專利名稱：Q開關(guān)激光器裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種提供Q開關(guān)脈沖激光束振蕩輸出的Q開關(guān)激光器裝置。
用Q開關(guān)可以將YAG激光器之類的固體激光裝置的連續(xù)振蕩轉(zhuǎn)換成具有高峰值功率(峰值輸出)的高速重復(fù)率的脈沖振蕩。YAG激光器裝置通常是利用超聲波布拉格衍射作為聲光Q開關(guān)。
如

圖10所示，聲光Q開關(guān)100的設(shè)計(jì)，一般由人造石英玻璃104、壓電元件108和高頻匹配電路110組成。人造石英玻璃104作為一個(gè)極化介質(zhì)，在它的入射和出射表面都鍍有增透膜102，壓電元件108通過一個(gè)膠合層106耦合到石英玻璃104一個(gè)表面(底面)，以產(chǎn)生超聲。
當(dāng)Q開關(guān)驅(qū)動(dòng)器112提供例如24MHz、50W高頻電信號ES經(jīng)過匹配電路110到達(dá)壓電元件108時(shí)，高頻電信號ES由壓電效應(yīng)轉(zhuǎn)換成超聲波AS，并在石英玻璃104內(nèi)部傳輸。由于光彈效應(yīng)引起石英玻璃104內(nèi)折射率的周期性分布，當(dāng)光束LBi以一個(gè)適當(dāng)?shù)慕嵌壬涞狡渖蠒r(shí)，入射光束LBi就被衍射為LBR(即聲光效應(yīng))。
圖11示出一個(gè)Q開關(guān)YAG激光振蕩器的結(jié)構(gòu)。YAG棒116和激勵(lì)燈118彼此平行地放置在一個(gè)橢圓柱形反射器114內(nèi)的一對橢圓焦點(diǎn)上，輸出鏡120和全反射鏡122分別放置在YAG棒116兩端面的前方，Q開關(guān)100插在YAG棒116的一個(gè)端面和輸出鏡120之間。
如上文所描述，一旦高頻電信號ES加到Q開關(guān)100上，使超聲波AS通過石英玻璃104的內(nèi)部，從YAG棒116射出的激光束的一部分就被Q開關(guān)100衍射，這樣激光振蕩器的損耗就增加，Q值就減小，導(dǎo)致激光振蕩停止。
盡管激光振蕩停止，然而，激勵(lì)燈118對YAG棒116的激發(fā)還在繼續(xù)，因此在激光振蕩器內(nèi)的激勵(lì)能量仍在積累并儲存。然后，如果當(dāng)這些儲存的激勵(lì)能量變得足夠大，這時(shí)關(guān)閉高頻電信號ES，使Q值很快恢復(fù)。激光振蕩器內(nèi)將再次發(fā)生脈沖振蕩，結(jié)果獲得具有極高峰值功率(峰值輸出)的Q開關(guān)脈沖激光束LBQ。
在實(shí)際應(yīng)用中，加到Q開關(guān)100上的高頻電信號ES已經(jīng)被具有適當(dāng)重復(fù)頻率的調(diào)制脈沖所調(diào)制，所加的高頻電信號ES在每一個(gè)調(diào)制脈沖持續(xù)時(shí)間內(nèi)暫時(shí)中斷，從而得到與調(diào)制脈沖同步的Q開關(guān)脈沖激光束LBQ。
參考圖12，在即將實(shí)行Q開關(guān)脈沖振蕩之前存儲在激光振蕩器內(nèi)的激勵(lì)能量正比于調(diào)制脈沖間隔或脈沖周期TQ，因此它隨著脈沖周期TQ的變長而增大。但是當(dāng)超過了飽和參考時(shí)間TS(例如500μs)時(shí)，它就達(dá)到飽和值EM。
因此，當(dāng)脈沖周期TQ等于或大于TS時(shí)，Q開關(guān)脈沖激光束LBQ的峰值功率將達(dá)到最大或飽和電平PM，如圖13A所示，而當(dāng)脈沖周期TQ小于TS時(shí)，峰值功率由最大電平PM乘以比值(TQ/TS)，如圖13B所示。
在實(shí)際應(yīng)用時(shí)，上述Q開關(guān)激光振蕩器的Q開關(guān)作用常常在比參考時(shí)間TS短的周期TQ時(shí)完成。
在這樣一種情況下，如圖14所示，可能引起這樣一個(gè)問題，即在電源打開后或Q開關(guān)重新開始后立即出現(xiàn)的第一個(gè)Q開關(guān)脈沖激光束(即稱為第一個(gè)脈沖的LBQ(1))其峰值功率可能會(huì)遠(yuǎn)高于其他(后續(xù))的Q開關(guān)脈沖激光束LBQ(2)、LBQ(3)等等。
這可以認(rèn)為是，打開電源或激光振蕩輸出重新開始后立即出現(xiàn)的第一個(gè)脈沖在下述狀態(tài)下進(jìn)行Q開關(guān)，即激勵(lì)能量的存儲量是飽和電平EM，而在穩(wěn)態(tài)輸出時(shí)，Q開關(guān)是在激光振蕩器內(nèi)儲存的激勵(lì)能量達(dá)到飽和電平EM之前(短于飽和參考時(shí)間TS的周期)完成的。
在精密激光加工的情況中，這種第一個(gè)脈沖LBQ(1)的過高峰值功率可能影響加工質(zhì)量。
例如，在激光打標(biāo)(marking)處理時(shí)，當(dāng)打標(biāo)處理點(diǎn)從一行(筆劃)JA跳至另一行(筆劃)JB時(shí)，如圖15A所示，在JA的終點(diǎn)jA(N)和JB的起始點(diǎn)jB(1)之間可能有一個(gè)大的Q開關(guān)時(shí)間間隔TK在此情況下，如果在描繪兩個(gè)筆劃JA和JB期間脈沖周期TQ短于TS，如圖15B所示，則對應(yīng)于起始點(diǎn)jB(1)的Q開關(guān)脈沖激光束，即第一個(gè)脈沖LBQB(1)的峰值功率，將遠(yuǎn)高于其他Q開關(guān)脈沖激光束LBQA(N-1)、LBQA(N)、LBQB(2)、LBQB(3)等，其結(jié)果是打出來的起始點(diǎn)jB(1)的尺寸遠(yuǎn)大于其他點(diǎn)jA(N-1)、jA(N)、jB(2)、jB(3)等的點(diǎn)尺寸，導(dǎo)致打標(biāo)品質(zhì)變差。
