技術(shù)編號(hào)：6802216
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種在半導(dǎo)體等一類潔凈工藝中使用的真空或充氣操作裝置?，F(xiàn)有在潔凈工藝中使用的真空或充氣操作裝置只有一個(gè)不能分隔的腔體，每次進(jìn)料或取料均無法連續(xù)保持腔內(nèi)的真空或純凈狀況，須反復(fù)進(jìn)行充氣與抽空，以致影響工作效率，并難以保持腔體的潔凈度。本實(shí)用新型的目的是提高裝置的操作效率并改善其潔凈度。為了克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種既可以分隔為內(nèi)外兩個(gè)腔體(1，2)，又可使兩個(gè)腔體連通的操作裝置。這種裝置包括有內(nèi)罩(3)與外罩(4)以及內(nèi)腔底座...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。