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一種具有浮空層分裂柵的MOSFET的制作方法

文檔序號:11303877閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種具有浮空層分裂柵的MOSFET,其特征在于,包括:N+襯底層,N+襯底層上設有N-外延層,N-外延層的中間和兩側分別設置有P-body層,P-body層的左右兩側分別設置有第一Trench槽和第二Trench槽,兩Trench槽之間為不連續(xù)的P-body層,兩Trench槽貫穿P-body層至N-外延層上部;每一Trench槽內均充滿SiO2層,SiO2層中設有兩不連續(xù)的Poly結構;每一Trench槽口外側在P-body層中圍有一圈N-阱;P-body層上設有Metal層;兩Trench槽內的SiO2滿出至Metal層;

在N-外延層中,對應每一Trench槽下方設置有P型浮空層,兩P型浮空層不連續(xù)。

2.根據權利要求1所述的具有浮空層分裂柵的MOSFET,其特征在于,P型浮空層與對應的Trench槽不相連。

3.根據權利要求1所述的具有浮空層分裂柵的MOSFET,其特征在于,P型浮空層與對應的Trench槽相連。

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