一金屬或金屬合金層(207)。最優(yōu)選地，圖案化的第一金屬或金屬合金層(207)是銅或銅合金，以及第二金屬或金屬合金層(210)是錫或錫合金。
[0115]在圖4中所示的本發(fā)明的又一實(shí)施例中，在步驟(V)之后第二抗蝕劑層(208)被沉積在第一金屬或金屬合金層(206)上并且被圖案化以便提供第二開孔(209)，其具有與第一開孔(204)相同的xy位置(與圖案化的第一抗蝕劑層(203)和圖案化的第二抗蝕劑層
(208)重疊)(圖4b)。
[0116]第二抗蝕劑層(208 )可以選自液體抗蝕劑材料、可印刷的抗蝕劑材料和干膜抗蝕劑材料，并且可以通過標(biāo)準(zhǔn)方法被沉積和圖案化。
[0117]接著，第二金屬或金屬合金層(210)被沉積在第二開孔(209)中。第二金屬或金屬合金層(210)優(yōu)選是選自包括錫、錫合金(例如錫銀合金)和銀的組的可焊接層。第二金屬或金屬合金層(210)優(yōu)選通過選自浸泡鍍敷、無電極電鍍和電鍍的方法被沉積。
[0118]然后通過本領(lǐng)域中已知的方法剝離圖案化的第二抗蝕劑層(208)(圖4d)。
[0119]然后以與已經(jīng)分別針對步驟(vi)和步驟(vii)描述的相同的方式去除導(dǎo)電籽晶層(205 )和圖案化的第一抗蝕劑層(203 )。
[0120]在本發(fā)明的該實(shí)施例中(圖4e)，獲得具有在所述圖案化的第一金屬或金屬合金層
(207)的頂部上的可焊接的第二金屬或金屬合金層(210)的圖案化的第一金屬或金屬合金層(207)。最優(yōu)選地，圖案化的第一金屬或金屬合金層(207)是銅或銅合金，以及第二金屬或金屬合金層(210)是錫或錫合金。
[0121]在本發(fā)明的又一實(shí)施例中，圖案化的第一金屬或金屬合金層(207 )，優(yōu)選為銅或銅合金，在步驟(V)之后通過使太陽能電池基板與包括唑(例如苯并咪唑(BTA))的液體成分接觸被進(jìn)一步涂覆有有機(jī)可焊性防腐劑(OSP)。在錫或錫合金作為圖案化的第一金屬或金屬合金層(207)的情況下，OSP優(yōu)選包括有機(jī)磷或磷酸酯化合物。OSP涂層在本文中被稱為蓋層(211)。該實(shí)施例在圖5中示出，其中在步驟(V)中獲得的太陽能電池基板在圖5a中示出并且涂覆有蓋層(211)的該相同的基板在圖5b中示出。
[0122]在本發(fā)明的另一實(shí)施例中，圖案化的第一金屬或金屬合金層(207)，優(yōu)選為銅或銅合金，在步驟(V)之后被進(jìn)一步涂覆有蓋層(211)，該蓋層包括可焊接的金屬或可焊接的金屬合金。這種可焊接的金屬或可焊接的金屬合金可以是錫層、錫合金層(例如錫銀合金層)或銀層?？梢酝ㄟ^無電極電鍍或浸泡型鍍敷來沉積該可焊接的蓋層(211)。適合于將這種可焊接的蓋層(211)沉積在圖案化的第一金屬或金屬合金層(207)上的鍍敷槽液成分和方法是本領(lǐng)域中已知的。該實(shí)施例也在圖5中示出，其中在步驟(V)中獲得的太陽能電池基板在圖5a中示出并且其中圖案化的第一金屬或金屬合金層(207)被涂覆有可焊接的蓋層(211)的該相同的基板在圖5b中示出。
[0123]選自銅或銅合金的圖案化的第一金屬或金屬合金層(207)在稍后的工藝步驟中可以在沉積聚合物密封劑(例如醋酸乙烯乙酯(EVA))之前經(jīng)受粘附促進(jìn)處理。用于所述粘附促進(jìn)處理的合適的水性成分可以包括酸(例如硫酸)、氧化劑(例如過氧化氫)和唑類化合物。另一合適的水性成分包括氫氧根離子和次氯酸根離子。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于太陽能電池基板(201)的金屬化的方法，該方法以該次序包括以下步驟: (i)提供太陽能電池基板(201)，所述太陽能電池基板具有在所述基板(201)的一個表面的至少一部分上的鍍敷基底(202)， (?)在所述太陽能電池基板(201)的至少一個面上形成第一抗蝕劑層(203)并且圖案化所述第一抗蝕劑層(203)，并由此形成暴露所述鍍敷基底(202)的至少一部分的第一開孔(204)， (iii)在圖案化的第一抗蝕劑層(203)的頂部上以及所述鍍敷基底的被所述第一開孔(204)暴露的那些部分上形成導(dǎo)電籽晶層(205)， (iv)將第一金屬或金屬合金層(206)電鍍在于步驟(iii)中形成的所述導(dǎo)電籽晶層(205)上， (v)從圖案化的第一抗蝕劑層(203)刻蝕掉足以去除第一金屬或金屬合金層(206)的量的第一金屬或金屬合金層(206)，留下在所述第一開孔(204)中的圖案化的第一金屬或金屬合金層(206)， (vi)從圖案化的第一抗蝕劑層(203)刻蝕掉所述導(dǎo)電籽晶層(205)，以及 (vii)去除圖案化的第一抗蝕劑層(203)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽能電池基板(201)的金屬化的方法，其中在規(guī)定(provis1)是僅選擇用于娃基太陽能電池基板的金屬娃化物的情況下，所述鍍敷基底(202)選自包括下述的組:摻雜的硅、金屬硅化物、一個或多個薄金屬或金屬合金層、以及透明導(dǎo)電氧化物。
