本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別涉及一種保護(hù)套件、機(jī)械手臂以及機(jī)臺(tái)。

背景技術(shù)：

晶圓的高速自動(dòng)化生產(chǎn)要求在晶圓的各個(gè)制造工序之間對(duì)晶圓進(jìn)行高效、高精度和高穩(wěn)定性傳輸和定位。這種晶圓在各個(gè)工序之間的傳輸和定位通常是由機(jī)器人(Robot)來(lái)完成，也就是說(shuō)，機(jī)器人通過(guò)配置于其上的機(jī)械手臂(Robot arm)從盛放晶圓的卡盒中取出晶圓，并送入處理室(Chamber)進(jìn)行相應(yīng)處理。然后，又通過(guò)機(jī)械手臂將處理后的晶圓從該處理室中取出來(lái)傳送到下一個(gè)處理室進(jìn)行下一道工序處理?？梢哉f(shuō)，機(jī)器人是晶圓制造工序的關(guān)鍵設(shè)備之一，而機(jī)械手臂則是機(jī)器人的核心部件，其性能優(yōu)劣決定了機(jī)器人的傳送和定位精度，進(jìn)而直接影響到晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量。

機(jī)械手臂傳送和定位的原理是：通過(guò)一內(nèi)置于所述機(jī)械手臂中的定位傳感器(Mapping sensor)中的光纖發(fā)射端發(fā)射光，光纖接收端接收光，再通過(guò)運(yùn)算感知晶圓位置及其數(shù)量，則定位傳感器中光纖接收端接收的光強(qiáng)大小直接決定定位傳感器的性能，進(jìn)而影響到機(jī)械手臂傳送和定位精度的性能。然而，在晶圓的制造過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量的聚合物沉積于定位傳感器的光纖發(fā)射端和/或光纖接收端，特別是，如在多晶硅刻蝕工藝中，其傳送環(huán)境中殘余有大量強(qiáng)腐蝕性氣體及生產(chǎn)物(如Hbr，Cl₂等)，于是，這些強(qiáng)腐蝕性氣體及生產(chǎn)物會(huì)附著在定位傳感器的光纖發(fā)射端和/或光纖接收端上，造成定位傳感器的透光度變?nèi)?，?jīng)常會(huì)因?yàn)楣鈴?qiáng)不足而造成機(jī)臺(tái)宕機(jī)現(xiàn)象，甚至導(dǎo)致直接腐蝕損壞光纖發(fā)射端和/或光纖接收端，造成定位傳感器徹底損壞。

因此，需要提出一種保護(hù)套件、機(jī)械手臂以及機(jī)臺(tái)，以克服現(xiàn)有的技術(shù)問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種保護(hù)套件、機(jī)械手臂以及機(jī)臺(tái)，所述機(jī)械手臂包括一保護(hù)套件，從而減少或避免殘余物沉淀于或者腐蝕所述機(jī)械手臂的定位傳感器，延長(zhǎng)所述定位傳感器的使用壽命，提高機(jī)臺(tái)稼動(dòng)率，降低生產(chǎn)成本。

為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述技術(shù)問(wèn)題及相關(guān)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種機(jī)械手臂，一定位傳感器的部分暴露在所述機(jī)械手臂上，所述機(jī)械手臂包括一保護(hù)套件，所述保護(hù)套件包括：

一保護(hù)主體，所述保護(hù)主體安裝于所述定位傳感器的部分暴露在所述機(jī)械手臂上的位置處；

一通孔，所述通孔貫穿所述保護(hù)主體，且所述通孔的中心軸與所述定位傳感器發(fā)射的光束的中心軸重合。

進(jìn)一步的，所述機(jī)械手臂包括第一側(cè)臂和第二側(cè)臂，所述定位傳感器內(nèi)置于所述機(jī)械手臂中，所述定位傳感器包括一光纖發(fā)射端和一光纖接收端，所述光纖發(fā)射端的部分和光纖接收端的部分分別暴露于所述第一側(cè)臂的前端和第二側(cè)臂的前端。

進(jìn)一步的，所述保護(hù)套件安裝于所述第一側(cè)臂的前端；或者所述保護(hù)套件安裝于所述第二側(cè)臂的前端；或者所述第一側(cè)臂的前端和第二側(cè)臂的前端均安裝有所述保護(hù)套件。

進(jìn)一步的，在所述的機(jī)械手臂中，所述第一側(cè)臂的前端具有第一探測(cè)面，所述第二側(cè)臂的前端具有第二探測(cè)面，在所述第一探測(cè)面和第二探測(cè)面上分別設(shè)置一透光孔，所述第一探測(cè)面上的透光孔用于發(fā)出所述光纖發(fā)射端發(fā)射的光束，所述第二探測(cè)面上的透光孔用于接收所述光纖接收端接收的光束。

進(jìn)一步的，在所述的機(jī)械手臂中，所述保護(hù)套件安裝于所述第一探測(cè)面上；或者所述保護(hù)套件安裝于所述第二探測(cè)面上；或者所述第一探測(cè)面上和第二探測(cè)面上均安裝有所述保護(hù)套件；且所述通孔的中心軸與所述透光孔的中心軸重合。

可選的，在所述的機(jī)械手臂中，所述通孔的直徑與所述透光孔的直徑相等。

可選的，在所述的機(jī)械手臂中，所述通孔的長(zhǎng)度大于或者等于所述透光孔的長(zhǎng)度。

可選的，在所述的機(jī)械手臂中，所述通孔的長(zhǎng)度為所述透光孔的長(zhǎng)度的兩倍。

可選的，在所述的機(jī)械手臂中，所述保護(hù)套件是可拆卸的。

進(jìn)一步的，在所述的機(jī)械手臂中，所述保護(hù)套件的上表面低于或者平行于所述第一側(cè)臂的前端和/或第二側(cè)臂的前端的上表面。

可選的，在所述的機(jī)械手臂中，所述保護(hù)主體包括第一保護(hù)主體和第二保護(hù)主體，所述第一保護(hù)主體與所述第二保護(hù)主體焊接成一體，所述第一保護(hù)主體與所述第一探測(cè)面和/或第二探測(cè)面相貼合，所述通孔貫穿所述第一保護(hù)主體，所述第二保護(hù)主體用于將所述保護(hù)套件固定在所述第一側(cè)臂的前端和/或第二側(cè)臂的前端。

可選的，在所述的機(jī)械手臂中，所述第一保護(hù)主體上還包括一吹氣孔和一密封螺栓，所述吹氣孔與所述通孔垂直導(dǎo)通。

可選的，在所述的機(jī)械手臂中，所述第二保護(hù)主體為一固定板，所述固定板的厚度為1mm-3mm。

可選的，在所述的機(jī)械手臂中，所述固定板上包括至少一個(gè)安裝孔和至少一個(gè)安裝螺栓。

可選的，在所述的機(jī)械手臂中，所述第二保護(hù)主體與所述第一保護(hù)主體相互垂直。

可選的，在所述的機(jī)械手臂中，所述第二保護(hù)主體與所述第一側(cè)臂的前端和/或第二側(cè)臂的前端的下表面相連接。

根據(jù)本實(shí)用新型的另一面，還提供一種如上述所述的保護(hù)套件。

另外，還提供一種包括上述機(jī)械手臂的機(jī)臺(tái)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果：

本實(shí)用新型通過(guò)提供一種具有保護(hù)套件的機(jī)械手臂，一定位傳感器的部分暴露在所述機(jī)械手臂上，所述保護(hù)套件包括一保護(hù)主體，所述保護(hù)主體安裝與所述定位傳感器的部分暴露在機(jī)械手臂上的位置處；一貫穿所述保護(hù)主體的通孔，且所述通孔的中心軸與所述定位傳感器發(fā)射的光束的中心軸重合。相當(dāng)于，所述保護(hù)套件把所述定位傳感器暴露在傳送環(huán)境的部分保護(hù)起來(lái)，從而減少或避免傳送環(huán)境中的殘余聚合物直接接觸所述定位傳感器，能夠延長(zhǎng)所述機(jī)械手臂的維護(hù)周期，有效增加所述定位傳感器(機(jī)械手臂)的使用壽命。相應(yīng)的，使用所述機(jī)械手臂的機(jī)臺(tái)的稼動(dòng)率高，降低晶圓的制造成本。

進(jìn)一步的，所述保護(hù)套件是可拆卸的，有利于所述機(jī)械手臂的維護(hù)，操作人員僅需定期拆下所述保護(hù)套件，通過(guò)對(duì)所述通孔吹掃或者清洗等方式進(jìn)行清理即可。

