiān)控，給生產帶來了不便。
[0005] 另外，光阻劑具有成本高、易過期、需經(jīng)常更換、種類繁多的特點，并且光阻劑經(jīng)過 退冰后是有保質期的，因而如果使用已過期的光阻劑對產品進行加工，會導致產品質量出 現(xiàn)問題。正是由于現(xiàn)有技術無法對光阻瓶內的光阻劑剩余量進行監(jiān)控，因而導致很多光阻 劑因為沒有及時用完而過期，從而造成了生產浪費。

【發(fā)明內容】

[0006] 本申請旨在提供一種光阻劑剩余量的監(jiān)測裝置、監(jiān)控方法和芯片制造裝置，以解 決現(xiàn)有技術中光阻劑剩余量無法監(jiān)控的問題。
[0007] 為解決上述技術問題，本申請的一個方面提供了一種光阻劑剩余量的監(jiān)測裝置， 包括：獲取單元，以獲取各種類產品的出貨數(shù)量；計算單元，與獲取單元連接，以根據(jù)各種 類產品的出貨數(shù)量、各種類產品使用的不同光阻劑的單位產品光阻劑用量及每種光阻劑的 光阻劑初始量，確定每種光阻劑的光阻劑剩余量；存儲單元，與計算單元連接，以存儲每種 光阻劑的光阻劑剩余量和更新光阻劑初始量。
[0008] 進一步地，監(jiān)測裝置還包括顯示單元，與存儲單元連接，以顯示光阻劑剩余量和/ 或光阻劑的類型。
[0009] 進一步地，監(jiān)測裝置還包括掃描單元，以掃描光阻劑上的更換時間標識，掃描單元 與顯示單元連接，顯示單元以顯示光阻劑的更換時間。
[0010] 進一步地，監(jiān)測裝置還包括：開關元件，用于在更換光阻劑時發(fā)出開關量信號；計 時單元，計時單元與開關元件連接，開關元件發(fā)送開關量信號用于啟動或停止計時單元；報 警單元，計時單元與報警單元連接，以在光阻劑將要過期時報警提示。
[0011] 進一步地，監(jiān)測裝置還包括用于稱量光阻劑的稱重單元。
[0012] 進一步地，獲取單元為計數(shù)器。
[0013] 進一步地，開關元件為接觸式傳感器。
[0014] 本申請的另一個方面在于提供了一種芯片制造裝置，包括上述的監(jiān)測裝置。
[0015] 進一步地，該芯片制造裝置包括控制單元，控制單元與監(jiān)測裝置的計算單元連接， 用于根據(jù)計算單元確定的光阻劑剩余量調整產品的生產種類。
[0016] 本申請的再一個方面提供了一種光阻劑剩余量的監(jiān)控方法，包括：步驟S1 :獲取 各種類產品的出貨數(shù)量；步驟S2 :根據(jù)各種類產品使用的不同光阻劑，查詢得到每種光阻 劑的光阻劑初始量；步驟S3 :根據(jù)各種類產品的出貨數(shù)量、各種類產品使用的不同光阻劑 的單位產品光阻劑用量及每種光阻劑的光阻劑初始量，確定每種光阻劑的光阻劑剩余量， 并存儲每種光阻劑的光阻劑剩余量和更新所述光阻劑初始量。
[0017] 進一步地，光阻劑的光阻劑初始量為上一次使用后該光阻劑的光阻劑剩余量。
[0018] 進一步地，根據(jù)下述公式（1)確定光阻劑剩余量：
【主權項】
1. 一種光阻劑剩余量的監(jiān)測裝置，其特征在于，包括： 獲取單元（10 )，以獲取各種類產品的出貨數(shù)量； 計算單元（20)，與所述獲取單元（10)連接，以根據(jù)所述各種類產品的出貨數(shù)量、所述 各種類產品使用的不同光阻劑的單位產品光阻劑用量及每種所述光阻劑的光阻劑初始量， 確定每種所述光阻劑的光阻劑剩余量； 存儲單元（30)，與所述計算單元（20)連接，以存儲每種所述光阻劑的光阻劑剩余量和 更新所述光阻劑初始量。
2. 根據(jù)權利要求1所述的監(jiān)測裝置，其特征在于，所述監(jiān)測裝置還包括顯示單元（40)， 與所述存儲單元（30)連接，以顯示所述光阻劑剩余量和/或所述光阻劑的類型。
3. 根據(jù)權利要求2所述的監(jiān)測裝置，其特征在于，所述監(jiān)測裝置還包括掃描單元（50)， 以掃描所述光阻劑上的更換時間標識，所述掃描單元（50)與所述顯示單元（40)連接，所述 顯示單元（40)以顯示所述光阻劑的更換時間。
4. 根據(jù)權利要求1所述的監(jiān)測裝置，其特征在于，所述監(jiān)測裝置還包括： 開關元件（60 )，用于在更換所述光阻劑時發(fā)出開關量信號； 計時單元（70)，所述計時單元（70)與所述開關元件（60)連接，所述開關元件（60)發(fā)送 所述開關量信號用于啟動或停止所述計時單元（70); 報警單元（80)，所述計時單元（70)與所述報警單元（80)連接，以在所述光阻劑將要過 期時報警提示。
