技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種多晶硅的清潔裝置。一種多晶硅的清潔裝置，包括水箱與清洗箱，水箱設(shè)置有通水管，通水管設(shè)置有第一閥門，通水管通向清洗箱，清洗箱由高到低依次設(shè)置有產(chǎn)品放置箱、待清洗箱、超聲波清洗箱、第一漂洗箱、第二漂洗箱、第三漂洗箱和干燥箱，超聲波清洗箱設(shè)置有第一清潔管，第一清潔管設(shè)置有第二閥門，第一漂洗箱設(shè)置有第二清潔管，第二清潔管設(shè)置有第三閥門，第二漂洗箱設(shè)置有第三清潔管，第三清潔管設(shè)置有第四閥門，第三漂洗箱設(shè)置有第四清潔管，第四清潔管設(shè)置有第五閥門，第三漂洗箱連接有第一回流管，收集池設(shè)有第二回流管，水箱內(nèi)設(shè)有加熱層。本實(shí)用新型降低臟片的出現(xiàn)概率，提高了硅片清洗效果。

技術(shù)研發(fā)人員：劉愛軍;陳永慶
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇金暉光伏有限公司
文檔號碼：201720188395
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.01
技術(shù)公布日：2017.09.05