技術(shù)編號(hào)：40443141
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，具體為一種用于分選后map高效比對(duì)的方法及裝置。背景技術(shù)、在半導(dǎo)體制造過程中，晶圓map比對(duì)是關(guān)鍵的環(huán)節(jié)之一，它通過比較晶圓的實(shí)際圖案與預(yù)期圖案，找出并標(biāo)記出任何不匹配或異常。、由于晶圓map的復(fù)雜性，人工比對(duì)方法在效率和準(zhǔn)確性方面面臨挑戰(zhàn)，傳統(tǒng)的基于人工的比對(duì)方法既耗時(shí)又易出錯(cuò)，且無(wú)法滿足大規(guī)模生產(chǎn)的需求。、基于上述問題，開發(fā)一種高效的人工晶圓map比對(duì)方法，對(duì)于提高半導(dǎo)體制造效率和產(chǎn)品質(zhì)量具有重要意義。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、本部分的目的在于概述本發(fā)明的實(shí)施方式的一些方面...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。