一種mems光閥、顯示裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種MEMS光閥、顯示裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]MEMSCMicro-Electro-Mechanical System，微機(jī)電系統(tǒng))是以微電子、微機(jī)械及材料科學(xué)為基礎(chǔ)，形成的尺寸在幾毫米甚至更小的高科技裝置，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級，是一個(gè)獨(dú)立的智能系統(tǒng)。隨著MEMS技術(shù)的迅速發(fā)展，基于MEMS技術(shù)的顯示器已成為未來顯示的一個(gè)重要發(fā)展方向。
[0003]相對液晶顯示器，MEMS顯示器利用MEMS光閥替換液晶層，通過MEMS光閥控制光線的透光率，從而實(shí)現(xiàn)圖像的顯示。MEMS顯示器無需設(shè)置偏光片等，可大幅度提高光效率、降低功耗以及制作成本。
[0004]參考圖1所示，MEMS光閥包括相對設(shè)置的可動光柵1和固定光柵2，外界光100需要通過固定光柵2的透光部20射入到反光層3上，并通過反光層3將光反射出去，可以通過調(diào)整可動光柵1的透光部10與固定光柵2透光部20的重疊面積從而調(diào)整射入到反光層3的光線的多少，最終實(shí)現(xiàn)黑白顯示。但是該MEMS顯示器的結(jié)構(gòu)較復(fù)雜。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的實(shí)施例提供一種MEMS光閥、顯示裝置，該顯示裝置可以利用外界光實(shí)現(xiàn)黑白顯示，相比于現(xiàn)有技術(shù)，結(jié)構(gòu)更為簡單。
[0006]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案:
[0007]一方面，提供了一種MEMS光閥，包括:
[0008]固定光柵，所述固定光柵劃分為交替排布的第一區(qū)域和第二區(qū)域，其中，所述固定光柵包括位于所述第一區(qū)域的反射單元，所述第二區(qū)域不反射光；
[0009]可動光柵，所述可動光柵位于所述固定光柵的外界光射入側(cè)，且可在所述可動光柵所在的面內(nèi)移動，所述可動光柵在移動過程中能夠遮擋所述反射單元的部分或者全部。
[0010]可選的，所述反射單元為反射式彩色濾光片；
[0011]所述反射式彩色濾光片包括:設(shè)置在所述反射式彩色濾光片的上表面的多個(gè)凸起，當(dāng)外界光照射到所述凸起和所述上表面時(shí)，所述反射式彩色濾光片反射出一種顏色的光線。
[0012]可選的，所述凸起為點(diǎn)狀，在所述第一區(qū)域內(nèi)呈陣列排布;或者，所述凸起為條狀，在所述區(qū)域內(nèi)平行排布。
[0013]可選的，所述反射式彩色濾光片包括:本體層，多個(gè)所述凸起設(shè)置在所述本體層的上表面。
[0014]可選的，所述本體層和所述凸起為同一種金屬。
[0015]可選的，所述固定光柵還包括位于所述第二區(qū)域的吸光層。
[0016]可選的，所述光閥還包括:控制器件，所述控制器件與所述可動光柵相連，用于使所述可動光柵懸浮，且?guī)铀隹蓜庸鈻旁谒隹蓜庸鈻潘诘拿鎯?nèi)移動。
[0017]可選的，所述控制器件包括:在所述可動光柵的移動方向上，分別設(shè)置在所述可動光柵相對兩側(cè)的電極驅(qū)動部和彈性伸縮部；
[0018]所述電極驅(qū)動部包括:驅(qū)動電極、感應(yīng)電極、相對設(shè)置的驅(qū)動梁和感應(yīng)梁，其中，所述驅(qū)動電極與所述驅(qū)動梁相連，所述感應(yīng)梁分別與所述感應(yīng)電極和所述可動光柵相連；
[0019]所述彈性伸縮部包括:支架和彈性梁，所述彈性梁分別與所述支架和所述可動光柵相連。
[0020]本發(fā)明的實(shí)施例提供了一種MEMS光閥，該MEMS光閥包括:固定光柵，固定光柵劃分為交替排布的第一區(qū)域和第二區(qū)域，其中，固定光柵包括位于第一區(qū)域的反射單元，第二區(qū)域不反射光;可動光柵，可動光柵位于固定光柵的外界光射入側(cè)，且可在可動光柵所在的面內(nèi)移動，該可動光柵在移動過程中能夠遮擋反射單元的部分或者全部。這樣，外界光射入到固定光柵后，第一區(qū)域的反射單元可以將外界光反射出去，通過移動可動光柵可以控制外界光射入到固定光柵的反射單元的光線的多少，進(jìn)而將該MEMS光閥應(yīng)用到MEMS顯示裝置時(shí)可以實(shí)現(xiàn)黑白顯示。相比現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明無需額外設(shè)置反光層，結(jié)構(gòu)更為簡單。
[0021]另一方面，提供了一種顯示裝置，包括多個(gè)像素，每一像素由子像素組成，每個(gè)所述子像素包括一個(gè)上述的MEMS光閥。
[0022]可選的，所述光閥的反射單元為反射式彩色濾光片;所述反射式彩色濾光片包括:設(shè)置在所述反射式彩色濾光片的上表面的多個(gè)凸起，當(dāng)外界光照射到所述凸起和所述上表面時(shí)，所述反射式彩色濾光片反射出一種顏色的光線；
[0023]每個(gè)所述像素包括三個(gè)子像素，三個(gè)所述子像素分別能反射出三基色光線。
[0024]本發(fā)明的實(shí)施例提供了一種顯示裝置，該顯示裝置可以利用外界光實(shí)現(xiàn)黑白顯示，相比于現(xiàn)有技術(shù)，結(jié)構(gòu)更為簡單。該顯示裝置可以應(yīng)用到電視、數(shù)碼相機(jī)、手機(jī)、平板電腦等任何具有顯示功能的產(chǎn)品或者部件。
【附圖說明】
