本公開涉及光伏或半導(dǎo)體,具體涉及一種槳筒組件、取放裝置和加工設(shè)備。
背景技術(shù):
1、在光伏或半導(dǎo)體行業(yè)的化學(xué)氣相沉積、磷擴(kuò)散、硼擴(kuò)散等工藝過程中,需要利用槳將待加工的產(chǎn)品放入加工腔室或從加工腔室取出。槳筒是一個固定和調(diào)節(jié)槳的夾緊機(jī)構(gòu),兩個槳之間的間距需要根據(jù)生產(chǎn)工藝進(jìn)行調(diào)整。
2、然而,傳統(tǒng)的槳筒間距是不可調(diào)節(jié)的,必須通過更換固定板來改變間距,浪費(fèi)時間和精力。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、有鑒于此,本公開實施例提供了一種槳筒組件、取放裝置和加工設(shè)備,解決了由于傳統(tǒng)的槳筒間距不可調(diào)節(jié),必須通過更換固定板來改變間距,導(dǎo)致浪費(fèi)時間和精力的問題。
2、第一方面,本公開的實施例提供了一種槳筒組件,包括:固定板,具有貫穿所述固定板的通孔;移動組件,設(shè)置于所述固定板上,并穿過所述通孔與槳筒連接,被配置為帶動所述槳筒移動,所述槳筒被配置為安裝槳;動力組件,與所述移動組件連接,被配置為對所述移動組件施加推力和拉力;所述槳筒,與另一槳筒平行設(shè)置,其中,所述移動組件帶動所述槳筒向靠近所述另一槳筒的方向移動或向遠(yuǎn)離所述另一槳筒的方向移動。
3、在一些實施例中,所述動力組件包括:固定件,設(shè)置于所述固定板上,與所述固定板固定連接,具有第一螺紋孔,所述第一螺紋孔的軸線方向與所述移動組件的移動方向平行;第一螺桿,與所述第一螺紋孔螺接;其中,所述移動組件具有第二螺紋孔,所述第二螺紋孔的軸線與所述第一螺紋孔的軸線共線,所述第一螺桿還與所述第二螺紋孔螺接。
4、在一些實施例中,所述動力組件還包括第二螺桿;其中,所述固定件還具有第三螺紋孔,所述第三螺紋孔與所述第一螺紋孔平行,所述第二螺桿與所述第三螺紋孔螺接,且所述第二螺桿的一端與所述移動組件抵接。
5、在一些實施例中,所述動力組件還包括第三螺桿;其中,所述固定件還包括第四螺紋孔,所述第四螺紋孔與所述第一螺紋孔相對于所述第三螺紋孔對稱設(shè)置,所述移動組件還具有第五螺紋孔,所述第五螺紋孔的軸線與所述第四螺紋孔的軸線共線,所述第三螺桿分別與所述第四螺紋孔和所述第五螺紋孔螺接。
6、在一些實施例中,所述通孔為長條形通孔,所述通孔的長度方向與所述移動組件的移動方向平行。
7、在一些實施例中,所述固定板還具有導(dǎo)向槽,所述導(dǎo)向槽沿所述長條形通孔的長度方向延伸;其中,所述移動組件可滑動設(shè)于所述導(dǎo)向槽內(nèi)。
8、在一些實施例中,所述移動組件包括:移動塊,設(shè)置于所述固定板上,與所述動力組件連接,并接受所述動力組件的推力或拉力;槳筒吊環(huán),套裝在所述槳筒上;連接件,連接所述移動塊與所述槳筒吊環(huán)。
9、在一些實施例中,所述移動組件的數(shù)量為多個,所述通孔的數(shù)量為多個,多個所述移動組件分別與所述槳筒的不同位置連接,以共同帶動所述槳筒移動。
10、在一些實施例中,所述移動組件的數(shù)量為多個,所述通孔的數(shù)量為多個,多個所述移動組件分別與所述槳筒和另一所述槳筒連接,以帶動所述槳筒和另一所述槳筒相互靠近或遠(yuǎn)離。
11、第二方面,本公開的實施例提供了一種取放裝置,包括:如第一方面所述的槳筒組件;第一槳,與所述槳筒固定連接;第二槳,與另一所述槳筒固定連接;其中,所述第一槳和所述第二槳共同承載待加工對象,所述槳筒組件用于驅(qū)動所述第一槳和所述第二槳相互靠近或遠(yuǎn)離。
12、第三方面,本公開的實施例提供了一種加工設(shè)備,包括:如第一方面所述的槳筒組件;第一槳,與所述槳筒固定連接;第二槳,與另一所述槳筒固定連接;爐體;爐門,套設(shè)于所述第一槳和所述第二槳的靠近所述槳筒組件的一側(cè);其中,所述槳筒組件用于驅(qū)動所述第一槳和所述第二槳相互靠近或遠(yuǎn)離,所述第一槳和所述第二槳共同承載待加工對象,所述爐門被配置為與所述爐體配合以形成容納空間,所述容納空間用于容納所述待加工對象。
13、本公開實施例提供的一種槳筒組件,包括:固定板、移動組件、動力組件和槳筒。固定板具有貫穿固定板的通孔,移動組件設(shè)置于固定板上,并穿過通孔與槳筒連接,被配置為帶動槳筒移動,槳筒被配置為安裝槳,動力組件與移動組件連接,被配置為對移動組件施加推力和拉力,槳筒與另一槳筒平行設(shè)置,其中,移動組件帶動槳筒向靠近另一槳筒的方向移動或向遠(yuǎn)離另一槳筒的方向移動,從而實現(xiàn)調(diào)節(jié)該槳筒和另一槳筒之間的間距的目的,無需更換固定板,節(jié)省了時間和精力。
1.一種槳筒組件,其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的槳筒組件,其特征在于,所述動力組件包括:
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的槳筒組件,其特征在于,所述動力組件還包括第二螺桿;
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的槳筒組件,其特征在于,所述動力組件還包括第三螺桿;
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的槳筒組件,其特征在于,所述通孔為長條形通孔,所述通孔的長度方向與所述移動組件的移動方向平行。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的槳筒組件,其特征在于,所述固定板還具有導(dǎo)向槽,所述導(dǎo)向槽沿所述長條形通孔的長度方向延伸;
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的槳筒組件,其特征在于,所述移動組件包括:
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項所述的槳筒組件,其特征在于,所述移動組件的數(shù)量為多個,所述通孔的數(shù)量為多個,多個所述移動組件分別與所述槳筒的不同位置連接,以共同帶動所述槳筒移動。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項所述的槳筒組件,其特征在于,所述移動組件的數(shù)量為多個,所述通孔的數(shù)量為多個,多個所述移動組件分別與所述槳筒和另一所述槳筒連接,以帶動所述槳筒和另一所述槳筒相互靠近或遠(yuǎn)離。
10.一種取放裝置,其特征在于,包括:
11.一種加工設(shè)備,其特征在于,包括: