技術(shù)編號：40459776
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及一種掃描電鏡的，尤其涉及一種掃描電鏡的低溫樣品臺。背景技術(shù)、目前，掃描電鏡是一種高分辨率的顯微鏡，能夠通過照射樣品表面并收集由樣品發(fā)射的電子來生成高質(zhì)量的樣品表面圖像。與光學(xué)顯微鏡不同，掃描電鏡使用電子束而不是光束，可以實(shí)現(xiàn)比光學(xué)顯微鏡更高的放大倍數(shù)和更高的分辨率，從而觀察到更微觀的細(xì)節(jié)。掃描電鏡使用熱陰極或場發(fā)射電子槍產(chǎn)生高能電子束作為探針。這些電子被加速到較高的能量水平，然后聚焦至樣品觀察區(qū)以及樣品表面，容易引起樣品局部甚至整體的升溫。、現(xiàn)有技術(shù)，cn....
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。