[0025]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0026]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中提供的一種MEMS顯示裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖2a為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種MEMS光閥的固定光柵的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖2b為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種MEMS光閥的固定光柵和可動光柵的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0029]圖2c為可動光柵沿圖2b的A-B方向移動后的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種凸起的俯視圖一；
[0031]圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種凸起的俯視圖二；
[0032]圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種反射式彩色濾光片的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖6為本發(fā)明實(shí)施例提供的反射式彩色濾光片的原理圖；
[0034]圖7為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種MEMS光閥的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0035]圖8為圖7的A1B1的剖面示意圖；
[0036]圖9為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種MEMS光閥的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0037]圖10為圖9的A2B2的剖面示意圖；
[0038]圖11為本發(fā)明實(shí)施例提供的又一種MSMS光閥的結(jié)構(gòu)不意圖。
[0039]附圖標(biāo)記:
[0040]1-可動光柵；10-可動光柵的透光部;2-固定光柵;20-固定光柵的透光部;21-第一區(qū)域;22-第二區(qū)域;23-反射單元;24-反射式彩色濾光片；25-凸起;27-本體層;3-反光層；41-電極驅(qū)動部;411-驅(qū)動電極;412-感應(yīng)電極;413-驅(qū)動梁;414-感應(yīng)梁;42-彈性伸縮部；421-支架;422-彈性梁；100-外界光;200-基板。
【具體實(shí)施方式】
[0041]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0042]實(shí)施例一
[0043]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種MEMS光閥，參考圖2a和圖2b所示，MEMS光閥包括:固定光柵2，固定光柵2劃分為交替排布的第一區(qū)域21和第二區(qū)域22，其中，固定光柵2包括位于第一區(qū)域21的反射單元23，第二區(qū)域22不反射光;可動光柵1，可動光柵1位于固定光柵2的外界光射入側(cè)，且可在可動光柵1所在的面內(nèi)移動，可動光柵1在移動過程中能夠遮擋反射單元23的部分或者全部。
[0044]本發(fā)明實(shí)施例對于反射單元的結(jié)構(gòu)不作限定，示例的，反射單元可以是反射片，還可以是反射式彩色濾光片，這里不作具體限定。另外，對于設(shè)置在第二區(qū)域的結(jié)構(gòu)也不作限定。本發(fā)明實(shí)施例對于第一區(qū)域和第二區(qū)域的形狀也不做限定，本發(fā)明實(shí)施例以及附圖均以第一區(qū)域和第二區(qū)域均為條狀為例進(jìn)行說明。
[0045]參考圖2b所示，上述可動光柵1與固定光柵2相對設(shè)置，可動光柵1包括透光部10，在可動光柵1所在的面內(nèi)，沿垂直于第一區(qū)域21的寬度方向即A-B方向移動可動光柵1后，可動光柵1的透光部10與固定光柵2的第一區(qū)域21交錯(cuò)，此時(shí)，射入到固定光柵的第一區(qū)域的外界光線數(shù)量較少;繼續(xù)移動后，可以得到如圖2c所示的結(jié)構(gòu)，即可動光柵1的透光部10與固定光柵2的第一區(qū)域21重疊，此時(shí)，射入到固定光柵的第一區(qū)域的外界光線數(shù)量較多；這樣可以通過移動可動光柵從而控制可動光柵的透光部與固定光柵的第一區(qū)域的重疊面積，進(jìn)而控制外界光射入到固定光柵的反射單元的光線的多少。這里以可動光柵的透光部與固定光柵的第一區(qū)域的形狀均為條狀為例進(jìn)行說明。另外，可動光柵還可以是其他移動方式，具體可以根據(jù)可動光柵和固定光柵的具體結(jié)構(gòu)來確定，只要滿足通過移動可動光柵從而可以控制可動光柵的透光部與固定光柵的第一區(qū)域的重疊面積，進(jìn)而控制外界光射入到固定光柵的反射單元的光線的多少即可。
[0046]本發(fā)明的實(shí)施例提供了一種MEMS光閥，該MEMS光閥包括:固定光柵，固定光柵劃分為交替排布的第一區(qū)域和第二區(qū)域，其中，固定光柵包括位于第一區(qū)域的反射單元，第二區(qū)域不反射光;可動光柵，可動光柵位于固定光柵的外界光射入側(cè)，且可在可動光柵所在的面內(nèi)移動，該可動光柵在移動過程中能夠遮擋反射單元的部分或者全部。這樣，外界光射入到固定光柵后，第一區(qū)域的反射單元可以將外界光反射出去，通過移動可動光柵可以控制外界光射入到固定光柵的反射單元的光線的多少，進(jìn)而將該MEMS光閥應(yīng)用到MEMS顯示裝置時(shí)可以實(shí)現(xiàn)黑白顯示。相比現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明無需額外設(shè)置反光層，結(jié)構(gòu)更為簡單。
[0047]可選的，反射單元為反射式彩色濾光片;反射式彩色濾光片包括:設(shè)置在反射式彩色濾光片的上表面的多個(gè)凸起，當(dāng)外界光照射到凸起和上表面時(shí)，反射式彩色濾光片反射出一種顏色的光線。這樣，將上述光閥應(yīng)用到顯示裝