為了處理這種缺點(diǎn)，可以設(shè)想一種方法將第一個(gè)脈沖的調(diào)制度(振幅的壓縮或衰減度)適當(dāng)減小，從而抑制它的峰值功率，并與穩(wěn)定狀態(tài)下的峰值功率一致。
但是，通常，要想通過單個(gè)第一個(gè)脈沖LBQ(1)釋放所有被儲存的激勵(lì)能是困難的，其結(jié)果是剩下的激勵(lì)能被轉(zhuǎn)移到后續(xù)的Q開關(guān)脈沖激光束LBQ(2)、LBQ(3)等上去，發(fā)生使它們的峰值功率突然變高的現(xiàn)象，如圖14中虛線所示。
另外，這種現(xiàn)象將會(huì)隨第一個(gè)脈沖LBQ(1)振蕩輸出開始之前的存儲時(shí)間或脈沖周期TQ(Q開關(guān)周期)而變。具體地講，當(dāng)儲存時(shí)間超過了飽和參考時(shí)間TS之后存在某個(gè)過渡時(shí)間時(shí)，與正好超過時(shí)間TS的情況相比，或在更短的脈沖周期TQ時(shí)相比，這種能從第一個(gè)脈沖LBQ(1)轉(zhuǎn)移到后續(xù)脈沖LBQ(2)、LBQ(3)等的激勵(lì)能量的程度或限度將會(huì)更大。
在過去，通過以重復(fù)試驗(yàn)和差錯(cuò)方式適當(dāng)改變每個(gè)Q開關(guān)脈沖激光束的調(diào)制度。但是，這種方法不能處理任何實(shí)際的應(yīng)用。例如在上述激光打標(biāo)處理中，在兩個(gè)筆劃之間Q開關(guān)中斷時(shí)間不可能總是不變，而且隨圖案不同可能變化很大，所以很難通過重復(fù)試驗(yàn)和差錯(cuò)方式來設(shè)定調(diào)制，或者用固定的調(diào)制控制來處理這類問題。因此，要想通過提供具有均勻的峰值功率的Q開關(guān)脈沖激光束的振蕩輸出，來獲得均勻的打點(diǎn)圖形是很困難的。
本發(fā)明的設(shè)想就是針對上述問題的。因而本發(fā)明的目的就是要提供一種Q開關(guān)激光器裝置，它可按照激光振蕩器中的實(shí)際激勵(lì)能量存儲量來確保最佳的調(diào)制控制。
為了解決上述問題，本發(fā)明的第一方面是提供一種Q開關(guān)激光器裝置，它包括包含Q開關(guān)的激光振蕩器；電源，為所述激光振蕩器的連續(xù)振蕩提供電功率；高頻振蕩裝置，產(chǎn)生固定頻率的高頻電信號；參考脈沖發(fā)生裝置，產(chǎn)生用于調(diào)制所述高頻電信號的具有所期望的重復(fù)頻率的調(diào)制參考脈沖；存儲時(shí)間測量裝置，測量所述高頻信號保持其振幅在穩(wěn)定電平直到由所述參考脈沖發(fā)生裝置產(chǎn)生的預(yù)定調(diào)制參考脈沖的脈沖持續(xù)時(shí)間開始的時(shí)間，將其作為所述激光振蕩器中Q開關(guān)脈沖振蕩的激勵(lì)能量存儲時(shí)間；調(diào)制度計(jì)算裝置，根據(jù)由所述存儲時(shí)間測量裝置所測的存儲時(shí)間來計(jì)算相應(yīng)于所述預(yù)定調(diào)制參考脈沖的調(diào)制度；調(diào)制裝置，根據(jù)所述調(diào)制參考脈沖，并對應(yīng)于由所述調(diào)制度計(jì)算裝置計(jì)算的調(diào)制度，調(diào)制所述高頻電信號；及Q開關(guān)驅(qū)動(dòng)器裝置，響應(yīng)于所述調(diào)制高頻電信號來驅(qū)動(dòng)所述Q開關(guān)，使所述激光振蕩器振蕩并輸出Q開關(guān)脈沖激光束，此光束與所述調(diào)制參考脈沖同步，并有符合所述調(diào)制度的峰值功率。
本發(fā)明的第二個(gè)方面是提供一種Q開關(guān)激光器裝置，它包括包含有Q開關(guān)的激光振蕩器；電源，為所述激光振蕩器連續(xù)振蕩提供電功率；高頻振蕩裝置，產(chǎn)生固定頻率的高頻電信號；參考脈沖發(fā)生裝置，產(chǎn)生用于調(diào)制所述高頻電信號的具有所期望的重復(fù)頻率的調(diào)制參考脈沖；存儲時(shí)間測量裝置，測量所述高頻信號保持其振幅在穩(wěn)定電平直到由所述參考脈沖發(fā)生裝置產(chǎn)生的預(yù)定調(diào)制參考脈沖的脈沖持續(xù)時(shí)間開始的時(shí)間，將其作為所述激光振蕩器中Q開關(guān)脈沖振蕩的激勵(lì)能量存儲時(shí)間；脈沖順序計(jì)數(shù)裝置，用等時(shí)間間隔的脈沖串來對所述預(yù)定調(diào)制參考脈沖的順序計(jì)數(shù)；調(diào)制度計(jì)算裝置，根據(jù)由所述存儲時(shí)間測量裝置測量的存儲時(shí)間和由所述順序計(jì)數(shù)裝置計(jì)數(shù)的順序，計(jì)算相應(yīng)于所述預(yù)定調(diào)制參考脈沖的調(diào)制度；調(diào)制裝置，根據(jù)所述調(diào)制參考脈沖，并對應(yīng)于由所述調(diào)制度計(jì)算裝置計(jì)算的調(diào)制度，調(diào)制所述高頻電信號；及Q開關(guān)驅(qū)動(dòng)器裝置，響應(yīng)于所述調(diào)制高頻電信號來驅(qū)動(dòng)所述Q開關(guān)，使所述激光振蕩器振蕩并輸出Q開關(guān)脈沖激光束，此光束與所述調(diào)制參考脈沖同步，并有符合所述調(diào)制度的峰值功率。
根據(jù)第一或第二個(gè)方面所述的Q開關(guān)激光器裝置中，存儲時(shí)間測量裝置包括第一計(jì)時(shí)器裝置，用來測量從高頻電信號饋入開始點(diǎn)到第一個(gè)饋入的調(diào)制參考脈沖的前沿開始點(diǎn)之間所經(jīng)過的時(shí)間；第二計(jì)時(shí)器裝置，測量在饋入的高頻電信號持續(xù)期間所加的兩個(gè)相繼調(diào)制參考脈沖之間所經(jīng)過的時(shí)間，即前一個(gè)調(diào)制參考脈沖后沿端點(diǎn)至后一個(gè)調(diào)制參考脈沖前沿端點(diǎn)。