更進(jìn)一步的，所述保護(hù)套件包括第一保護(hù)主體和第二保護(hù)主體，所述第二保護(hù)主體用于將所述保護(hù)套件固定在所述機(jī)械手臂上，所述第一保護(hù)主體與所述第一探測(cè)面和/或第二探測(cè)面相貼合，所述第一保護(hù)主體上還包括一與所述通孔垂直導(dǎo)通的吹氣孔。這樣，更加方便所述保護(hù)套件的維護(hù)和清理，可以在不拆卸所述保護(hù)套件的前提下，對(duì)所述保護(hù)套件進(jìn)行吹掃清理，從而延長(zhǎng)所述定位傳感器的使用壽命，操作靈活方便，可以進(jìn)一步延長(zhǎng)所述機(jī)械手臂的維護(hù)周期，提高機(jī)臺(tái)的生產(chǎn)產(chǎn)量，降低晶圓的生產(chǎn)成本。

附圖說(shuō)明

圖1為一種機(jī)械手臂的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖1a為一種機(jī)械手臂的局部剖面放大示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中所述機(jī)械手臂的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2a為本實(shí)用新型實(shí)施例中所述機(jī)械手臂的局部剖面放大示意圖；

圖2b為本實(shí)用新型實(shí)施例中所述保護(hù)套件的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2c為本實(shí)用新型實(shí)施例中所述保護(hù)套件的剖面結(jié)構(gòu)圖；

圖2d為本實(shí)用新型實(shí)施例中所述保護(hù)套件的正視圖；

圖2e為本實(shí)用新型實(shí)施例中所述機(jī)械手臂的局部仰視圖；

圖2f為本實(shí)用新型實(shí)施例中所述機(jī)械手臂的局部俯視圖。

具體實(shí)施方式

如圖1和圖1a所示，為一種機(jī)械手臂的結(jié)構(gòu)示意圖以及局部剖面放大示意圖，所述機(jī)械手臂1包括第一側(cè)臂10和第二側(cè)臂11，一定位傳感器內(nèi)置于所述機(jī)械手臂1中，所述定位傳感器包括光纖發(fā)射端和光纖接收端，所述光纖發(fā)射端和光纖接收端分別內(nèi)置于所述第一側(cè)臂10和第二側(cè)臂11中。如圖1a所示，為圖1中所述機(jī)械手臂1的第一側(cè)臂10的前端A的局部剖面放大示意圖，所述第一側(cè)臂10的前端A包括第一探測(cè)面100、所述光纖反射端120、以及暴露在所述第一探測(cè)面100的透光孔1000，所述透光孔1000用于發(fā)出所述光纖發(fā)射端120發(fā)射的光束。相應(yīng)的，在所述第二側(cè)臂11的前端具有一光纖接收端、第二探測(cè)面和另一透光孔，另一透光孔用于接收所述光纖接收端接收的光束(因所述第二側(cè)臂11的前端與所述第一側(cè)臂10的前端A結(jié)構(gòu)是相對(duì)稱(chēng)的，因此，僅以所述第一側(cè)臂10的前端A結(jié)構(gòu)為例進(jìn)行描述和說(shuō)明，本領(lǐng)域技術(shù)人員很容易從所述第一側(cè)臂10的前端A結(jié)構(gòu)便可知曉所述第二側(cè)臂11的結(jié)構(gòu))。發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，上述機(jī)械手臂1在使用過(guò)程中，所述透光孔1000和所述光纖反射端120會(huì)聚集殘余聚合物(同樣的，在所述光纖接收端和另一透光孔也會(huì)沉積殘余聚合物)，影響光的透光度，因此，所述光纖接收端接收的光強(qiáng)就會(huì)很弱，有的甚至?xí)g損壞所述光纖反射端120和/或所述光纖接收端，致使所述機(jī)械手臂1無(wú)法正常工作，機(jī)臺(tái)停機(jī)，影響晶圓制造的生產(chǎn)過(guò)程。

目前，針對(duì)上述問(wèn)題，為了延長(zhǎng)所述機(jī)械手臂1的使用壽命，常用的解決方法是操作人員對(duì)上述機(jī)械手臂1進(jìn)行定期維護(hù)，如采用氮?dú)獯祾邩尨祾咚鐾腹饪?000、所述光纖反射端120和/或光纖接收端上的聚合物。但是，由于在對(duì)所述機(jī)械手臂1進(jìn)行清理時(shí)，機(jī)臺(tái)所有的處理室需要停止工作，特別是，在多晶硅刻蝕工藝中，一般需要一周清理一次，嚴(yán)重影響機(jī)臺(tái)的稼動(dòng)率，不僅增加操作人員的負(fù)擔(dān)，而且增加了晶圓制造的成本。

