本實用新型涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種機(jī)臺控制單元的外殼和機(jī)臺控制單元。

背景技術(shù)：

參閱圖1，其是傳統(tǒng)的薄膜機(jī)臺的機(jī)臺控制單元的示意圖。如圖1所示，傳統(tǒng)的薄膜機(jī)臺控制單元的外殼共有五個壁，分別為第一側(cè)壁101、第二側(cè)壁102、第三側(cè)壁103、頂壁104、底壁105，第一側(cè)壁101和第二側(cè)壁102相對設(shè)置，第三側(cè)壁103連接第一側(cè)壁101和第二側(cè)壁102，且第三側(cè)壁103與外殼的開口相對設(shè)置。第三側(cè)壁103上安裝有風(fēng)扇107，且第三側(cè)壁103上開設(shè)有若干個輔助散熱孔108。集成電路板可從外殼的開口水平插入外殼內(nèi)。集成電路板插入外殼中后，所述機(jī)臺控制單元內(nèi)部所?？臻g十分狹小，因此控制單元運行時其內(nèi)部溫度會迅速升高。所述機(jī)臺控制單元的散熱只能通過風(fēng)扇107和輔助散熱孔108進(jìn)行少量散熱。

申請人發(fā)現(xiàn)，在實際生產(chǎn)中，由于散熱不夠充分，導(dǎo)致機(jī)臺控制單元內(nèi)部的溫度長期處于較高溫度，使用一段時間后，集成電路板上部分元器件因高溫失效，導(dǎo)致機(jī)臺控制單元的集成電路板壽命很短，而且因機(jī)臺控制單元產(chǎn)生的故障，已嚴(yán)重影響產(chǎn)線的生產(chǎn)效率。降低機(jī)臺控制單元的運行溫度，已顯得越來越重要。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型提供一種機(jī)臺控制單元的外殼和機(jī)臺控制單元，以解決傳統(tǒng)的薄膜機(jī)臺的機(jī)臺控制單元散熱不充分，導(dǎo)致運行時內(nèi)部溫度過高的問題。

本實用新型提供了一種機(jī)臺控制單元的外殼，其包括第一側(cè)壁、第二側(cè)壁、第三側(cè)壁、頂壁和底壁，所述頂壁和底壁相對設(shè)置，所述第一側(cè)壁和第二側(cè)壁相對設(shè)置，所述第三側(cè)壁連接所述第一側(cè)壁和第二側(cè)壁且與外殼的開口相對設(shè)置，所述第三側(cè)壁上開設(shè)有若干個輔助散熱孔，所述頂壁和底壁上均開設(shè)有若干個散熱孔。

可選的，所述第三側(cè)壁上安裝有風(fēng)扇。

可選的，所述第一側(cè)壁和/或第二側(cè)壁上開設(shè)有散熱孔。

可選的，所述頂壁和底壁上的散熱孔是均勻分布的。

可選的，所述頂壁和底壁的散熱孔的尺寸相同且位置一一對應(yīng)。

可選的，所述機(jī)臺控制單元的外殼為一整體結(jié)構(gòu)。

可選的，所述機(jī)臺控制單元的外殼由多個部分組成，所述多個部分可拆卸連接。

可選的，所述頂壁和底壁上的散熱孔的形狀為圓形。

進(jìn)一步，所述頂壁和底壁上的散熱孔的直徑為0.2cm～2cm。

更進(jìn)一步，所述頂壁和底壁上的兩相鄰散熱孔的圓心之間距離為 0.2cm～2cm。

本實用新型提供了一種機(jī)臺控制單元，所述機(jī)臺控制單元包括以上所述任意一種機(jī)臺控制單元的外殼。

機(jī)臺控制單元采用本實用新型提供的機(jī)臺控制單元的外殼后，由于本身晶圓制造廠房內(nèi)就有從上至下的循環(huán)排風(fēng)系統(tǒng)，而本實用新型提供的機(jī)臺控制單元的外殼的頂壁和底壁開設(shè)有散熱孔，正好能使循環(huán)排風(fēng)的氣流進(jìn)入機(jī)臺控制單元內(nèi)部，帶走內(nèi)部熱量，從而降低機(jī)臺控制單元內(nèi)部溫度，機(jī)臺控制單元的集成電路板壽命得以延長，產(chǎn)線上的故障率也隨之降低，提高了生產(chǎn)效率。