另一方面，根據(jù)第一或第二個(gè)方面所述的Q開關(guān)激光器裝置中，調(diào)制裝置可包括調(diào)制脈沖發(fā)生裝置，它產(chǎn)生與調(diào)制參考脈沖同步的調(diào)制脈沖，調(diào)制脈沖前沿的上升陡度與調(diào)制度一致；振幅調(diào)制裝置，用調(diào)制脈沖來調(diào)制高頻電信號的振幅。
最好，根據(jù)第一或第二個(gè)方面所述的Q開關(guān)激光器裝置中，調(diào)制裝置可包括調(diào)制脈沖發(fā)生裝置，它產(chǎn)生與調(diào)制參考脈沖同步的調(diào)制脈沖，調(diào)制脈沖的幅度與調(diào)制度一致；以及振幅調(diào)制裝置，用調(diào)制脈沖來調(diào)制高頻電信號的振幅。
根據(jù)本發(fā)明的上述Q開關(guān)激光器裝置，要測量每個(gè)Q開關(guān)開始的激勵(lì)能量存儲時(shí)間，依據(jù)存儲時(shí)間控制Q開關(guān)的調(diào)制度，由此根據(jù)激光振蕩器中激勵(lì)能的實(shí)際存儲量，提供調(diào)制的最佳控制。
通過結(jié)合附圖對本發(fā)明的詳細(xì)描述，本發(fā)明中上述及其他目的、方面、特征和優(yōu)點(diǎn)將變得更加清楚，附圖中
圖1表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的用于掃描打標(biāo)的Q開關(guān)YAG激光處理裝置的主體部分結(jié)構(gòu)方框圖；圖2是表示本實(shí)施例的Q開關(guān)控制單元結(jié)構(gòu)的方框圖；圖3A到3E是波形圖，顯示了各個(gè)部分上出現(xiàn)的信號波形，用以解釋本實(shí)施例的Q開關(guān)控制單元中脈沖發(fā)生器、脈沖整形電路和調(diào)制脈沖發(fā)生電路的功能；圖4A到4C是解釋基本調(diào)制控制方法的波形圖，它是本實(shí)施例中的Q開關(guān)調(diào)制控制的基礎(chǔ)；圖5A到5C是解釋基本調(diào)制控制方法的波形圖，它是本實(shí)施例中的Q開關(guān)調(diào)制控制的基礎(chǔ)；圖6是表示主控單元的功能結(jié)構(gòu)框圖，本單元提供本實(shí)施例中的Q開關(guān)調(diào)制控制；圖7表示本實(shí)施例中的激光打標(biāo)中相繼兩個(gè)筆劃之間的轉(zhuǎn)換；圖8A到8C是表示相應(yīng)于本實(shí)施例的圖7中的模式的各個(gè)部分出現(xiàn)的波形圖；圖9A到9C是表示本實(shí)施例中基本Q開關(guān)調(diào)制控制方法變型的波形圖；圖10是表示聲光Q開關(guān)的結(jié)構(gòu)圖；圖11是表示Q開關(guān)YAG激光振蕩器結(jié)構(gòu)的透視圖；圖12示出在Q開關(guān)激光器裝置中，激勵(lì)能量存儲量和脈沖周期之間的關(guān)系；圖13A和13B示出在Q開關(guān)激光器裝置中，Q開關(guān)脈沖激光束的峰值功率與脈沖周期之間的關(guān)系；圖14表示Q開關(guān)固體激光器中，第一脈沖、第二脈沖等的峰值功率異常突起的現(xiàn)象；及圖15A和15B是表示激光打標(biāo)處理中，圖14的現(xiàn)象可能引起的缺陷；本發(fā)明將參考圖1到圖9來描述，這些附圖示出本發(fā)明的優(yōu)化實(shí)例，但不作為限定。
圖1表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的用于掃描打標(biāo)的Q開關(guān)YAG激光處理裝置的主體部分結(jié)構(gòu)方框圖。
本發(fā)明的YAG激光處理裝置包括YAG棒10、激勵(lì)燈12、輸出鏡14、全反射鏡16及Q開關(guān)18組成，它們?nèi)w構(gòu)成類似于圖11所示的YAG激光振蕩器19。
激勵(lì)燈12接收從電源電路20供給的連續(xù)振蕩的電功率，可連續(xù)發(fā)光。YAG棒10被從激勵(lì)燈12發(fā)出的基本穩(wěn)定的光束激勵(lì)，并且從棒的軸向兩端表面射出基本穩(wěn)定的光束。
當(dāng)加到Q開關(guān)18上的高頻電信號ES中斷時(shí)，從YAG棒10的兩端面發(fā)出的光反復(fù)地通過Q開關(guān)18在輸出鏡14和全反射鏡16之間反射共振放大。在此之后光束通過輸出鏡14在軸向以Q開關(guān)脈沖激光束LBQ的形式輸出。從輸出鏡14輸出的Q開關(guān)脈沖激光束LBQ通過未示出的光學(xué)傳輸系統(tǒng)，如反射鏡或光纖，傳輸?shù)綊呙鑶卧?2。
掃描單元22內(nèi)含一個(gè)光學(xué)掃描機(jī)構(gòu)和一個(gè)掃描驅(qū)動(dòng)電路，前者用以在要加工的材料W上，由Q開關(guān)脈沖激光LBQ的束斑掃出所期望的圖案來。
Q開關(guān)18可以是聲光Q開關(guān)，它具有和圖10示出的相同的結(jié)構(gòu)和功能。因此，當(dāng)在Q開關(guān)控制單元24的控制下，由Q開關(guān)驅(qū)動(dòng)器20發(fā)出的高頻電信號ES加在Q開關(guān)18上的時(shí)間期間，利用聲光效應(yīng)從YAG棒10來的入射光束LBi將被聲光Q開關(guān)18所衍射(因而降低它的Q值)，從而在諧振器中建立和存儲激勵(lì)能，而當(dāng)高頻電信號Es的供應(yīng)被關(guān)閉時(shí)，Q開關(guān)18就允許入射激光束LBi照直向前(恢復(fù)它的Q值)，因而可以通過已積累起來的激勵(lì)能在一個(gè)沖程(stroke)內(nèi)完成激光振蕩，產(chǎn)生Q開關(guān)脈沖激光束LBQ。
