本技術(shù)涉及冷卻裝置，更具體地說是一種晶圓冷卻裝置。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體晶圓在進(jìn)行組裝生產(chǎn)時(shí)，由于電子元件在晶圓上分布密度不同，導(dǎo)致晶圓表面殘留溫度存在差異，為防止溫度對(duì)不同電子元件安裝工作造成影響，同時(shí)方便后續(xù)加工生產(chǎn)，需對(duì)其進(jìn)行冷卻處理，使其達(dá)到正常室溫。

2、如現(xiàn)有技術(shù)公開號(hào)為cn218849432u的申請文件中所示，包括若干半導(dǎo)體制冷片，還包括：制冷座，所述半導(dǎo)體制冷片的制冷面安裝在所述制冷座的底部，且環(huán)形陣列設(shè)置；換熱座，所述換熱座與所述制冷座連接，所述半導(dǎo)體制冷片的制熱面與所述換熱座的頂部連接，所述換熱座上設(shè)有冷卻水路，所述冷卻水路與所述半導(dǎo)體制冷片相對(duì)設(shè)置。該技術(shù)方案通過半導(dǎo)體制冷片實(shí)現(xiàn)制冷，通過水冷方式對(duì)半導(dǎo)體制冷片進(jìn)行冷卻，既能保證晶圓的快速冷卻，同時(shí)降低了成本，并且無噪音，結(jié)構(gòu)簡單。

3、但是，上述技術(shù)方案僅能借助制冷凸臺(tái)從晶圓底部進(jìn)行逐步冷卻，導(dǎo)致晶圓外部和頂部并沒有快速受到冷氣進(jìn)行降溫，由此會(huì)影響晶圓的冷卻效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，本實(shí)用新型提供一種晶圓冷卻裝置，通過相連通的導(dǎo)向槽、風(fēng)孔和導(dǎo)向孔，使得散熱風(fēng)扇運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，可以經(jīng)導(dǎo)向孔將導(dǎo)冷臺(tái)散發(fā)的冷氣由導(dǎo)向槽引導(dǎo)輸送至晶圓外部和頂部，以此可以使冷氣對(duì)晶圓進(jìn)行全方位的降溫散熱，提高冷卻效率，達(dá)到對(duì)晶圓快速降溫的效果，以解決上述背景技術(shù)中出現(xiàn)的問題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種晶圓冷卻裝置，包括用于給晶圓降溫散熱的冷卻組件；

3、所述冷卻組件外部設(shè)有用于增強(qiáng)冷卻效率的功能組件；

4、所述功能組件包括兩個(gè)間隔分布的導(dǎo)向殼，所述導(dǎo)向殼底端貫穿開設(shè)有導(dǎo)向槽，兩個(gè)導(dǎo)向殼上的兩個(gè)導(dǎo)向槽相連通，所述導(dǎo)向殼底端貫穿開設(shè)有多個(gè)間隔分布的風(fēng)孔，所述風(fēng)孔與導(dǎo)向槽相連通，兩個(gè)導(dǎo)向殼相靠近的一側(cè)均貫穿開設(shè)有導(dǎo)向孔，所述導(dǎo)向孔與導(dǎo)向槽相連通；

5、兩個(gè)導(dǎo)向殼頂部設(shè)有同一個(gè)安裝板，所述安裝板內(nèi)部嵌設(shè)有散熱風(fēng)扇，所述散熱風(fēng)扇與導(dǎo)向孔的位置上下相對(duì)應(yīng)。

6、在一個(gè)優(yōu)選地實(shí)施方式中，所述冷卻組件包括水箱，所述水箱前側(cè)固定連通有料管，所述水箱兩側(cè)均固定嵌設(shè)有半導(dǎo)體制冷片，所述水箱頂部安裝有導(dǎo)冷臺(tái)，所述導(dǎo)冷臺(tái)底端貫穿水箱并延伸至水箱內(nèi)部；兩個(gè)導(dǎo)向殼均套設(shè)在導(dǎo)冷臺(tái)頂端外部，所述導(dǎo)冷臺(tái)設(shè)在相連通的兩個(gè)導(dǎo)向槽之間。

7、在一個(gè)優(yōu)選地實(shí)施方式中，所述水箱前端頂部設(shè)有螺紋桿，所述螺紋桿兩端均設(shè)有固定板，所述螺紋桿兩端均通過軸承分別與兩個(gè)固定板活動(dòng)連接，所述螺紋桿外部螺紋連接有連接座，兩個(gè)連接座后端分別與兩個(gè)導(dǎo)向殼前側(cè)固定在一起；所述螺紋桿兩端螺紋螺向相反，所述螺紋桿兩端螺紋關(guān)于螺紋桿中心軸線對(duì)稱分布。

8、在一個(gè)優(yōu)選地實(shí)施方式中，其中一個(gè)固定板遠(yuǎn)離螺紋桿的一側(cè)設(shè)有把手，所述把手貫穿該固定板并與螺紋桿固定在一起。

