專利名稱：一種真空或充氣的操作裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種在半導(dǎo)體等一類潔凈工藝中使用的真空或充氣操作裝置。
現(xiàn)有在潔凈工藝中使用的真空或充氣操作裝置只有一個(gè)不能分隔的腔體，每次進(jìn)料或取料均無(wú)法連續(xù)保持腔內(nèi)的真空或純凈狀況，須反復(fù)進(jìn)行充氣與抽空，以致影響工作效率，并難以保持腔體的潔凈度。
本實(shí)用新型的目的是提高裝置的操作效率并改善其潔凈度。
為了克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種既可以分隔為內(nèi)外兩個(gè)腔體(1，2)，又可使兩個(gè)腔體連通的操作裝置。這種裝置包括有內(nèi)罩(3)與外罩(4)以及內(nèi)腔底座(5)與外腔底座(6)，內(nèi)罩的罩口(7)設(shè)在外罩罩口(8)之內(nèi)，它們分別位于內(nèi)、外腔底座的上方，內(nèi)外兩罩間有嚴(yán)密封接口。外腔底座有向上開(kāi)口的框壁(9)，其框口(10)與外罩的罩口可以壓接密封。在外腔底座上有一根垂直密封穿接的升降傳動(dòng)柱(11)，其露出底座外的部分是傳動(dòng)柱的傳動(dòng)柄，底座內(nèi)的部分是支撐內(nèi)腔底座的升降柱，在內(nèi)腔底座上周邊有一密封墊框(12)，通過(guò)它可使內(nèi)罩與內(nèi)腔底座在升降傳動(dòng)柱的頂升作用下形成密封連接。在內(nèi)腔底座上開(kāi)有通氣孔(13)，其下孔口連接可伸縮的通氣管(14)，經(jīng)外腔底座穿接至腔外，并由閥門(mén)(15，16)控制氣路，選通至抽氣泵接口、特定氣源接口(17)、大氣口(18)或是封閉。外腔底座中還裝有用以移動(dòng)物體的機(jī)械手(19)與載物平臺(tái)(20)，機(jī)械手的操縱柄設(shè)在外腔底座之外。在內(nèi)外腔之間還設(shè)有一個(gè)在兩腔分隔時(shí)可以啟閉的電磁閥(48)。
操作時(shí)，先使升降柱降低，在載物臺(tái)上放置待處理的物件，再使外罩的罩口與外腔底座的框口壓接密封，使內(nèi)外兩罩之間嚴(yán)密封接，然后使氣路接通抽氣泵，將未分隔的兩個(gè)腔體抽成真空，再通過(guò)機(jī)械手將等待處理的物件在內(nèi)腔底座上作出符合要求的布置，接著通過(guò)升降傳動(dòng)柱頂升內(nèi)腔底座，使與內(nèi)罩形成密封連接，并使內(nèi)外腔體間的電磁閥閉合，兩個(gè)腔體被完全隔開(kāi)。若是進(jìn)行真空操作，則對(duì)內(nèi)腔體繼續(xù)抽氣，使之保持較高真空，外腔體被封閉后暫停抽氣，仍可保持較低真空。這樣使接受處理的物件被置于內(nèi)腔體中處理，使待處理與剛處理后的物件能夠暫存在較低真空的外腔體中，不與環(huán)境氣氛接觸，保持較高的潔凈度。待內(nèi)腔體中的物件處理完畢，開(kāi)啟內(nèi)外腔之間的電磁閥，調(diào)節(jié)升降傳動(dòng)柱，降低內(nèi)腔底座，由機(jī)械手換裝內(nèi)腔底座上的物件，不必經(jīng)歷充氣再抽空的過(guò)程就可以繼續(xù)進(jìn)行下一輪的真空處理。若是進(jìn)行充氣操作，則在抽空后使氣路接通特定的氣源，使內(nèi)腔體充入特定氣體后進(jìn)行物件處理，處理完畢即降低內(nèi)腔底座，換裝新的處理物件繼續(xù)進(jìn)行下一輪處理。如此反復(fù)進(jìn)行，直至外腔體內(nèi)的待處理物件全部處理完畢后，才需要接通大氣，掀開(kāi)內(nèi)罩或內(nèi)罩與外罩，取出處理好的批量物件或換進(jìn)新的待處理物件。


圖1為本實(shí)用新型真空或充氣操作裝置一項(xiàng)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為該項(xiàng)實(shí)施例的剖面示意圖。