主控單元28由微計(jì)算機(jī)組成，用于按照內(nèi)置存儲器中的程序或通過輸入裝置30的輸入各種設(shè)定值或命令，提供對不同部件動(dòng)作的控制，這些部件包括電源電路20、掃描單元22和Q開關(guān)控制單元24。
圖2示出本實(shí)施例中Q開關(guān)控制單元24的電路結(jié)構(gòu)。Q開關(guān)控制單元24包括脈沖發(fā)生器32、脈沖整形電路34、調(diào)制脈沖產(chǎn)生電路36、高頻振蕩器38和調(diào)制電路40。
脈沖發(fā)生器32例如是由V-F(電壓-頻率)轉(zhuǎn)換器構(gòu)成的，它接收由主控單元28發(fā)出的Q開關(guān)控制信號qc和頻率控制電壓vs，并產(chǎn)生脈沖SP，當(dāng)qc有效時(shí)(例如，高電平)，其重復(fù)頻率與重復(fù)頻率控制電壓vs值成正比。
正如圖3C描繪的，脈沖發(fā)生器32產(chǎn)生的脈沖SP的脈沖寬度TSP反比于重復(fù)頻率而變化。具體地講，較低的重復(fù)頻率導(dǎo)致較大的脈沖寬度TSP，而較高的重復(fù)頻率導(dǎo)致較小的脈沖寬度TSP。
脈沖整形電路34例如是單穩(wěn)態(tài)多諧振蕩器。它接收脈沖發(fā)生器32產(chǎn)生的脈沖SP并發(fā)射脈沖CP，該脈沖具有對應(yīng)于脈沖SP前沿的脈沖寬度TW并具有某種振幅，如圖3C和3D所示。
本示例中脈沖發(fā)生器32和脈沖整形電路34組成參考脈沖發(fā)生裝置，輸出從脈沖整形電路34發(fā)射的有某個(gè)脈寬的脈沖CP作為調(diào)制參考脈沖。
圖3A中為說明本示例中參考脈沖發(fā)生裝置的功能，令參考脈沖發(fā)生器32重復(fù)頻率控制電壓vs的電平隨時(shí)間單調(diào)增加，雖然，在實(shí)際中，頻率控制電壓vs保持在某個(gè)電壓電平上，該電壓電平對應(yīng)于Q開關(guān)脈沖激光束LBQ的重復(fù)頻率(Q開關(guān)頻率)的設(shè)定值。
調(diào)制脈沖產(chǎn)生電路36接收從脈沖整形電路34來的脈沖CP，并產(chǎn)生脈沖MP與脈沖CP同步調(diào)制，脈沖MP的上升陡度θ與從主控單元28來的調(diào)制度控制信號mc一致，如圖3D和3E所示。
調(diào)制電路40接收從調(diào)制脈沖產(chǎn)生電路36來的調(diào)制脈沖MP，并接收以例如24MHZ和50W從高頻振蕩器38依次輸出的高頻信號ES0形式的載波，以采用調(diào)制脈沖MP來調(diào)制高頻電信號ES0的振幅，從而相繼產(chǎn)生用于Q開關(guān)的高頻電信號ES。
在本實(shí)施例中，調(diào)制裝置由調(diào)制脈沖產(chǎn)生電路36和調(diào)制電路40組成。
應(yīng)理解的是，高頻振蕩器38根據(jù)從主控單元28來的高頻振蕩控制信號ec對高頻信號ES0作開-關(guān)控制，以確保高頻電信號ES0只在信號ec有效(高電平)的時(shí)間內(nèi)發(fā)出。
Q開關(guān)驅(qū)動(dòng)器26可以是功率放大器類型的驅(qū)動(dòng)器電路，它具有與圖10所示相同的結(jié)構(gòu)和功能，它用于放大從調(diào)制電路40來的高頻電信號ES的功率，并借助于這樣放大的高頻電信號來驅(qū)動(dòng)Q開關(guān)18。
下面參看圖4A到4C及圖5A到5C，它描述了一種基本調(diào)制控制方法，它是本實(shí)施例中Q開關(guān)的基礎(chǔ)。
正如圖4A、4B和4C可見，當(dāng)調(diào)制電路40接收電壓超過預(yù)定電平的方波形式的調(diào)制脈沖MP時(shí)，就獲得一個(gè)具有固定振幅的高頻電信號ES，它有著對應(yīng)于調(diào)制脈沖MP低電平的工作周期和對應(yīng)于調(diào)制脈沖MP的高電平的截止周期(完全截止周期)。一旦Q開關(guān)18被此高頻電信號ES作用，激光振蕩器19就在截止周期開始處產(chǎn)生Q開關(guān)脈沖振蕩，使輸出鏡14輸出Q開關(guān)脈沖激光束LBQ。
如果激光振蕩器19被提供有來自電源電路20的恒定不變的功率而連續(xù)振蕩，則每個(gè)Q開關(guān)脈沖激光束LBQ(i)的峰值功率將正比于每個(gè)相應(yīng)于調(diào)制脈沖MP(i)之前的高頻電信號ES的工作周期，即正比于激勵(lì)能量存儲時(shí)間TG(i)，TG(i)定義為從最接近的調(diào)制脈沖MP(i-1)的后端到當(dāng)前的調(diào)制脈沖MP(i)的前沿始點(diǎn)所經(jīng)歷的時(shí)間。要注意的是，如果這個(gè)存儲時(shí)間TG(i)超過參考時(shí)間TS，峰值功率則將保持在預(yù)定的飽和電平上。
本領(lǐng)域的技術(shù)人員都知道，有多種方法能在這種給定的脈沖間隔或脈沖周期下，對Q開關(guān)脈沖激光束LBQ的峰值功率提供任意可變的控制。這些方法之一如圖5A到圖5C所示。這一方法，不是瞬時(shí)地將調(diào)制脈沖MP從低電平升到高電平，而是形成一個(gè)上升波形(MP’)，它有一個(gè)適當(dāng)?shù)男倍然蚨付圈龋源_保高頻電信號ES的振幅逐漸減小(ES’)到零。