9、在一個(gè)優(yōu)選地實(shí)施方式中，所述安裝板后側(cè)安裝有兩個(gè)間隔分布的安裝支架，所述安裝支架底端前側(cè)與水箱后側(cè)固定在一起。

10、在一個(gè)優(yōu)選地實(shí)施方式中，所述水箱后端頂部設(shè)有兩個(gè)間隔分布的支撐架，所述支撐架設(shè)在安裝架前側(cè)，所述支撐架與安裝支架呈三角形分布。

11、本實(shí)用新型的技術(shù)效果和優(yōu)點(diǎn)：

12、1、通過相連通的導(dǎo)向槽、風(fēng)孔和導(dǎo)向孔，使得散熱風(fēng)扇運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，可以經(jīng)導(dǎo)向孔將導(dǎo)冷臺(tái)散發(fā)的冷氣由導(dǎo)向槽引導(dǎo)輸送至晶圓外部和頂部，以此可以使冷氣對(duì)晶圓進(jìn)行全方位的降溫散熱，提高冷卻效率，達(dá)到對(duì)晶圓快速降溫的效果；

13、2、通過螺紋桿的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)兩個(gè)連接座同時(shí)向內(nèi)或向外運(yùn)動(dòng)，以此便于工整人員操作導(dǎo)向殼與晶圓接觸或遠(yuǎn)離，達(dá)到提高工作人員操作導(dǎo)向殼和取放晶圓的便利性。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓冷卻裝置，其特征在于：包括用于給晶圓降溫散熱的冷卻組件；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓冷卻裝置，其特征在于：所述冷卻組件包括水箱(7)，所述水箱(7)前側(cè)固定連通有料管(8)，所述水箱(7)兩側(cè)均固定嵌設(shè)有半導(dǎo)體制冷片(9)，所述水箱(7)頂部安裝有導(dǎo)冷臺(tái)(10)，所述導(dǎo)冷臺(tái)(10)底端貫穿水箱(7)并延伸至水箱(7)內(nèi)部；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓冷卻裝置，其特征在于：所述水箱(7)前端頂部設(shè)有螺紋桿(11)，所述螺紋桿(11)兩端均設(shè)有固定板(12)，所述螺紋桿(11)兩端均通過軸承分別與兩個(gè)固定板(12)活動(dòng)連接，所述螺紋桿(11)外部螺紋連接有連接座(13)，兩個(gè)連接座(13)后端分別與兩個(gè)導(dǎo)向殼(1)前側(cè)固定在一起；

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓冷卻裝置，其特征在于：其中一個(gè)固定板(12)遠(yuǎn)離螺紋桿(11)的一側(cè)設(shè)有把手(14)，所述把手(14)貫穿該固定板(12)并與螺紋桿(11)固定在一起。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓冷卻裝置，其特征在于：所述安裝板(5)后側(cè)安裝有兩個(gè)間隔分布的安裝支架(15)，所述安裝支架(15)底端前側(cè)與水箱(7)后側(cè)固定在一起。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶圓冷卻裝置，其特征在于：所述水箱(7)后端頂部設(shè)有兩個(gè)間隔分布的支撐架(16)，所述支撐架(16)設(shè)在安裝架前側(cè)，所述支撐架(16)與安裝支架(15)呈三角形分布。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種晶圓冷卻裝置，具體涉及冷卻裝置技術(shù)領(lǐng)域，包括用于給晶圓降溫散熱的冷卻組件；所述冷卻組件外部設(shè)有用于增強(qiáng)冷卻效率的功能組件；所述功能組件包括兩個(gè)間隔分布的導(dǎo)向殼，所述導(dǎo)向殼底端貫穿開設(shè)有導(dǎo)向槽，兩個(gè)導(dǎo)向殼上的兩個(gè)導(dǎo)向槽相連通，所述導(dǎo)向殼底端貫穿開設(shè)有多個(gè)間隔分布的風(fēng)孔，所述風(fēng)孔與導(dǎo)向槽相連通，兩個(gè)導(dǎo)向殼相靠近的一側(cè)均貫穿開設(shè)有導(dǎo)向孔。本技術(shù)通過相連通的導(dǎo)向槽、風(fēng)孔和導(dǎo)向孔，使得散熱風(fēng)扇運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，可以經(jīng)導(dǎo)向孔將導(dǎo)冷臺(tái)散發(fā)的冷氣由導(dǎo)向槽引導(dǎo)輸送至晶圓外部和頂部，以此可以使冷氣對(duì)晶圓進(jìn)行全方位的降溫散熱，提高冷卻效率，達(dá)到對(duì)晶圓快速降溫的效果。

技術(shù)研發(fā)人員：李茂欣
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海磐盟電子材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240315
技術(shù)公布日：2024/12/19