圖中1為內(nèi)腔體，2為外腔體，3為內(nèi)罩，4為外罩，5為內(nèi)腔底座，6為外腔底座，7為內(nèi)罩罩口，8為外罩罩口，9為外腔底座框壁，10為框口，11為升降傳動(dòng)柱，12為密封墊框，13為通氣孔，14為通氣管，15為閥門(mén)，16為抽氣泵接口閥門(mén)，17為氣源接口，18為大氣口，19為機(jī)械手，20為載物平臺(tái)，21為齒紋，22為上滾軌，23為下滾軌，24為支架，25為滾珠，26與27是電機(jī)，28與29是旋轉(zhuǎn)棒，30為螺旋齒紋，31為螺旋套孔，32為推拔桿，33為推拔頭，34為電機(jī)，35為電機(jī)轉(zhuǎn)軸，36為密封墊圈，37為軸承，38為套筒，39為螺母，40為螺母底座，41為螺柱，42為孔口，43為滑軌，44為滑條，45為框槽，46為框邊，47為密封墊圈，48為電磁閥。
本實(shí)用新型真空或充氣操作裝置一項(xiàng)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意于圖1，其剖面示意于圖2。在其外腔底座中的載物臺(tái)為一環(huán)狀可旋轉(zhuǎn)平臺(tái)(20)，平臺(tái)的周側(cè)有垂直齒紋(21)，在平臺(tái)背面近周邊處固定一個(gè)帶滾珠槽的園環(huán)上滾軌(22)，另一個(gè)帶滾珠槽的園環(huán)下滾軌(23)由一個(gè)固定在外腔底座上的支架(24)支撐連接，上下滾軌的兩槽之間墊壓滾珠(25)。外控底座中的機(jī)械手是以電機(jī)(26，27)轉(zhuǎn)軸作操縱柄的兩根旋轉(zhuǎn)棒(28，29)，其中的一根旋轉(zhuǎn)棒(28)有一段固定的螺旋齒紋(30)與載物平臺(tái)周側(cè)的垂直齒紋(21)配接，使得通過(guò)此棒的旋轉(zhuǎn)可以轉(zhuǎn)動(dòng)載物平臺(tái)，另一根旋轉(zhuǎn)棒(29)旋套著一個(gè)在其一端有螺旋套孔(31)的推拔桿(32)，推拔桿的另一端是位于載物平臺(tái)上方的推拔頭(33)，啟動(dòng)電機(jī)(27)旋轉(zhuǎn)此棒，就會(huì)帶動(dòng)推拔桿在載物臺(tái)的徑向推拔物件。
該實(shí)施例用一個(gè)電機(jī)(34)的轉(zhuǎn)軸(35)作升降傳動(dòng)柱(11)的傳動(dòng)柄，傳動(dòng)柄上緊套一個(gè)密封墊圈(36)和一個(gè)軸承(37)緊插在一個(gè)固定穿接在外腔底座上的套筒(38)內(nèi)，傳動(dòng)柄的頂端垂直固定連接在一個(gè)螺母(39)的園形底座(40)中央，支撐內(nèi)腔底座的一個(gè)螺柱(41)旋接在此螺母內(nèi)。內(nèi)腔底座(5)為一中空?qǐng)@柱體，座面上開(kāi)有通氣孔(13)，底座下開(kāi)有與通氣管(14)相接的孔口(42)，內(nèi)腔底座的周側(cè)固定裝接有豎直的滑軌(43)，它們套插在固定裝接在外腔底座內(nèi)壁上的豎直滑條(44)上。通過(guò)控制電機(jī)(34)的雙向旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)螺母雙向旋動(dòng)，可使由螺柱支撐的內(nèi)腔底座沿著豎直滑條升降。
該實(shí)施例的外罩(4)內(nèi)有一能與內(nèi)罩封接的框口，框口上有一向上的框槽(45)與下凸的框邊(46)，框槽內(nèi)填有密封墊圈(47)，內(nèi)罩(3)為一透明玻璃罩，內(nèi)罩與外罩的封接是借助于玻璃罩的罩口壓接在外罩框槽的墊圈上實(shí)現(xiàn)的。