根據(jù)這種方法，當(dāng)高頻電信號ES的振幅變得小于某一閾值時(shí)，就會(huì)發(fā)生Q開關(guān)脈沖振蕩(LBQ)。在脈沖信號MP’的前沿的上升陡度θ越小，就越要求更長的時(shí)間使高頻電信號(ES’)的振幅變成小于閾值(即，使Q開關(guān)開始時(shí)的激勵(lì)能量的損耗變得更大)，結(jié)果使Q開關(guān)脈沖激光束LBQ的峰值功率變得更低。
在本實(shí)施例中，正如下文將描述的，主控單元28根據(jù)參考脈沖CP測量每個(gè)調(diào)制脈沖MP(i)之前的存儲時(shí)間TG，并用從Q開關(guān)控制信號qc來的單個(gè)等時(shí)間間隔脈沖串來對每個(gè)參考脈沖CP的順序進(jìn)行計(jì)數(shù)，從而獲得與測量到的或計(jì)數(shù)的存儲時(shí)間和順序相符合的調(diào)制度[MD]。然后，將對應(yīng)于這樣獲得的調(diào)制度[MD]的調(diào)制度控制信號mc傳遞給Q開關(guān)控制單元24中的調(diào)制脈沖產(chǎn)生電路36，由此產(chǎn)生具有與調(diào)制度[MD]一致的上升陡度θ的調(diào)制脈沖MP。
圖6表示本實(shí)施例中與Q開關(guān)調(diào)制控制有關(guān)的主控單元28中的功能結(jié)構(gòu)。
與本實(shí)施例的Q開關(guān)調(diào)制控制相關(guān)聯(lián)，這個(gè)主控單元28包括序列控制單元42、設(shè)定單元44、存儲時(shí)間測量單元46、脈沖順序計(jì)數(shù)單元48以及調(diào)制度控制單元50。
設(shè)定單元44保存通過輸入裝置30輸入的用于打標(biāo)處理的各種設(shè)定值數(shù)據(jù)。根據(jù)從設(shè)定單元44饋入的打標(biāo)繪圖數(shù)據(jù)、打標(biāo)速度和Q開關(guān)頻率等設(shè)定值，序列控制單元42傳遞Q開關(guān)控制信號qc和重復(fù)頻率控制電壓vs到Q開關(guān)控制單元24內(nèi)的脈沖發(fā)生器32，并傳遞高頻振蕩控制信號ec到高頻振蕩器38。
振蕩控制信號ec通常在電源開啟期間有效(高電平)，允許高頻振蕩器38連續(xù)地發(fā)出高頻電信號ES0。
Q開關(guān)控制信號qc通常對每一筆劃打標(biāo)周期有效(高電平)。例如在打標(biāo)兩個(gè)相繼的筆劃JA和JB的情況中，如圖7所示，在打標(biāo)筆劃JA的時(shí)間內(nèi)信號qc保持高電平，允許參考脈沖發(fā)生器32發(fā)出脈沖SP(也就是執(zhí)行Q開關(guān))，在筆劃JA打標(biāo)完成時(shí)，信號qc瞬時(shí)降低，使脈沖SP中斷(即，停止Q開關(guān))，同時(shí)掃描單元22使打標(biāo)點(diǎn)跳到下一筆劃JB的開始點(diǎn)。然后，當(dāng)筆劃JB打標(biāo)開始時(shí)，信號qc再次升為高電平，以輸出脈沖SP(即，恢復(fù)Q開關(guān))。
頻率控制電壓vs有一個(gè)相應(yīng)于Q開關(guān)頻率設(shè)定值的電壓電平。在一次打標(biāo)處理中，Q開關(guān)頻率通常設(shè)定為固定值，這樣，頻率控制電壓vs的電平電平也保持在設(shè)定值。
存儲時(shí)間測量單元46接收從Q開關(guān)控制單元24的脈沖整形電路34來的參考脈沖CP和從序列控制單元42來的振蕩控制信號ec作為時(shí)間測量定時(shí)信號。
相對于參考脈沖CP，測量每個(gè)脈沖的前沿始點(diǎn)和尾部端點(diǎn)。在兩個(gè)相繼的參考脈沖CP(i-1)和CP(i)之間，測量從前面的脈沖CP(i-1)的脈沖尾部端點(diǎn)直到隨后的脈沖CP(i)的脈沖起始點(diǎn)所經(jīng)過的時(shí)間TG(i)，使之作為與后一脈沖CP(i)相應(yīng)的存儲時(shí)間。
此外，對于振蕩控制信號ec，要檢測當(dāng)信號ec變?yōu)橛行r(shí)(通常是正好在開啟電源或打標(biāo)工作開始之后)的特定時(shí)間。測量從上述檢測的時(shí)間點(diǎn)到第一參考脈沖CP(1)的脈沖前沿所經(jīng)過的時(shí)間TG(1)作為相應(yīng)于第一參考脈沖CP(1)的存儲時(shí)間，將測量數(shù)據(jù)連續(xù)輸出。
脈沖順序計(jì)數(shù)單元48接收從脈沖整形單元34來的參考脈沖CP作為計(jì)數(shù)目標(biāo)信號，并接收從序列控制單元42來的Q開關(guān)控制信號qc作為計(jì)數(shù)周期控制信號。
在一筆劃打標(biāo)開始時(shí)，Q開關(guān)控制信號qc從低電平升到高電平，與之相應(yīng)，脈沖順序計(jì)數(shù)單元48開始對參考脈沖CP計(jì)數(shù)，此后，每當(dāng)收到參考脈沖CP時(shí)，計(jì)數(shù)值或順序值<i>就增加一，如<1>、<2>、<3>、<4>…，計(jì)數(shù)值相繼輸出。然后，一個(gè)筆劃的打標(biāo)終止時(shí)，Q開關(guān)控制信號qc從高電平降到低電平，與之相應(yīng)，脈沖順序計(jì)數(shù)單元48完成單個(gè)計(jì)數(shù)動(dòng)作。應(yīng)注意的是，在計(jì)數(shù)開始或結(jié)束時(shí)要復(fù)位。
調(diào)制度控制單元50接收分別由存儲時(shí)間測量單元46和脈沖順序計(jì)數(shù)單元48饋入的每個(gè)參考脈沖CP(i)的存儲時(shí)間的測量數(shù)據(jù)TG(i)和順序值計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)<i>，并根據(jù)上述測量的計(jì)數(shù)值和從設(shè)定單元44來的希望的設(shè)定值(固定值)，通過計(jì)算或查表獲得與參考脈沖CP(i)相應(yīng)的調(diào)制度[MD]。然后，將相應(yīng)于這樣獲得的調(diào)制度[MD]的調(diào)制度控制信號mc饋入到調(diào)制脈沖產(chǎn)生電路36。
