本技術(shù)涉及一種掃描電鏡的，尤其涉及一種掃描電鏡的低溫樣品臺。

背景技術(shù)：

1、目前，掃描電鏡是一種高分辨率的顯微鏡，能夠通過照射樣品表面并收集由樣品發(fā)射的電子來生成高質(zhì)量的樣品表面圖像。與光學(xué)顯微鏡不同，掃描電鏡使用電子束而不是光束，可以實現(xiàn)比光學(xué)顯微鏡更高的放大倍數(shù)和更高的分辨率，從而觀察到更微觀的細節(jié)。掃描電鏡使用熱陰極或場發(fā)射電子槍產(chǎn)生高能電子束作為探針。這些電子被加速到較高的能量水平，然后聚焦至樣品觀察區(qū)以及樣品表面，容易引起樣品局部甚至整體的升溫。

2、現(xiàn)有技術(shù)，cn202321838058.4一種低溫樣品臺，包括：支撐座，支撐座的上側(cè)壁嵌入安裝有樣品臺，進水管的另一端固定安裝有第一接頭，排水管的一端嵌入安裝在支撐座下側(cè)壁的內(nèi)腔，排水管的另一端固定安裝有第二接頭，在對樣品展示的時候，將液氮機的接入口嵌入在第一接頭內(nèi)部，將液氮通過進水管導(dǎo)入支撐座內(nèi)部的槽腔內(nèi)部，將液氮充入槽腔內(nèi)部之后，使得支撐座溫度降低，使得支撐座上的樣品臺處在低溫狀態(tài)。但是現(xiàn)有技術(shù)的低溫樣品臺存在一下缺陷：1、使用液氮制冷的方式存在制冷速度較慢的情況，液氮制冷而是一個逐漸穩(wěn)定的過程，這會導(dǎo)致受到高能量照射的樣品升溫速度高于液氮冷卻速度，從而影響實驗的進行效率；2、液氮排出時接觸空氣時會迅速氣化，產(chǎn)生氣體體積急劇膨脹，容易導(dǎo)致氣體反流或壓力過大導(dǎo)致排水管損壞或泄漏。

3、因此，有必要對現(xiàn)有技術(shù)中的低溫樣品臺進行改進，以解決上述問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種掃描電鏡的低溫樣品臺，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中樣品升溫速度高于液氮冷卻速度的問題，以及液氮排出時導(dǎo)致氣體反流或壓力過大導(dǎo)致排水管損壞或泄漏的問題。

2、為達到上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案為：一種掃描電鏡的低溫樣品臺，包括：控制器，與所述控制器連接的樣品臺本體，設(shè)置在所屬樣品臺本體下的驅(qū)動組件，設(shè)置在所述樣品臺本體內(nèi)的低溫控制組件，其特征在于；

3、所述樣品臺本體包括：臺體，圓周陣列設(shè)置在所述臺體上的若干通孔，設(shè)置在所述通孔內(nèi)的樣品艙；樣品艙底部設(shè)置有支撐板；

4、所述驅(qū)動組件包括：設(shè)置在所述支撐座下方的電動推桿，以及設(shè)置在所述電動推桿底部的支撐座；

5、所述低溫控制組件包括：設(shè)置在所述樣品艙的內(nèi)的peltier芯片，設(shè)置在所述樣品艙外的冷卻管道；所述所述冷卻管道內(nèi)設(shè)置有液氮；所述冷卻管道兩端分別為進液口和出液口。

6、本實用新型一個較佳實施例中，所述peltier芯片的半導(dǎo)體材料為硼化鉍。

7、本實用新型一個較佳實施例中，所述peltier芯片連接有直流電。

8、本實用新型一個較佳實施例中，所述冷卻管道為螺旋狀管道，所述進液口設(shè)置在所述冷卻管道底部，所述進液口連接有進液管道，所述出液口設(shè)置在所述冷卻管道頂部，所述出液口連接有出液管道。

9、本實用新型一個較佳實施例中，所述支撐板上圓周陣列有若干限位柱，所述通孔內(nèi)壁對應(yīng)設(shè)置有若干凹槽，所述凹槽與所述限位柱滑動連接。

10、本實用新型一個較佳實施例中，所述進液管道連接有儲液罐，所述進液管道上設(shè)置有第一電磁閥。

11、本實用新型一個較佳實施例中，所述出液管道連接有環(huán)形管道，所述環(huán)形管道連接有排氣口，所述排氣口上設(shè)置有第二電磁閥。

12、本實用新型一個較佳實施例中，所述儲液罐底部連接有輸液管，所述輸液管上設(shè)置有第三電磁閥。

13、本實用新型一個較佳實施例中，所述樣品艙內(nèi)設(shè)置有溫度傳感器。

14、本實用新型一個較佳實施例中，所述控制器與所述第一電磁閥和第二電磁閥以及第三電磁閥電性連接。

15、本實用新型解決了背景技術(shù)中存在的缺陷，本實用新型具備以下有益效果：

16、(1)本實用新型利用了控制器和低溫控制組件的結(jié)合，將對peltier芯片通直流電和液氮輸入冷卻管道相結(jié)合，實現(xiàn)了對樣品艙內(nèi)溫度的精準控制，避免了樣品升溫速度高于僅用液氮冷卻的速度，有益于在需要低溫環(huán)境下對樣品進行觀察和分析。