3.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的用于太陽能電池基板(201)的金屬化的方法，其中所述第一抗蝕劑層(203)包括下述中的一個或多個:丙烯酸酯、乙烯/丙烯酸乙酯共聚物、乙烯/甲基丙烯酸酯共聚物、乙烯/丙烯酸共聚物、乙烯/丙烯酸丁酯共聚物、聚甲基戊烯和聚甲基丙烯酸甲酯。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于太陽能電池基板(201)的金屬化的方法，其中所述第一抗蝕劑層(203)還包括選自包括下述的組的填充物:硼酸鋁、氧化鋁、氫氧化鋁、無煙煤、銻酸鈉、五氧化二銻、三氧化銻、磷灰石、硅鎂土、偏硼酸鋇、硫酸鋇、硫酸鍶、鈦酸鋇、膨潤土、氧化鈹、氮化硼、碳酸鈣、氫氧化鈣、硫酸鈣、炭黑、粘土、方英石、硅藻土、白云石、鐵氧體、長石、玻璃珠、石墨、水合硅酸鈣、氧化鐵、高嶺土、鋅鋇白、氧化鎂、云母、二硫化鉬、珍珠巖、例如PTFE、PE,聚酰亞胺的聚合物填充物、浮石、葉蠟石、橡膠顆粒、煅制二氧化硅、熔融二氧化硅、沉淀二氧化硅、海泡石、石英、砂、板巖粉、滑石、二氧化鈦、蛭石、木粉、硅灰石、沸石(Zeolithes)、硼酸鋅、氧化鋅、錫酸鋅、硫化鋅、聚芳基酰胺纖維、碳纖維、纖維素纖維和玻璃纖維，及其混合物。
5.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的用于太陽能電池基板(201)的金屬化的方法，其中所述第一抗蝕劑層(203 )被沉積在整個基板(201)上，包括所述基板(201)的邊緣和側(cè)壁。
6.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的用于太陽能電池基板(201)的金屬化的方法，其中通過金屬或金屬合金的無電極電鍍形成所述導(dǎo)電籽晶層(205 )。
7.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的用于太陽能電池基板(201)的金屬化的方法，其中所述導(dǎo)電籽晶層(205)選自包括下述的組:銅、銅合金、鎳、鎳合金、鈷以及鈷合金。
8.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的用于太陽能電池基板(201)的金屬化的方法，其中所述第一金屬或金屬合金層(206)選自包括下述的組:銅、銅合金、鎳、鎳合金、錫、錫合金、銀以及銀合金。
9.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的用于太陽能電池基板(201)的金屬化的方法，其中在步驟(iv)和(V)之間將第二金屬或金屬合金層(210)沉積到由形成在所述第一金屬或金屬合金層(206)的至少一部分上的第二抗蝕劑層(208)形成的第二開孔(209)中。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于太陽能電池基板(201)的金屬化的方法，其中所述第二金屬或金屬合金層(210 )選自錫、錫合金以及銀。
11.根據(jù)權(quán)利要求1-8所述的用于太陽能電池基板(201)的金屬化的方法，其中在步驟(V)和(vi)之間將第二金屬或金屬合金層(210)沉積到由形成在所述第一金屬或金屬合金層(206)的至少一部分上的第二抗蝕劑層(208)形成的第二開孔(209)中。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的用于太陽能電池基板(201)的金屬化的方法，其中所述第二金屬或金屬合金層(210 )選自錫、錫合金以及銀。
13.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的用于太陽能電池基板(210)的金屬化的方法，其中在步驟(V)之后將蓋層(211)沉積在圖案化的第一金屬或金屬合金層(207)上。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的用于太陽能電池基板的金屬化的方法，其中所述蓋層(211)選自包括下述的組:唑及其衍生物、有機(jī)磷化合物、有機(jī)磷酸鹽化合物、錫、錫合金以及銀。
15.一種包括根據(jù)權(quán)利要求1-14中的任一項(xiàng)制造的第一金屬或金屬合金層的太陽能電池。
【專利摘要】本發(fā)明涉及通過電鍍的用于太陽能電池基板的金屬化方法，其中i）抗蝕劑被沉積在太陽能電池基板的至少一個表面上并被圖案化，ii）導(dǎo)電籽晶層被沉積在圖案化的抗蝕劑上和由抗蝕劑圖案形成的開孔中，iii）第一金屬或金屬合金被電鍍到導(dǎo)電籽晶層上，以及iv）第一金屬或金屬合金層的被沉積到圖案化的抗蝕劑上的那些部分被去除。
【IPC分類】H01L31-0224, H01L31-18
【公開號】CN104620394
【申請?zhí)枴緾N201380047831
【發(fā)明人】T.福斯, K-J.馬特雅特, J.施佩林, S.蘭普雷希特, C.舍嫩貝格爾
【申請人】安美特德國有限公司
【公開日】2015年5月13日
【申請日】2013年8月15日
【公告號】EP2709160A1, WO2014040818A1