附圖說明

圖1是傳統(tǒng)的薄膜機(jī)臺的機(jī)臺控制單元的示意圖；

圖2是本實用新型實施例一提供的機(jī)臺控制單元的外殼的示意圖；

圖3是本實用新型實施例二提供的機(jī)臺控制單元的外殼的示意圖；

圖4是本實用新型實施例三提供的機(jī)臺控制單元的外殼的示意圖；

圖5是本實用新型實施例四提供的機(jī)臺控制單元的外殼的示意圖；

圖6是本實用新型實施例五提供的機(jī)臺控制單元的示意圖；

其中，附圖1-附圖5的標(biāo)記說明如下：

101、201-第一側(cè)壁；102、202-第二側(cè)壁；103、203-第三側(cè)壁；104、 204-頂壁；105、205-底壁；107、207-風(fēng)扇；108、208-輔助散熱孔；209、 210、211、212-散熱孔；303、304-集成電路板；305-把手。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型提出的機(jī)臺控制單元的外殼和機(jī)臺控制單元作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。

<實施例一>

參閱圖2，其是本實用新型實施例一提供的機(jī)臺的控制單元的外殼的示意圖。

如圖2所示，本實用新型實施例一提供了一種機(jī)臺控制單元的外殼，所述外殼共有五個壁，分別為第一側(cè)壁201、第二側(cè)壁202、第三側(cè)壁203、頂壁204、底壁205，第一側(cè)壁201和第二側(cè)壁202相對設(shè)置，第三側(cè)壁 203連接第一側(cè)壁201和第二側(cè)壁202，且第三側(cè)壁203與外殼開口相對設(shè)置，第三側(cè)壁203上安裝有風(fēng)扇207，且第三側(cè)壁203上開設(shè)有若干輔助散熱孔208，所述頂壁204和底壁205上開設(shè)有散熱孔。

具體的，所述機(jī)臺的控制單元的外殼由可拆卸連接的兩部分組成，所述兩部分組裝后構(gòu)成所述機(jī)臺的控制單元的外殼。例如，所述第一側(cè)壁201、第二側(cè)壁202和頂壁204是一體結(jié)構(gòu)作為第一部分，所述第三側(cè)壁203和底壁205是一體結(jié)構(gòu)作為第二部分，第一部分和第二部分組裝后構(gòu)成所述外殼。如此，采用可拆卸的兩部分結(jié)構(gòu)，便于拆開所述機(jī)臺控制單元的外殼檢查內(nèi)部問題。在實際應(yīng)用中，也可設(shè)計為一整體結(jié)構(gòu)或者可拆卸連接的三部分。機(jī)臺控制單元的外殼材質(zhì)可采用強(qiáng)度足夠的金屬，如鋁合金、不銹鋼。

具體的，所述機(jī)臺控制單元的頂壁204上的散熱孔209是均勻分布的，同時，底壁205上的散熱孔210也是均勻分布的，并且，散熱孔209、210 均為圓形，所述散熱孔209、210的直徑例如在0.2cm～2cm之間，兩相鄰散熱孔的圓心之間的距離為在0.2cm～2cm之間。當(dāng)然在實際應(yīng)用中，散熱孔 209、210形狀可以選擇三角形、四邊形、五邊形等各種形狀，大小和兩相鄰散熱孔之間的距離也可以根據(jù)設(shè)計改變。

具體的，本實施例的機(jī)臺控制單元的外殼的頂壁204上的散熱孔209 與底壁205上的散熱孔210，其形狀和大小相同，且位置一一對應(yīng)，這樣的設(shè)計，在廠房中從上至下的循環(huán)排風(fēng)系統(tǒng)帶所述動機(jī)臺控制單元內(nèi)部的氣體上下循環(huán)流動時，所述機(jī)臺控制單元內(nèi)部的氣體能更順暢地與外部氣體進(jìn)行交換，從而更有利于散熱，圖中的箭頭表示廠房內(nèi)從上至下空氣循環(huán)的方向。當(dāng)然在實際應(yīng)用中，頂壁204上的散熱孔209與底壁205上的散熱孔210的形狀和大小可不相同，位置也可不一一對應(yīng)，仍然能實現(xiàn)散熱的效果。