調(diào)制脈沖產(chǎn)生電路36接下來產(chǎn)生一個(gè)調(diào)制脈沖MP，它有一個(gè)上升陡度θ，與從脈沖整形單元34來的參考脈沖CP(i)同步，并和從調(diào)制度控制單元50來的調(diào)制度控制信號mc相對應(yīng)。然后，基于這個(gè)調(diào)制脈沖MP，調(diào)制電路40調(diào)制高頻電信號ES0的振幅，因而產(chǎn)生一高頻電信號ES，它以相應(yīng)于調(diào)制脈沖MP的上升陡度θ的衰減率衰減。
正如上文所述，由于在激光振蕩器部分的Q開關(guān)時(shí)激勵(lì)能的存儲量的變化，與穩(wěn)態(tài)時(shí)的峰值功率相比，可能有一種趨勢，即第一個(gè)Q開關(guān)脈沖激光束，又叫作第一脈沖激光束LBQ(1)，或第二、第三Q開關(guān)脈沖激光束LBQ(2)或LBQ(3)的峰值功率，在電源開啟后瞬間或Q開關(guān)重新開始后的瞬間，形成異常的突起。在激光打標(biāo)處理的情況中，它能引起每個(gè)筆劃的起始點(diǎn)異常的粗。
在本實(shí)施例中，存儲時(shí)間測量單元46測出直到激光振蕩器19中每次Q開關(guān)開始的所經(jīng)歷的激勵(lì)能存儲時(shí)間TG。用這個(gè)存儲時(shí)間值TG作為一個(gè)參量，依照圖12中示出的特性曲線，調(diào)制度控制單元50進(jìn)行預(yù)定計(jì)算或檢索預(yù)定的查詢表，這就能夠獲得調(diào)制度，超過飽和參考時(shí)間TS的第一脈沖激光束LBQ(1)的峰值功率因此受到抑制。
即使存儲時(shí)間TG超過飽和參考時(shí)間TS，仍可以按照超過時(shí)間的長度可變地控制調(diào)制度。例如，可以分別定義比飽和參考時(shí)間TS長預(yù)定時(shí)間ta和tb(ta＜tb)的第二、第三個(gè)比較參考時(shí)間Ta和Tb，這樣，調(diào)制度就可對下列①TS＜TG＜Ta、②Ta＜TG＜Tb和③Tb＜TG每種情況設(shè)定不同的值。
這樣，在抑制第一脈沖激光束LBQ(1)的峰值功率時(shí)，當(dāng)由于電源開啟后有一較長時(shí)間段或筆劃間隔較大存儲時(shí)間相對較長(情況③)時(shí)，通過將調(diào)制度或上升陡度θ設(shè)定到最小控制值，可使抑制度達(dá)到最大。相反，當(dāng)由于筆劃間隔較小而使存儲時(shí)間TG稍微超過參考時(shí)間TS(情況①)時(shí)，通過將調(diào)制度或上升陡度θ設(shè)定到大于最小控制值，就可減弱抑制度。
此外，在本實(shí)施例中，脈沖順序計(jì)數(shù)單元48以每組等時(shí)間間隔脈沖，即基于打標(biāo)處理中的一個(gè)筆劃，對每個(gè)參考脈沖CP(1)、CP(2)、…的順序計(jì)數(shù)。調(diào)制度控制單元50能夠?qū)γ總€(gè)脈沖提供一個(gè)可變的調(diào)制度控制，其方式為這個(gè)參量也包含每個(gè)順序值<i>。
例如，上述情況③中，如果第一脈沖LBQ(1)的峰值功率被大大抑制達(dá)到穩(wěn)態(tài)電平，則剩余激勵(lì)能當(dāng)時(shí)不被釋放，而是適當(dāng)?shù)剞D(zhuǎn)移到后面的第二個(gè)脈沖LBQ(2)、第三個(gè)脈沖LBQ(3)等等。所以，第二個(gè)脈沖LBQ(2)、第三個(gè)脈沖LBQ(3)等也可以受調(diào)制度控制，以通過適當(dāng)減小上升陡度θ來抑制它們的各個(gè)峰值功率。
在那時(shí)，對于第二個(gè)脈沖LBQ(2)、第三個(gè)脈沖LBQ(3)等等，也同樣可以考慮從存儲時(shí)間測量單元46獲得的存儲時(shí)間TG或由設(shè)定單元44提供的Q開關(guān)頻率。具體地講，更短的存儲時(shí)間TG(或更高的Q開關(guān)頻率)將導(dǎo)致在更高程度和更大范圍內(nèi)使激勵(lì)能量從第一脈沖LBQ(1)轉(zhuǎn)移到隨后的許多脈沖中去。
將應(yīng)理解的是，從存儲時(shí)間測量單元46獲得的存儲時(shí)間TG，與由設(shè)定單元44來的Q開關(guān)頻率相比，更能精確地表示激勵(lì)能量存儲實(shí)際狀態(tài)的參數(shù)。
因此，通過以適當(dāng)?shù)姆绞娇勺兊乜刂芉開關(guān)脈沖激光束LBQ(1)、LBQ(2)、LBQ(3)等等的調(diào)制度，使之分別具有與預(yù)定的函數(shù)或表格相一致的順序值，并利用從存儲時(shí)間測量單元46來的存儲時(shí)間TG和從脈沖順序計(jì)數(shù)單元48來的脈沖順序值<i>，就可能使它們各自的峰值功率基本上與穩(wěn)態(tài)時(shí)的峰值功率符合。
作為例子，圖8A到圖8C示出在本實(shí)施例中當(dāng)如圖7所示地兩個(gè)相繼的筆劃JA和JB被打標(biāo)時(shí)，在各個(gè)部分出現(xiàn)的波形圖。此例中，峰值功率的抑制控制只提供給筆劃JB中的第一脈沖LBQ(1)及第二脈沖LBQ(2)。
具體地講，使最前一個(gè)調(diào)制脈沖MPB(1)的上升陡度θ大大小于穩(wěn)態(tài)電平(約90度)，因而在很大程度上放寬調(diào)制度，從而使第一脈沖LBQ(1)的峰值功率被很強(qiáng)地抑制了。另外，只使第二調(diào)制脈沖MPB(2)的上升陡度θ比穩(wěn)態(tài)電平稍微小一點(diǎn)，因而調(diào)制度放寬程度較小，從而使第二脈沖LBQ(2)的峰值功率被抑制得弱一些。
