本技術(shù)涉及晶圓加工設(shè)備，特別涉及一種晶圓夾持裝置。

背景技術(shù)：

1、在晶圓加工過程中，需要通過晶圓傳輸裝置將晶圓輸送至不同的加工臺上。晶圓傳輸裝置在輸送晶圓時，大多通過晶圓夾持裝置夾持住晶圓，然后進行輸送。然而目前，晶圓夾持裝置夾持著晶圓進行輸送時，夾持裝置大多夾持著晶圓的兩側(cè)，導(dǎo)致夾持裝置與晶圓之間容易產(chǎn)生磨損，進而造成晶圓破片的問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本實用新型的目的在于提供一種晶圓夾持裝置，本實用新型通過承接板支撐晶圓的重力，并利用晶圓重力拉動夾持板進一步夾持晶圓，可大大降低夾持裝置與晶圓表面之間的磨損，從而大大減少晶圓破片的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實用新型提供一種晶圓夾持裝置，包括：

3、連接梁；

4、承接板，滑動設(shè)于所述連接梁上；

5、夾持板，滑動設(shè)于所述連接梁上；以及

6、連接機構(gòu)，連接于所述承接板與所述夾持板之間；

7、其中，所述晶圓的重力擠壓所述承接板時，所述承接板滑動并通過所述連接機構(gòu)拉動所述夾持板滑動，直至所述晶圓夾持在所述承接板及所述夾持板之間，且所述承接板復(fù)位時，所述連接機構(gòu)推動所述夾持板向著背離所述晶圓的方向移動。

8、在本實用新型一實施例中，所述連接機構(gòu)包括：

9、第一彈性件，其一端連接于所述連接梁上，另一端連接于所述承接板上；

10、第二彈性件，其一端連接于所述連接梁上，另一端連接于所述夾持板上；以及

11、轉(zhuǎn)輪，轉(zhuǎn)動設(shè)于所述連接梁上，所述轉(zhuǎn)輪被區(qū)分為第一端以及第二端；

12、其中，所述第一端上環(huán)繞有第一連接繩，且所述第一連接繩的一端連接于所述承接板上，所述第二端上環(huán)繞有第二連接繩，且所述第二連接繩的一端連接于所述夾持板上。

13、在本實用新型一實施例中，所述第一端的直徑大于所述第二端的直徑。

14、在本實用新型一實施例中，當(dāng)所述晶圓的一側(cè)擠壓所述承接板時，所述第一彈性件處于拉伸狀態(tài)，所述第二彈性件處于壓縮狀態(tài)，當(dāng)所述晶圓的一側(cè)不擠壓所述承接板時，所述第一彈性件與所述第二彈性件復(fù)位。

15、在本實用新型一實施例中，所述夾持板、所述第二彈性件、所述第二連接繩、所述轉(zhuǎn)輪及所述第一連接繩分別至少設(shè)置一對，一對所述第二彈性件分別連接于一對所述夾持板上，一對所述夾持板分別通過一對所述第二連接繩連接至一對所述轉(zhuǎn)輪的第二端，所述承接板通過一對所述第一連接繩分別連接至一對所述轉(zhuǎn)輪的第一端，其中，一對所述夾持板距離所述晶圓中心的直線距離相等。

16、在本實用新型一實施例中，所述承接板位于所述晶圓的底部，一對所述夾持板分別位于所述晶圓的上部兩側(cè)。

17、在本實用新型一實施例中，所述連接梁上開設(shè)有第一滑槽，所述第一滑槽內(nèi)滑動連接有第一滑塊，且所述第一滑塊與所述承接板固定連接。

18、在本實用新型一實施例中，所述連接梁上開設(shè)有一對第二滑槽，一對所述第二滑槽內(nèi)分別滑動連接有第二滑塊，且一對所述第二滑塊分別與一對所述夾持板固定連接。