17、(2)本實用新型利用了支撐板和圓周陣列的限位柱與凹槽的結(jié)合，實現(xiàn)了支撐板在運動過程中的穩(wěn)定性和準確性，有益于確保樣品艙在移動過程中不產(chǎn)生晃動，保證電鏡掃描結(jié)果的準確性。

18、(3)本實用新型通過利用冷卻管道的螺旋狀設(shè)計和液氮循環(huán)，實現(xiàn)了快速散熱和熱量傳遞，有益于保持樣品艙內(nèi)部的低溫狀態(tài)，確保在低溫環(huán)境下對樣品進行穩(wěn)定觀察。

技術(shù)特征：

1.一種掃描電鏡的低溫樣品臺，包括：控制器(1)，與所述控制器(1)連接的樣品臺本體，設(shè)置在所屬樣品臺本體下的驅(qū)動組件，設(shè)置在所述樣品臺本體內(nèi)的低溫控制組件，其特征在于；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掃描電鏡的低溫樣品臺，其特征在于：所述peltier芯片(8)的半導(dǎo)體材料為硼化鉍。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種掃描電鏡的低溫樣品臺，其特征在于：所述peltier芯片(8)連接有直流電。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掃描電鏡的低溫樣品臺，其特征在于：所述冷卻管道(9)為螺旋狀管道，所述進液口(10)設(shè)置在所述冷卻管道(9)底部，所述進液口(10)連接有進液管道(12)，所述出液口(11)設(shè)置在所述冷卻管道(9)頂部，所述出液口(11)連接有出液管道(13)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掃描電鏡的低溫樣品臺，其特征在于：所述支撐板(5)上圓周陣列有若干限位柱(14)，所述通孔(3)內(nèi)壁對應(yīng)設(shè)置有若干凹槽(15)，所述凹槽(15)與所述限位柱(14)滑動連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種掃描電鏡的低溫樣品臺，其特征在于：所述進液管道(12)連接有儲液罐(16)，所述進液管道(12)上設(shè)置有第一電磁閥(17)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種掃描電鏡的低溫樣品臺，其特征在于：所述出液管道(13)連接有環(huán)形管道(18)，所述環(huán)形管道(18)連接有排氣口(19)，所述排氣口(19)上設(shè)置有第二電磁閥(20)。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種掃描電鏡的低溫樣品臺，其特征在于：所述儲液罐(16)底部連接有輸液管(21)，所述輸液管(21)上設(shè)置有第三電磁閥(22)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掃描電鏡的低溫樣品臺，其特征在于：所述樣品艙(4)內(nèi)設(shè)置有溫度傳感器。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種掃描電鏡的低溫樣品臺，其特征在于：所述控制器(1)與所述第一電磁閥(17)和第二電磁閥(20)以及第三電磁閥(22)電性連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種掃描電鏡的低溫樣品臺，包括：控制器，與所述控制器連接的樣品臺本體，設(shè)置在所屬樣品臺本體下的驅(qū)動組件，設(shè)置在所述樣品臺本體內(nèi)的低溫控制組件；所述樣品臺本體包括：臺體，圓周陣列設(shè)置在所述臺體上的若干通孔，設(shè)置在所述通孔內(nèi)的樣品艙；樣品艙底部設(shè)置有支撐板；所述驅(qū)動組件包括：設(shè)置在所述支撐座下方的電動推桿，以及設(shè)置在所述電動推桿底部的支撐座；所述低溫控制組件包括：設(shè)置在所述樣品艙的內(nèi)的Peltier芯片，設(shè)置在所述樣品艙外的冷卻管道；所述冷卻管道兩端分別為進液口和出液口。本技術(shù)利用控制器和低溫控制組件的結(jié)合，將對Peltier芯片通直流電和液氮輸入冷卻管道相結(jié)合，實現(xiàn)了對樣品艙內(nèi)溫度的精準控制。

技術(shù)研發(fā)人員：王瑞華,王均,龐帥
受保護的技術(shù)使用者：南京默思泰智能科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240506
技術(shù)公布日：2024/12/26