第三和后繼脈沖的上升陡度θ固定在穩(wěn)態(tài)值(約90度)，以消除對峰值功率的任何抑制。
各部分的波形如圖8A到8C所示，特別是，采用上文所述主控單元28內(nèi)的存儲時(shí)間測量單元46、脈沖順序計(jì)數(shù)單元48和調(diào)制度控制單元50，調(diào)制脈沖MP的波形和高頻電信號ES的波形根據(jù)每個(gè)與調(diào)制脈沖MP(i)有關(guān)的存儲時(shí)間TG(i)和脈沖順序<i>來控制。
按照本實(shí)施例，以這種方式，在激光打標(biāo)時(shí)，將基本上相同的峰值功率傳遞到每個(gè)脈沖激光束LBQ，從而使形成在每筆劃內(nèi)的打標(biāo)點(diǎn)基本上具有相同尺寸，正如圖7所示，因此改善了打標(biāo)質(zhì)量。
可以認(rèn)識到，上述用于傳遞基本相同的峰值功率到每個(gè)Q開關(guān)脈沖激光束LBQ的調(diào)制控制，只是本實(shí)施例中的固體激光裝置的一個(gè)方面或一種應(yīng)用。按照本實(shí)施例中的Q開關(guān)調(diào)制控制功能，它也將能逐脈沖地單獨(dú)控制調(diào)制度，以使每個(gè)Q開關(guān)脈沖激光束LBQ的峰值功率以單獨(dú)或獨(dú)立的方式被可變地控制。
為了提供對Q開關(guān)脈沖激光束LBQ的峰值功率的可變控制，上述實(shí)施例采用的方法(圖5A到5C)是今調(diào)制脈沖MP的前沿的上升陡度θ依據(jù)調(diào)制度可變地受到控制。因此，在Q開關(guān)控制單元24中安置調(diào)制脈沖產(chǎn)生電路36來產(chǎn)生調(diào)制脈沖MP，使之與從脈沖整形電路34來的脈沖CP同步，并使每個(gè)脈沖的上升陡度θ與來自主控單元28(調(diào)制度控制單元50)的調(diào)制度控制信號mc相符合。
然而，與上述類似的調(diào)制控制也可以用其它的基本調(diào)制控制方法或峰值功率控制方法來實(shí)現(xiàn)，方法之一是按照圖9A到9C所示調(diào)制度來將可變控制應(yīng)用到調(diào)制脈沖MP的振幅電平A。在使用該方法的情況下，Q開關(guān)控制單元24中的調(diào)制脈沖產(chǎn)生電路36用來產(chǎn)生與從脈沖整形電路34來的脈沖CP同步的調(diào)制脈沖MP，每個(gè)脈沖的振幅與從主控單元28(調(diào)制度控制單元50)來的調(diào)制度控制信號mc相一致。其他電路如調(diào)制電路40與上述實(shí)施例有相同的結(jié)構(gòu)。
參考圖9A和9B，當(dāng)調(diào)制脈沖MP的振幅電平A高于預(yù)定閾值A(chǔ)S時(shí)，高頻電信號ES由于在調(diào)制電路40內(nèi)的振幅調(diào)制，它的振幅電平在截止期間變?yōu)?，使得激光振蕩器19的Q值回到它的最大值。然而，當(dāng)調(diào)制脈沖MP的振幅電平A低于預(yù)定閾值A(chǔ)S時(shí)，高頻電信號ES受該調(diào)制脈沖MP的振幅調(diào)制，其振幅電平不能達(dá)到零，引起一個(gè)不完全的截止?fàn)顟B(tài)，于是Q值僅可以回到它的中間值。這便削弱了Q開關(guān)脈沖振蕩對Q開關(guān)脈沖激光束LBQ峰值功率的抑制。
雖然，在本實(shí)施例中，主控單元28中的存儲時(shí)間測量單元46及脈沖順序計(jì)數(shù)單元48已經(jīng)接收到從脈沖整形電路34來的參考脈沖CP，將其分別用作時(shí)間測量的定時(shí)信號和計(jì)數(shù)目標(biāo)信號，但也可接收其他具有相同定時(shí)的脈沖或信號。例如，從脈沖發(fā)生器32發(fā)出的脈沖SP可作為計(jì)數(shù)目標(biāo)信號送到脈沖順序計(jì)數(shù)單元48。
此外，雖然調(diào)制控制的精度可能變成低于上述示例中的程度，但仍可能使調(diào)制單元50只根據(jù)來自存儲時(shí)間測量單元46的存儲時(shí)間TG而不用脈沖順序計(jì)數(shù)單元48來計(jì)算調(diào)制度。
Q開關(guān)控制24和主控單元28中各自的整體或它們各自的結(jié)構(gòu)單元可以有各種不同的構(gòu)成。激光振蕩器19的結(jié)構(gòu)也可以由各種方式的修改。作為一個(gè)例子，激勵(lì)燈12可以用半導(dǎo)體激光器來代替。應(yīng)理解的是，在上述示例中激光打標(biāo)用的YAG激光處理裝置僅僅是一個(gè)例子，而本發(fā)明可以適用于任何Q開關(guān)的激光裝置。
權(quán)利要求
1.一種Q開關(guān)激光器裝置，包括包含Q開關(guān)的激光振蕩器；電源，為所述激光振蕩器的連續(xù)振蕩提供電功率；高頻振蕩裝置，產(chǎn)生固定頻率的高頻電信號；參考脈沖發(fā)生裝置，產(chǎn)生用于調(diào)制所述高頻電信號的具有所期望的重復(fù)頻率的調(diào)制參考脈沖；存儲時(shí)間測量裝置，測量所述高頻信號保持其振幅在穩(wěn)定電平直到由所述參考脈沖發(fā)生裝置產(chǎn)生的預(yù)定調(diào)制參考脈沖的脈沖持續(xù)時(shí)間開始的時(shí)間，將其作為所述激光振蕩器中Q開關(guān)脈沖振蕩的激勵(lì)能量存儲時(shí)間；調(diào)制度計(jì)算裝置，根據(jù)由所述存儲時(shí)間測量裝置所測的存儲時(shí)間來計(jì)算相應(yīng)于所述預(yù)定調(diào)制參考脈沖的調(diào)制度；調(diào)制裝置，根據(jù)所述調(diào)制參考脈沖，并對應(yīng)于由所述調(diào)制度計(jì)算裝置計(jì)算的調(diào)制度，調(diào)制所述高頻電信號；及Q開關(guān)驅(qū)動(dòng)器裝置，響應(yīng)于所述調(diào)制高頻電信號來驅(qū)動(dòng)所述Q開關(guān)，使所述激光振蕩器振蕩并輸出Q開關(guān)脈沖激光束，此光束與所述調(diào)制參考脈沖同步，并有符合所述調(diào)制度的峰值功率。