因此，發(fā)明人通過(guò)研究，提供了一種機(jī)械手臂，一定位傳感器的部分暴露在所述機(jī)械手臂上，所述機(jī)械手臂包括一保護(hù)套件，所述保護(hù)套件包括：

一保護(hù)主體，所述保護(hù)主體安裝于所述定位傳感器的部分暴露在所述機(jī)械手臂上的位置處；

一通孔，所述通孔貫穿所述保護(hù)主體，且所述通孔的中心軸與所述定位傳感器發(fā)射的光束的中心軸重合。

相應(yīng)的，提出了一種如上述所述的保護(hù)套件。

另外，還提供了一種保護(hù)上述機(jī)械手臂的機(jī)臺(tái)。

本實(shí)用新型通過(guò)提供一種具有保護(hù)套件的機(jī)械手臂，一定位傳感器的部分暴露在所述機(jī)械手臂上，所述保護(hù)套件包括一保護(hù)主體，所述保護(hù)主體安裝與所述定位傳感器的部分暴露在機(jī)械手臂上的位置處；一貫穿所述保護(hù)主體的通孔，且所述通孔的中心軸與所述定位傳感器發(fā)射的光束的中心軸重合。相當(dāng)于，所述保護(hù)套件把所述定位傳感器暴露在傳送環(huán)境的部分保護(hù)起來(lái)，從而減少或避免傳送環(huán)境中的殘余聚合物直接接觸所述定位傳感器，能夠延長(zhǎng)所述機(jī)械手臂的維護(hù)周期，有效增加所述定位傳感器(機(jī)械手臂)的使用壽命。相應(yīng)的，使用所述機(jī)械手臂的機(jī)臺(tái)的稼動(dòng)率高，降低晶圓的制造成本。

下面將結(jié)合示意圖對(duì)本實(shí)用新型的保護(hù)套件、機(jī)械手臂以及機(jī)臺(tái)進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型，而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。

在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實(shí)用新型。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書(shū)，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。

以下列舉所述保護(hù)套件、機(jī)械手臂以及機(jī)臺(tái)的實(shí)施例，以清楚說(shuō)明本實(shí)用新型的內(nèi)容，應(yīng)當(dāng)明確的是，本實(shí)用新型的內(nèi)容并不限制于以下實(shí)施例，其他通過(guò)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員的常規(guī)技術(shù)手段的改進(jìn)亦在本實(shí)用新型的思想范圍之內(nèi)。

請(qǐng)參閱圖2，圖2為本實(shí)施例中提供的一種機(jī)械手臂的結(jié)構(gòu)示意圖，在本實(shí)施例中，所述機(jī)械手臂2仍以一種機(jī)械手臂的結(jié)構(gòu)圖為例，即所述機(jī)械手臂2包括第一側(cè)臂20和第二側(cè)臂21，一定位傳感器內(nèi)置于所述機(jī)械手臂2中，所述定位傳感器包括光纖反射端和光纖接收端，所述光纖發(fā)射端和光纖接收端分別內(nèi)置于所述第一側(cè)臂20和第二側(cè)臂21中。較佳的，在本實(shí)施例中，所述機(jī)械手臂2的第一側(cè)臂20和/或第二側(cè)臂21的前端還包括一保護(hù)套件。

