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單向低電容TVS器件的制作方法

文檔序號(hào):11303878閱讀:443來源:國知局
單向低電容TVS器件的制造方法與工藝

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種單向低電容TVS器件。



背景技術(shù):

目前市場上0.3pF(含)以上單向低電容TVS芯片的電路通常是將一個(gè)普通二極管(一般選擇低電容的普通二極管)與一個(gè)傳統(tǒng)穩(wěn)壓型TVS二極管串聯(lián),再與另外一個(gè)普通二極管(一般選擇低電容的普通二極管)并聯(lián)組合形成(見圖1),從電源Vcc對地GND的I-V曲線來看,正、反向特性仍然相當(dāng)于一個(gè)普通二極管,但等效電路對應(yīng)的電容卻遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于相同電壓的單個(gè)普通TVS二極管。

組合而成的低電容TVS器件,其電源Vcc對地GND的電容值CT可以表示為:

這里CD1和CD2都較小,CZ1要比前兩者大一個(gè)數(shù)量級,所以二極管D1和二極管Z1串聯(lián)后,總的串聯(lián)電容基本等同于二極管D1的電容。

當(dāng)電源Vcc加正電位,地GND加負(fù)電位時(shí):由于二極管D2擊穿電壓較高,二極管Z1擊穿電壓較低,所以二極管Z1率先擊穿,電源Vcc對地GND的反向擊穿電壓可以表示為:

VBR=VfD1+VZ1

其中,VfD1為二極管D1的正向壓降。

當(dāng)電源Vcc加負(fù)電位,地GND加正電位時(shí):由于二極管D1擊穿電壓較高,電流優(yōu)先經(jīng)過二極管D2的正向,電源Vcc對地GND的正向壓降可以表示為:

Vf=VfD2

可見組合而成的單向低電容TVS器件正、反向特性基本相當(dāng)于一個(gè)普通二極管,其反向擊穿電壓主要受二極管Z1的擊穿電壓控制;電容主要受CD1和CD2控制,所以為了實(shí)現(xiàn)低電容,實(shí)際就是降低CD1和CD2;同時(shí)電源Vcc對地GND的正、反方向ESD能力實(shí)際也是分別等同于D1、D2兩個(gè)二極管的正向ESD能力(二極管Z1的反向擊穿電壓較低,一般在3.3-7.0V之間,其反向ESD能力很高,可以不予考慮)。所以為了實(shí)現(xiàn)高ESD能力,實(shí)際就是提高D1、D2兩個(gè)二極管的正向ESD能力。

目前市場上的單向低電容TVS芯片的電容仍舊較高,因此,如何進(jìn)一步降低電容,例如低于0.3pF,甚至為0.2pF,需要本領(lǐng)域技術(shù)人員不斷的努力。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型的目的在于提供一種單向低電容TVS器件,以進(jìn)一步降低單向低電容TVS芯片的電容。

為此,本實(shí)用新型提供一種單向低電容TVS器件,所述單向低電容TVS器件包括:

第一支路,所述第一支路一端接第一電源、另一端接地,所述第一支路包括至少兩個(gè)第一普通二極管及一個(gè)穩(wěn)壓二極管串聯(lián)而成;

第二支路,所述第二支路一端接第一電源、另一端接地,所述第二支路包括至少一個(gè)第二普通二極管串聯(lián)而成;

所述第一支路與所述第二支路并聯(lián)。

可選的,在所述的單向低電容TVS器件中,所述單向低電容TVS器件還包括:

第三支路,所述第三支路一端接第二電源、另一端接地,所述第三支路包括至少兩個(gè)第一普通二極管及一個(gè)穩(wěn)壓二極管串聯(lián)而成;

第四支路,所述第四支路一端接第二電源、另一端接地,所述第四支路包括至少一個(gè)第二普通二極管串聯(lián)而成;

所述第三支路與所述第四支路并聯(lián)。

可選的,在所述的單向低電容TVS器件中,當(dāng)所述第一電源加正電位,所述地加負(fù)電位時(shí),所述第一電源對所述地的反向擊穿電壓為:VBR=2*Vf10+V14,其中,VBR為所述第一電源對所述地的反向擊穿電壓,Vf10為所述第一普通二極管的壓降,V14為所述穩(wěn)壓二極管的電壓。