2.一種Q開關(guān)激光器裝置，包括包含有Q開關(guān)的激光振蕩器；電源，為所述激光振蕩器連續(xù)振蕩提供電功率；高頻振蕩裝置，產(chǎn)生固定頻率的高頻電信號；參考脈沖發(fā)生裝置，產(chǎn)生用于調(diào)制所述高頻電信號的具有所期望的重復(fù)頻率的調(diào)制參考脈沖；存儲時(shí)間測量裝置，測量所述高頻信號保持其振幅在穩(wěn)定電平直到由所述參考脈沖發(fā)生裝置產(chǎn)生的預(yù)定調(diào)制參考脈沖的脈沖持續(xù)時(shí)間開始的時(shí)間，將其作為所述激光振蕩器中Q開關(guān)脈沖振蕩的激勵(lì)能量存儲時(shí)間；脈沖順序計(jì)數(shù)裝置，用等時(shí)間間隔的脈沖串來對所述預(yù)定調(diào)制參考脈沖的順序計(jì)數(shù)；調(diào)制度計(jì)算裝置，根據(jù)由所述存儲時(shí)間測量裝置測量的存儲時(shí)間和由所述順序計(jì)數(shù)裝置計(jì)數(shù)的順序，計(jì)算相應(yīng)于所述預(yù)定調(diào)制參考脈沖的調(diào)制度；調(diào)制裝置，根據(jù)所述調(diào)制參考脈沖，并對應(yīng)于由所述調(diào)制度計(jì)算裝置計(jì)算的調(diào)制度，調(diào)制所述高頻電信號；及Q開關(guān)驅(qū)動(dòng)器裝置，響應(yīng)于所述調(diào)制高頻電信號來驅(qū)動(dòng)所述Q開關(guān)，使所述激光振蕩器振蕩并輸出Q開關(guān)脈沖激光束，此光束與所述調(diào)制參考脈沖同步，并有符合所述調(diào)制度的峰值功率。
3.如權(quán)利要求1所述的Q開關(guān)激光器裝置，其中，所述存儲時(shí)間測量裝置包括第一計(jì)時(shí)器裝置，用于測量從所述高頻電信號的饋入起始點(diǎn)到所述調(diào)制參考脈沖的第一個(gè)饋入脈沖的前沿起始點(diǎn)所經(jīng)過的時(shí)間；及第二計(jì)時(shí)器裝置，測量在饋入所述高頻電信號期間饋入的所述調(diào)制參考脈沖中兩個(gè)相繼脈沖之間、從前一個(gè)調(diào)制參考脈沖的尾部端點(diǎn)到后一個(gè)調(diào)制參考脈沖的前沿開始點(diǎn)的時(shí)間。
4.如權(quán)利要求2所述的Q開關(guān)激光器裝置，其中，所述存儲時(shí)間測量裝置包括第一計(jì)時(shí)器裝置，用于測量從所述高頻電信號的饋入起始點(diǎn)到所述調(diào)制參考脈沖的第一個(gè)饋入脈沖的前沿起始點(diǎn)所經(jīng)過的時(shí)間；及第二計(jì)時(shí)器裝置，測量在饋入所述高頻電信號期間饋入的所述調(diào)制參考脈沖中兩個(gè)相繼脈沖之間、從前一個(gè)調(diào)制參考脈沖的尾部端點(diǎn)到后一個(gè)調(diào)制參考脈沖的前沿開始點(diǎn)的時(shí)間。
5.如權(quán)利要求1所述的Q開關(guān)激光器裝置，其中，所述調(diào)制裝置包括調(diào)制脈沖發(fā)生裝置，產(chǎn)生與所述調(diào)制參考脈沖同步的調(diào)制脈沖，所述調(diào)制脈沖的前沿有和所述調(diào)制度相符合的上升陡度；及振幅調(diào)制裝置，用所述調(diào)制脈沖來調(diào)制所述高頻電信號的振幅。
6.如權(quán)利要求2所述的Q開關(guān)激光器裝置，其中，所述調(diào)制裝置包括調(diào)制脈沖發(fā)生裝置，產(chǎn)生與所述調(diào)制參考脈沖同步的調(diào)制脈沖，所述調(diào)制脈沖的前沿有和所述調(diào)制度相符合的上升陡度；及振幅調(diào)制裝置，用所述調(diào)制脈沖來調(diào)制所述高頻電信號的振幅。
7.如權(quán)利要求1所述的Q開關(guān)激光器裝置，其中，所述調(diào)制裝置包括調(diào)制脈沖發(fā)生裝置，產(chǎn)生與所述調(diào)制參考脈沖同步的調(diào)制脈沖，所述調(diào)制脈沖具有和所述調(diào)制度符合的振幅；及振幅調(diào)制器，用所述調(diào)制脈沖來調(diào)制所述高頻電信號的振幅。
8.如權(quán)利要求2所述的Q開關(guān)激光器裝置，其中，所述調(diào)制裝置包括調(diào)制脈沖發(fā)生裝置，產(chǎn)生與所述調(diào)制參考脈沖同步的調(diào)制脈沖，所述調(diào)制脈沖具有和所述調(diào)制度符合的振幅；及振幅調(diào)制器，用所述調(diào)制脈沖來調(diào)制所述高頻電信號的振幅。
全文摘要
存儲時(shí)間測量單元46接收從Q開關(guān)控制單元來的參考脈沖CP和從序列控制單元42來的高頻振蕩控制信號ec作為時(shí)間測量定時(shí)信號,測量每個(gè)參考脈沖的存儲時(shí)間。脈沖順序計(jì)數(shù)單元48接收參考脈沖CP并接收來自單元42的Q開關(guān)控制信號qc,對每個(gè)參考脈沖的順序計(jì)數(shù)。根據(jù)參考脈沖CP
文檔編號H01S3/117GK1248808SQ9912034
公開日2000年3月29日 申請日期1999年9月21日 優(yōu)先權(quán)日1998年9月21日
發(fā)明者村田真吾 申請人:宮地技術(shù)株式會(huì)社