如圖2a至圖2f所示，其中，示意出了所述第一側(cè)臂20的前端B的局部剖面放大圖、所述第一側(cè)臂20的前端B的仰視圖和俯視圖、以及所述保護(hù)套件的相應(yīng)結(jié)構(gòu)圖。如圖2a所示，所述第一側(cè)臂20的前端B包括第一探測(cè)面200，所述光纖發(fā)射端220、以及暴露在所述第一探測(cè)面200的透光孔2000，所述透光孔2000用于發(fā)出所述光纖發(fā)射端220發(fā)射的光束，所述透光孔2000的長(zhǎng)度為L(zhǎng)1。優(yōu)選的，在所述第一探測(cè)面200上安裝一保護(hù)套件，所述保護(hù)套件包括一貫穿保護(hù)主體的通孔2300，所述通孔2300的中心軸與所述光纖發(fā)射端220發(fā)射的光束的中心軸重合(即所述通孔2300的中心軸與所述透光孔2000的中心軸重合)。較佳的，為了不影響所述定位傳感器的發(fā)光強(qiáng)度，所述通孔2300的直徑與所述透光孔2000的直徑相等；同時(shí)，為了能夠起到對(duì)所述透光孔2000、光纖發(fā)射端220的保護(hù)作用，可以將所述通孔2300的長(zhǎng)度L2設(shè)計(jì)為大于或者等于L1，如L2＝2*L1等，這樣，所述通孔2300相當(dāng)于把所述透光孔2000的長(zhǎng)度增加了，可以減少或避免殘余聚合物或者腐蝕性物質(zhì)直接接觸原有的所述透光孔2000、光纖發(fā)射端220，相應(yīng)的，傳送環(huán)境中的殘余聚合物會(huì)沉淀在所述通孔2300的位置，能夠有效的保護(hù)所述定位傳感器，能夠延長(zhǎng)所述機(jī)械手臂2的使用壽命；只需對(duì)所述保護(hù)套件進(jìn)行維護(hù)，延長(zhǎng)了所述機(jī)械手臂2的維護(hù)周期，相應(yīng)的，增加機(jī)臺(tái)的稼動(dòng)率，降低晶圓生產(chǎn)成本。

優(yōu)選的，結(jié)合圖2a至圖2f所示，所述保護(hù)套件23包括一保護(hù)主體和一貫穿所述保護(hù)主體的通孔2300，為了更好的固定所述保護(hù)套件23，所述保護(hù)主體可以分為第一保護(hù)主體230和第二保護(hù)主體231，所述第一保護(hù)主體230和所述第二保護(hù)主體231焊接成一體，在本實(shí)施例中，所述第一保護(hù)主體230和第二保護(hù)主體231相互垂直，所述第一保護(hù)主體230與所述第一探測(cè)面200相貼合，所述通孔2300貫穿所述第一保護(hù)主體230，所述第二保護(hù)主體231用于將所述保護(hù)套件23固定在所述機(jī)械手臂上(例如：所述第二保護(hù)主體231固定于所述第一側(cè)臂20的前端B的下表面c上)。

進(jìn)一步的，所述第二保護(hù)主體231優(yōu)選為一固定板231，所述固定板231將所述保護(hù)套件23固定在所述第一側(cè)臂20的前端B的下表面c上?？蛇x的，為了實(shí)現(xiàn)所述保護(hù)套件23是可拆卸的，所述固定板231具有至少一個(gè)安裝孔2311，相應(yīng)的，匹配至少一個(gè)安裝螺栓2312，在本實(shí)施例中，設(shè)置了兩個(gè)相隔一定距離的安裝孔2311和兩個(gè)安裝螺栓2312，可以將所述保護(hù)套件23固定在所述第一側(cè)臂20的前端B的下表面c(可以理解的，在所述第一側(cè)臂20的前端B的下表面c的相應(yīng)位置也有安裝孔，以用于固定所述保護(hù)套件23)；此外，為了更加方便所述保護(hù)套件23的清理，在所述第一保護(hù)主體230上還設(shè)置一吹氣孔2301，所述吹氣孔2301與所述通孔2300垂直導(dǎo)通，而且，在所述機(jī)械手臂2正常使用和所述吹氣孔2301不使用時(shí)，還需要通過(guò)一密封螺栓2302對(duì)所述吹氣孔進(jìn)行密封上。因此，在本實(shí)施例中，采用螺栓安裝所述保護(hù)套件23，安裝拆卸簡(jiǎn)易方便，成本也低。

更進(jìn)一步的，為了不影響晶圓的傳送，所述保護(hù)套件23的上表面(即所述第一保護(hù)主體230的上表面)應(yīng)該低于或者平行于所述第一側(cè)臂20的前端B的上表面d；且所述保護(hù)主體的第二保護(hù)主體231的厚度不宜太厚，為了便于安裝，以不影響晶圓傳送且能固定所述保護(hù)套件23為準(zhǔn)，例如，所述固定板231的厚度可以為1mm-3mm，如2mm等。

