本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，具體為一種用于分選后map高效比對(duì)的方法及裝置。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體制造過程中，晶圓map比對(duì)是關(guān)鍵的環(huán)節(jié)之一，它通過比較晶圓的實(shí)際圖案與預(yù)期圖案，找出并標(biāo)記出任何不匹配或異常。

2、由于晶圓map的復(fù)雜性，人工比對(duì)方法在效率和準(zhǔn)確性方面面臨挑戰(zhàn)，傳統(tǒng)的基于人工的比對(duì)方法既耗時(shí)又易出錯(cuò)，且無法滿足大規(guī)模生產(chǎn)的需求。

3、基于上述問題，開發(fā)一種高效的人工晶圓map比對(duì)方法，對(duì)于提高半導(dǎo)體制造效率和產(chǎn)品質(zhì)量具有重要意義。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本部分的目的在于概述本發(fā)明的實(shí)施方式的一些方面以及簡(jiǎn)要介紹一些較佳實(shí)施方式。在本部分以及本申請(qǐng)的說明書摘要和發(fā)明名稱中可能會(huì)做些簡(jiǎn)化或省略以避免使本部分、說明書摘要和發(fā)明名稱的目的模糊，而這種簡(jiǎn)化或省略不能用于限制本發(fā)明的范圍。

2、鑒于現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，提出了本發(fā)明。

3、因此，本發(fā)明的目的是提供一種用于分選后map高效比對(duì)的方法及裝置，在使用的過程中，利用先進(jìn)的人工智能技術(shù)，顯著提高晶圓map比對(duì)的效率和準(zhǔn)確性，為半導(dǎo)體制造過程中的缺陷檢測(cè)和質(zhì)量控制提供有力支持。

4、為解決上述技術(shù)問題，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，本發(fā)明提供了如下技術(shù)方案：

5、一種用于分選后map高效比對(duì)的方法及裝置，其包括如下步驟：

6、步驟1：將晶圓casstte放置loadport上料平臺(tái)，以便機(jī)械手臂可以正確拿取晶圓；

7、步驟2：通過機(jī)械手臂將分選后晶圓傳輸?shù)脚恼障到y(tǒng)，收集晶圓高清圖像；

8、步驟3：通過計(jì)算機(jī)軟件對(duì)圖像進(jìn)行預(yù)處理，以提高比對(duì)精度和速度；

9、步驟4：利用深度學(xué)習(xí)算法，自動(dòng)提取晶圓圖像中的關(guān)鍵特征；

10、步驟5：將提取的特征與預(yù)期的晶圓圖案進(jìn)行匹配，找出不匹配的區(qū)域，并生成map文檔及可視圖案；

11、步驟6：將分選后設(shè)備生成的map導(dǎo)入到軟件系統(tǒng)中，同時(shí)生成可視化圖案；

12、步驟7：將兩種map進(jìn)行比對(duì)，利用算法得出是否有map?shift產(chǎn)生，并對(duì)結(jié)果以可視化的方式呈現(xiàn)給人工比對(duì)員，以便快速定位和識(shí)別異常及二次確認(rèn)。

13、作為本發(fā)明所述的一種用于分選后map高效比對(duì)的方法及裝置的一種優(yōu)選方案，其中：所述步驟3中，圖像預(yù)處理包括噪聲去除、圖像增強(qiáng)和歸一化。

14、作為本發(fā)明所述的一種用于分選后map高效比對(duì)的方法及裝置的一種優(yōu)選方案，其中：適用于上述任意一項(xiàng)所述的一種用于分選后map高效比對(duì)的方法。

15、作為本發(fā)明所述的一種用于分選后map高效比對(duì)的方法及裝置的一種優(yōu)選方案，其中：包括機(jī)架、上料平臺(tái)、機(jī)械手臂、拍照系統(tǒng)以及計(jì)算機(jī)圖像處理系統(tǒng)，機(jī)架的一側(cè)設(shè)置有上料平臺(tái)，機(jī)架的頂部一側(cè)設(shè)置有機(jī)械手臂，機(jī)架的頂部另一側(cè)設(shè)置有拍照系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)圖像處理系統(tǒng)，且拍照系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)圖像處理系統(tǒng)電性連接。

16、作為本發(fā)明所述的一種用于分選后map高效比對(duì)的方法及裝置的一種優(yōu)選方案，其中：所述拍照系統(tǒng)選用工業(yè)相機(jī)。

17、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

18、通過人工智能技術(shù)的引入，大大提高了晶圓map比對(duì)的效率和準(zhǔn)確性；人工比對(duì)員只需關(guān)注比對(duì)結(jié)果，而繁瑣的比對(duì)過程可由系統(tǒng)自動(dòng)完成；

19、此外，該方法還可以根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行優(yōu)化和調(diào)整，具有很好的靈活性和擴(kuò)展性。

技術(shù)特征：

1.一種用于分選后map高效比對(duì)的方法，其特征在于：包括如下步驟：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于分選后map高效比對(duì)的方法，其特征在于：所述步驟3中，圖像預(yù)處理包括噪聲去除、圖像增強(qiáng)和歸一化。

3.一種用于分選后map高效比對(duì)的裝置，其特征在于：適用于權(quán)利要求1-2任意一項(xiàng)所述的一種用于分選后map高效比對(duì)的方法。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于分選后map高效比對(duì)的裝置，其特征在于：包括機(jī)架、上料平臺(tái)(l01)、機(jī)械手臂(l02)、拍照系統(tǒng)(l03)以及計(jì)算機(jī)圖像處理系統(tǒng)(l04)，機(jī)架的一側(cè)設(shè)置有上料平臺(tái)(l01)，機(jī)架的頂部一側(cè)設(shè)置有機(jī)械手臂(l02)，機(jī)架的頂部另一側(cè)設(shè)置有拍照系統(tǒng)(l03)和計(jì)算機(jī)圖像處理系統(tǒng)(l04)，且拍照系統(tǒng)(l03)和計(jì)算機(jī)圖像處理系統(tǒng)(l04)電性連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于分選后map高效比對(duì)的裝置，其特征在于：所述拍照系統(tǒng)(l03)選用工業(yè)相機(jī)。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種用于分選后Map高效比對(duì)的方法及裝置，包括如下步驟：步驟1：將晶圓Casstte放置loadport上料平臺(tái)，以便機(jī)械手臂可以正確拿取晶圓；步驟2：通過機(jī)械手臂將分選后晶圓傳輸?shù)脚恼障到y(tǒng)，收集晶圓高清圖像；步驟3：通過計(jì)算機(jī)軟件對(duì)圖像進(jìn)行預(yù)處理，以提高比對(duì)精度和速度；步驟4：利用深度學(xué)習(xí)算法，自動(dòng)提取晶圓圖像中的關(guān)鍵特征；步驟5：將提取的特征與預(yù)期的晶圓圖案進(jìn)行匹配，找出不匹配的區(qū)域，并生成map文檔及可視圖案，其結(jié)構(gòu)合理，在使用的過程中，利用先進(jìn)的人工智能技術(shù)，顯著提高晶圓Map比對(duì)的效率和準(zhǔn)確性，為半導(dǎo)體制造過程中的缺陷檢測(cè)和質(zhì)量控制提供有力支持。

技術(shù)研發(fā)人員：李登鵬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：晶通（高郵）集成電路有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/23