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一種多晶硅的清潔裝置的制作方法

文檔序號:11303852閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種多晶硅的清潔裝置,包括水箱與清洗箱,其特征在于:所述水箱設(shè)置有通水管,所述通水管設(shè)置有第一閥門,所述通水管通向清洗箱,所述清洗箱由高到低依次設(shè)置有產(chǎn)品放置箱、待清洗箱、超聲波清洗箱、第一漂洗箱、第二漂洗箱、第三漂洗箱和干燥箱,所述超聲波清洗箱設(shè)置有第一清潔管,第一清潔管連接通水管,所述第一清潔管設(shè)置有第二閥門,所述第一漂洗箱設(shè)置有第二清潔管,第二清潔管連接通水管,所述第二清潔管設(shè)置有第三閥門,所述第二漂洗箱設(shè)置有第三清潔管,第三清潔管連接通水管,所述第三清潔管設(shè)置有第四閥門,所述第三漂洗箱設(shè)置有第四清潔管,第四清潔管連接通水管,所述第四清潔管設(shè)置有第五閥門,所述第三漂洗箱連接有第一回流管,所述第一回流管通向收集池,所述收集池設(shè)有第二回流管,第二回流管通向水箱,水箱內(nèi)設(shè)有加熱層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅的清潔裝置,其特征在于:所述收集池內(nèi)設(shè)有加熱層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅的清潔裝置,其特征在于:所述水箱與收集池外均設(shè)有保溫層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅的清潔裝置,其特征在于:所述收集池中隔網(wǎng),所述隔網(wǎng)設(shè)置在收集池的兩側(cè)內(nèi)壁上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅的清潔裝置,其特征在于:所述水箱內(nèi)設(shè)有溫度控制器。

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