19、在本實用新型一實施例中，所述第一彈性件為拉伸彈簧，所述第二彈性件為壓縮彈簧。

20、在本實用新型一實施例中，所述承接板上開設(shè)有承接槽，所述承接槽與所述晶圓的外表面貼合。

21、在本實用新型一實施例中，所述承接槽的表面覆蓋有減摩件。

22、為解決上述技術(shù)問題，本實用新型是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的：

23、如上所述，本實用新型提供了一種晶圓夾持裝置，該晶圓夾持裝置通過承接板支撐晶圓的重力，并利用晶圓重力拉動夾持板進一步夾持晶圓。其意想不到的效果是，通過承接板以及夾持板的配合可大大降低夾持裝置與晶圓表面之間的磨損，從而大大減少晶圓破片的問題。并且，夾持板以及承接板之間可以容納不同尺寸的晶圓，從而提高夾持裝置的適配性。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓夾持裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓夾持裝置，其特征在于，所述連接機構(gòu)包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓夾持裝置，其特征在于，所述第一端的直徑大于所述第二端的直徑。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓夾持裝置，其特征在于，當(dāng)所述晶圓的一側(cè)擠壓所述承接板時，所述第一彈性件處于拉伸狀態(tài)，所述第二彈性件處于壓縮狀態(tài)，當(dāng)所述晶圓的一側(cè)不擠壓所述承接板時，所述第一彈性件與所述第二彈性件復(fù)位。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓夾持裝置，其特征在于，所述夾持板、所述第二彈性件、所述第二連接繩、所述轉(zhuǎn)輪及所述第一連接繩分別至少設(shè)置一對，一對所述第二彈性件分別連接于一對所述夾持板上，一對所述夾持板分別通過一對所述第二連接繩連接至一對所述轉(zhuǎn)輪的第二端，所述承接板通過一對所述第一連接繩分別連接至一對所述轉(zhuǎn)輪的第一端，其中，一對所述夾持板距離所述晶圓中心的直線距離相等。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶圓夾持裝置，其特征在于，所述承接板位于所述晶圓的底部，一對所述夾持板分別位于所述晶圓的上部兩側(cè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓夾持裝置，其特征在于，所述連接梁上開設(shè)有第一滑槽，所述第一滑槽內(nèi)滑動連接有第一滑塊，且所述第一滑塊與所述承接板固定連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶圓夾持裝置，其特征在于，所述連接梁上開設(shè)有一對第二滑槽，一對所述第二滑槽內(nèi)分別滑動連接有第二滑塊，且一對所述第二滑塊分別與一對所述夾持板固定連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓夾持裝置，其特征在于，所述第一彈性件為拉伸彈簧，所述第二彈性件為壓縮彈簧。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓夾持裝置，其特征在于，所述承接板上開設(shè)有承接槽，所述承接槽與所述晶圓的外表面貼合，且所述承接槽的表面覆蓋有減摩件。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供了一種晶圓夾持裝置，包括連接梁；承接板，滑動設(shè)于所述連接梁上；夾持板，滑動設(shè)于所述連接梁上；以及連接機構(gòu)，連接于所述承接板與所述夾持板之間；其中，所述晶圓的重力擠壓所述承接板時，所述承接板滑動并通過所述連接機構(gòu)拉動所述夾持板滑動，直至所述晶圓夾持在所述承接板及所述夾持板之間，且所述承接板復(fù)位時，所述連接機構(gòu)推動所述夾持板向著背離所述晶圓的方向移動。通過本技術(shù)提供的一種晶圓夾持裝置，通過承接板支撐晶圓的重力，并利用晶圓重力拉動夾持板進一步夾持晶圓?？纱蟠蠼档蛫A持裝置與晶圓表面之間的磨損，從而大大減少晶圓破片的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：金文祥,王濤濤,臧鵬展,李阿龍
受保護的技術(shù)使用者：合肥晶合集成電路股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240108
技術(shù)公布日：2024/12/19