5. 根據(jù)權利要求1所述的監(jiān)測裝置，其特征在于，所述監(jiān)測裝置還包括用于稱量所述 光阻劑的稱重單元。
6. 根據(jù)權利要求1所述的監(jiān)測裝置，其特征在于，所述獲取單元（10)為計數(shù)器。
7. 根據(jù)權利要求4所述的監(jiān)測裝置，其特征在于，所述開關元件（60)為接觸式傳 感器。
8. -種芯片制造裝置，其特征在于，包括權利要求1至7中任一項所述的監(jiān)測裝置。
9. 根據(jù)權利要求8所述的芯片制造裝置，其特征在于，所述芯片制造裝置包括控制單 元（90 )，所述控制單元（90 )與所述監(jiān)測裝置的計算單元（20 )連接，用于根據(jù)所述計算單元 (20)確定的光阻劑剩余量調整產品的生產種類。
10. -種光阻劑剩余量的監(jiān)控方法，其特征在于，包括： 步驟Sl :獲取各種類產品的出貨數(shù)量； 步驟S2 :根據(jù)所述各種類產品使用的不同光阻劑，查詢得到每種所述光阻劑的光阻劑 初始量； 步驟S3 :根據(jù)所述各種類產品的出貨數(shù)量、所述各種類產品使用的不同光阻劑的單位 產品光阻劑用量及每種所述光阻劑的光阻劑初始量，確定每種所述光阻劑的光阻劑剩余 量，并存儲每種所述光阻劑的光阻劑剩余量和更新所述光阻劑初始量。
11. 根據(jù)權利要求10所述的監(jiān)控方法，其特征在于，所述光阻劑的光阻劑初始量為上 一次使用后該所述光阻劑的光阻劑剩余量。
12. 根據(jù)權利要求11所述的監(jiān)控方法，其特征在于，根據(jù)下述公式（1)確定所述光阻劑 剩余量： D- ^_ 公式（I) C 其中，Ai為某一種類產品的出貨數(shù)量；Bi為與所述某一種類產品對應的某一種所述光 阻劑的單位產品光阻劑用量；C為上一次使用后該某一種所述光阻劑的光阻劑剩余量；D為 所述光阻劑剩余量；i > 1。
13. 根據(jù)權利要求10所述的監(jiān)控方法，其特征在于，所述監(jiān)控方法還包括在所述步驟 S3之后的步驟S4 :顯示每種所述光阻劑的光阻劑剩余量及類型。
14. 根據(jù)權利要求10所述的監(jiān)控方法，其特征在于，所述監(jiān)控方法還包括監(jiān)控所述光 阻劑的更換時間的步驟。
15. 根據(jù)權利要求14所述的監(jiān)控方法，其特征在于，監(jiān)控所述光阻劑的更換時間的步 驟包括： 步驟SlO :將更換時間標識貼附在所述光阻劑上； 步驟S20 :掃描所述更換時間標識； 步驟S30 :顯示所述更換時間標識的時間信息。
16. 根據(jù)權利要求10所述的監(jiān)控方法，其特征在于，所述監(jiān)控方法還包括報警步驟：預 設所述光阻劑的報警區(qū)間，當所述光阻劑剩余量處于所述報警區(qū)間內時，提示報警。
17. 根據(jù)權利要求10所述的監(jiān)控方法，其特征在于，所述監(jiān)控方法還包括生產調整步 驟：預設所述光阻劑的調整區(qū)間，當所述光阻劑剩余量處于所述調整區(qū)間內時，調整所述產 品的生產種類。
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種光阻劑剩余量的監(jiān)測裝置、監(jiān)控方法和芯片制造裝置。監(jiān)測裝置包括：獲取單元，以獲取各種類產品的出貨數(shù)量；計算單元，與獲取單元連接，以根據(jù)各種類產品的出貨數(shù)量、各種類產品使用的不同光阻劑的單位產品光阻劑用量及每種光阻劑初始量，確定每種光阻劑的光阻劑剩余量；存儲單元，與計算單元連接，以存儲每種光阻劑的光阻劑剩余量和更新光阻劑初始量。由于根據(jù)上述信息可以確定每種光阻劑的光阻劑剩余量，因而工作人員可以對光阻劑剩余量進行實時監(jiān)控，從而為工作人員合理安排生產進度提供了可靠的參考依據(jù)，提高了光阻劑的使用率，減少了生產浪費并提高了生產效益。
【IPC分類】H01L21-66
【公開號】CN104658934
【申請?zhí)枴緾N201310577894
【發(fā)明人】方利, 黃亮, 張宛錚
【申請人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
【公開日】2015年5月27日
【申請日】2013年11月18日