此外，所述保護(hù)套件23的材質(zhì)優(yōu)選采用聚醚醚酮(PEEK)樹(shù)脂，因?yàn)镻EEK是一種性能優(yōu)異的特種工程塑料，與其他特種工程塑料相比具有諸多顯著優(yōu)勢(shì)，如其耐高溫、機(jī)械性能優(yōu)異、自潤(rùn)滑性好、耐化學(xué)品腐蝕、阻燃、耐剝離性、耐輻照性、絕緣性穩(wěn)定、耐水解和易加工等，是半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用較為廣泛且安全的一種固定材料。然后，所述保護(hù)套件23可以與原有的機(jī)械手臂同時(shí)加工成套制作，也可以根據(jù)原有的機(jī)械手臂的具體型號(hào)在后期再制作所述保護(hù)套件23。

這樣，所述機(jī)械手臂2具有所述保護(hù)套件23后，所述通孔2300相當(dāng)于加長(zhǎng)了原有的透光孔2000的長(zhǎng)度，可以減少或避免殘余聚合物直接接觸所述定位傳感器。因此，所述機(jī)械手臂2的維護(hù)周期從現(xiàn)有的一周清理一次可以延長(zhǎng)至一個(gè)月清理一次，甚至更長(zhǎng)周期后再進(jìn)行清理。，大大提高了機(jī)臺(tái)的稼動(dòng)率，降低生產(chǎn)成本。

顯然，本實(shí)施例僅以所述機(jī)械手臂2的第一側(cè)臂20上的所述保護(hù)套件23為例進(jìn)行了詳細(xì)的描述，其實(shí)，在所述機(jī)械手臂2的第二側(cè)臂21上同樣也可以安裝上所述保護(hù)套件23，所述保護(hù)套件23安裝于所述第二側(cè)臂21的第二探測(cè)面上，以對(duì)所述光纖接收端進(jìn)行保護(hù)。并且，本實(shí)施例僅以一種機(jī)械手臂為例，在其他實(shí)施例中，所述保護(hù)套件是可以根據(jù)不同型號(hào)的機(jī)械手臂進(jìn)行設(shè)計(jì)的，只需在尺寸上做微量改動(dòng)即可。以上，都是本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的，在此不做贅述。

綜上，本實(shí)用新型通過(guò)提供一種具有保護(hù)套件的機(jī)械手臂，一定位傳感器的部分暴露在所述機(jī)械手臂上，所述保護(hù)套件包括一保護(hù)主體，所述保護(hù)主體安裝與所述定位傳感器的部分暴露在機(jī)械手臂上的位置處；一貫穿所述保護(hù)主體的通孔，且所述通孔的中心軸與所述定位傳感器發(fā)射的光束的中心軸重合。相當(dāng)于，所述保護(hù)套件把所述定位傳感器暴露在傳送環(huán)境的部分保護(hù)起來(lái)，從而減少或避免傳送環(huán)境中的殘余聚合物直接接觸所述定位傳感器，能夠延長(zhǎng)所述機(jī)械手臂的維護(hù)周期，有效增加所述定位傳感器(機(jī)械手臂)的使用壽命。相應(yīng)的，使用所述機(jī)械手臂的機(jī)臺(tái)的稼動(dòng)率高，降低晶圓的制造成本。

進(jìn)一步的，所述保護(hù)套件是可拆卸的，有利于所述機(jī)械手臂的維護(hù)，操作人員僅需定期拆下所述保護(hù)套件，通過(guò)對(duì)所述通孔吹掃或者清洗等方式進(jìn)行清理即可。

更進(jìn)一步的，所述保護(hù)套件包括第一保護(hù)主體和第二保護(hù)主體，所述第二保護(hù)主體用于將所述保護(hù)套件固定在所述機(jī)械手臂上，所述第一保護(hù)主體與所述第一探測(cè)面和/或第二探測(cè)面相貼合，所述第一保護(hù)主體上還包括一與所述通孔垂直導(dǎo)通的吹氣孔。這樣，更加方便所述保護(hù)套件的維護(hù)和清理，可以在不拆卸所述保護(hù)套件的前提下，對(duì)所述保護(hù)套件進(jìn)行吹掃清理，從而延長(zhǎng)所述定位傳感器的使用壽命，操作靈活方便，可以進(jìn)一步延長(zhǎng)所述機(jī)械手臂的維護(hù)周期，提高機(jī)臺(tái)的生產(chǎn)產(chǎn)量，降低晶圓的生產(chǎn)成本。

顯然，在上述實(shí)施例中僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，上述實(shí)施例并不用以限制本實(shí)用新型。本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。