權(quán)利要求1.一種真空或充氣的操作裝置，其特征在于，它由內(nèi)罩與外罩以及內(nèi)腔底座與外腔底座組成，內(nèi)罩的罩口設(shè)在外罩罩口之內(nèi)，它們分別位于內(nèi)、外腔底座的上方，內(nèi)外兩罩間有密封接口，外腔底座有向上開(kāi)口的框壁以及可與外罩罩口壓接密封的框口，外腔底座中裝有用以移動(dòng)物件的機(jī)械手與載物平臺(tái)，機(jī)械手的操縱柄設(shè)在外腔底座之外，在外腔底座上還有一根垂直密封穿接的升降傳動(dòng)柱，其露出底座外的部分是傳動(dòng)柱的傳動(dòng)柄，底座內(nèi)的部分是支撐著內(nèi)腔底座的升降柱，在內(nèi)腔底座上開(kāi)有通氣孔，其下孔口連接可伸縮的通氣管，經(jīng)外腔底座穿接至腔外，并由閥門(mén)控制通氣管的氣路，選通至抽氣泵接口、特定氣源接口、大氣口或是封閉，在內(nèi)外腔之間還設(shè)有一個(gè)可以啟閉的電磁閥。
2.按照權(quán)利要求1所述真空或充氣的操作裝置，其特征為，所述外腔底座中的載物臺(tái)為一環(huán)狀可旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，平臺(tái)的周側(cè)有垂直齒紋，在平臺(tái)背面固定一個(gè)帶滾珠槽的園環(huán)上滾軌，另有一個(gè)帶滾珠槽的園環(huán)下滾軌由一個(gè)固定在所述外腔底座上的支架支撐連接，上下滾軌的兩槽之間墊壓滾珠。
3.按照權(quán)利要求1和2所述真空或充氣的操作裝置，其特征為，所述外腔底座中的機(jī)械手是以電機(jī)轉(zhuǎn)軸作操縱柄的兩根旋轉(zhuǎn)棒，其中的一根旋轉(zhuǎn)棒有一段固定的螺紋齒紋與所述載物平臺(tái)周側(cè)的垂直齒紋配接，另一根旋轉(zhuǎn)棒旋套著一個(gè)在其一端有螺旋套孔的推拔桿，推拔桿的另一端是位于所述載物平臺(tái)上方的推拔頭。
4.按照權(quán)利要求1所述真空或充氣的操作裝置，其特征為，它用一個(gè)電機(jī)的轉(zhuǎn)軸作所述升降傳動(dòng)柱的傳動(dòng)柄，傳動(dòng)柄上緊套一個(gè)密封墊圈和一個(gè)軸承并緊插在一個(gè)固定穿接在所述外腔底座上的套筒內(nèi)，傳動(dòng)柄的頂端垂直固定連接在一個(gè)螺母的園形底座中央，一個(gè)支撐著所述內(nèi)腔底座的螺柱旋接在此螺母內(nèi)。
5.按照權(quán)利要求1所述真空或充氣的操作裝置，其特征為，所述內(nèi)腔底座為一中空?qǐng)@柱體，座面上有一密封墊圈，底座周側(cè)固定裝接有豎直的滑軌，它們套插在固定裝接在所述外腔底座內(nèi)壁上的豎直滑條上。
6.按照權(quán)利要求1所述真空或充氣的操作裝置，其特征為，所述內(nèi)罩為一透明玻璃罩，所述內(nèi)外兩罩間的密封接口是由內(nèi)罩的罩口壓接在外罩內(nèi)的一個(gè)框口上形成的，壓接處為一填有密封墊圈的框槽，框槽的背面有一下凸的框邊。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種在潔凈工藝中使用的真空或充氣操作裝置。它包含既可以分隔、又可以連通的內(nèi)外兩個(gè)腔體。分隔時(shí)可在內(nèi)腔體中進(jìn)行物件的工藝處理。連通時(shí)則可在外腔體中進(jìn)行待處理與已處理物件的裝卸。外腔體中裝有載物臺(tái)與機(jī)械手，可供貯存與裝卸物件。這樣的裝置可以在多次處理物件中連續(xù)保持腔體的真空或純凈，提高了工作效率，并保證了工藝的潔凈。
文檔編號(hào)H01L21/02GK2108995SQ9122634
公開(kāi)日1992年7月1日 申請(qǐng)日期1991年10月14日 優(yōu)先權(quán)日1991年10月14日
發(fā)明者李秀瓊 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院微電子中心