具體的，可采用電動沖擊鉆穿透外殼以形成所述散熱孔209、210，或者，可采取機(jī)床切割等方式形成散熱孔209、210。優(yōu)選的，在開孔后對散熱孔206、210邊緣進(jìn)行打磨，以保證散熱孔209、210邊緣的光滑平整，避免對其它部件或人員造成傷害。

集成電路板可從外殼開口插入機(jī)臺控制單元的外殼中。

由于本實施例的機(jī)臺控制單元的外殼的頂壁204和底壁205分布有散熱孔209、210，所以能夠充分利用廠房內(nèi)從上至下的循環(huán)排風(fēng)，散熱效率明顯提高，從而延長了所述機(jī)臺控制單元中集成電路板的壽命。

<實施例二>

參閱圖3，其是本實用新型實施例二提供的機(jī)臺控制單元的外殼的示意圖。如圖3所示，本實施例提供的機(jī)臺控制單元的外殼與實施例一提供的機(jī)臺控制單元的外殼的區(qū)別在于，所述機(jī)臺控制單元的外殼的第一側(cè)壁 201上開設(shè)有散熱孔211。對于散熱孔211大小、形狀、排布方式、開孔方式等要求與實施例一一致。

<實施例三>

參閱圖4，其是本實用新型實施例三提供的機(jī)臺控制單元的外殼的示意圖。如圖4所示，本實施例提供的機(jī)臺控制單元的外殼與實施例一提供的機(jī)臺控制單元的外殼的區(qū)別在于，所述機(jī)臺控制單元的外殼的第二側(cè)壁 202上開設(shè)有散熱孔212。對于散熱孔212大小、形狀、排布方式、開孔方式等要求與實施例一一致。

<實施例四>

參閱圖5，其是本實用新型實施例四提供的機(jī)臺控制單元的外殼的示意圖。如圖5所示，本實施例提供的機(jī)臺控制單元的外殼與實施例一提供的機(jī)臺控制單元的外殼的區(qū)別在于，所述機(jī)臺控制單元的外殼的第一側(cè)壁 201和第二側(cè)壁202上均開設(shè)有散熱孔211、212。對于散熱孔211、212大小、形狀、排布方式、開孔方式等要求與實施例一一致。與實施例一一樣，本實施例也優(yōu)選第一側(cè)壁201上的散熱孔211與第二側(cè)壁202上的散熱孔 212形狀和大小相同，位置一一對應(yīng)，這樣也更加有利于機(jī)臺控制單元側(cè)壁方向的空氣流通，更有利于散熱。

<實施例五>

參閱圖6，其是本實用新型實施例五提供的機(jī)臺控制單元的示意圖。如圖6所示，本實施例提供的機(jī)臺控制單元的外殼的頂壁204和底壁205 上開設(shè)有散熱孔209、210，其形狀、排布方式、開孔方式均與實施例一一致。集成電路板303和集成電路板304可從所述機(jī)臺控制單元的外殼的開口插入，并可通過所述集成電路板上的把手305抽出，由于本實施例的機(jī)臺控制單元的外殼的頂壁204和底壁205分布有散熱孔209、210，所以能夠充分利用廠房內(nèi)從上至下的循環(huán)排風(fēng)，散熱效率明顯提高，從而延長了所述機(jī)臺控制單元中集成電路板303、304的壽命。同樣，本實施例的機(jī)臺控制單元的外殼也可換位實施例二至實施例四的機(jī)臺控制單元的外殼。

綜上所述，由于本實用新型提供的機(jī)臺控制單元的外殼的頂壁和底壁上開設(shè)有散熱孔，正好可以充分利用廠房內(nèi)從上至下的循環(huán)排風(fēng)系統(tǒng)來提高所述機(jī)臺控制單元的散熱效率，從而使機(jī)臺控制單元的運行溫度顯著下降，集成電路板的壽命得到很大提升，故障率也顯著下降，提高了生產(chǎn)效率。

上述描述僅是對本實用新型較佳實施例的描述，并非對本實用新型范圍的任何限定，本實用新型領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書的保護(hù)范圍。