可選的,在所述的單向低電容TVS器件中,當(dāng)所述第一電源加負(fù)電位,所述地加正電位時(shí),所述第一電源對所述地的正向壓降為:Vf=Vf12,其中,Vf為所述第一電源對所述地的正向壓降,Vf12為所述第二普通二極管的壓降。

可選的,在所述的單向低電容TVS器件中,所述第一電源對地的電容為0.15pF~0.25pF。

可選的,在所述的單向低電容TVS器件中,所述第一電源對地的正向ESD和反向ESD均為8kV~9kV。

可選的,在所述的單向低電容TVS器件中,當(dāng)所述第二電源加正電位,所述地加負(fù)電位時(shí),所述第二電源對所述地的反向擊穿電壓為:VBR=2*Vf10+V14,其中,VBR為所述第二電源對所述地的反向擊穿電壓,Vf10為所述第一普通二極管的壓降,V14為所述穩(wěn)壓二極管的電壓。

可選的,在所述的單向低電容TVS器件中,當(dāng)所述第二電源加負(fù)電位,所述地加正電位時(shí),所述第二電源對所述地的正向壓降為:Vf=Vf12,其中,Vf為所述第二電源對所述地的正向壓降,Vf12為所述第二普通二極管的壓降。

可選的,在所述的單向低電容TVS器件中,所述第二電源對地的電容為0.15pF~0.25pF。

可選的,在所述的單向低電容TVS器件中,所述第二電源對地的正向ESD和反向ESD均為8kV~9kV。

可選的,在所述的單向低電容TVS器件中,所述第一普通二極管和所述第二普通二極管的電容值均小于0.5pF。

可選的,在所述的單向低電容TVS器件中,所述穩(wěn)壓二極管的擊穿電壓為3.3V~7.0V。

可選的,在所述的單向低電容TVS器件中,在所述第一支路中,所述第一普通二極管至多三個(gè);在所述第二支路中,所述第二普通二極管至多三個(gè)。

可選的,在所述的單向低電容TVS器件中,在所述第三支路中,所述第一普通二極管至多三個(gè);在所述第四支路中,所述第二普通二極管至多三個(gè)。

在本實(shí)用新型提供的單向低電容TVS器件中,通過第一支路與第二支路并聯(lián),所述第一支路一端接第一電源、另一端接地,所述第一支路包括至少兩個(gè)第一普通二極管及一個(gè)穩(wěn)壓二極管串聯(lián)而成,所述第二支路一端接第一電源、另一端接地,所述第二支路包括至少一個(gè)第二普通二極管串聯(lián)而成,由此,相較于現(xiàn)有技術(shù)的單向低電容TVS器件能夠較大的減小電容,一般至少能夠降低至現(xiàn)有電容的四分之三。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有的單向低電容TVS器件的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例一的單向低電容TVS器件的一結(jié)構(gòu)示意圖;

圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例一的單向低電容TVS器件的另一結(jié)構(gòu)示意圖;

圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例二的單向低電容TVS器件的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本實(shí)用新型提出的單向低電容TVS器件作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書,本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是,附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例,僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。

【實(shí)施例一】

請參考圖2,其為本實(shí)用新型實(shí)施例一的單向低電容TVS器件的一結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示,在本申請實(shí)施例中,所述單向低電容TVS器件1包括:第一支路A1,所述第一支路一端接第一電源Vcc、另一端接地GND,所述第一支路A1包括至少兩個(gè)第一普通二極管10及一個(gè)穩(wěn)壓二極管14串聯(lián)而成;第二支路A2,所述第二支路A2一端接第一電源Vcc、另一端接地GND,所述第二支路A2包括至少一個(gè)第二普通12二極管串聯(lián)而成;所述第一支路A1與所述第二支路A2并聯(lián)。

進(jìn)一步的,所述第一支路A1包括兩個(gè)第一普通二極管10及一個(gè)穩(wěn)壓二極管14,其中,第一個(gè)第一普通二極管10的負(fù)極與第二個(gè)第一普通二極管10的正極連接,第二個(gè)普通二極管10的負(fù)極與所述穩(wěn)壓二極管14連接。在本申請的其他實(shí)施例中,所述第一支路A1可以包括更多個(gè)第一普通二極管10,例如三個(gè)(如圖3所示)。在此,所述第二支路A2包括一個(gè)第二普通12。

其中,在第一支路A1中,第一個(gè)第一普通二極管10的正極與第一電源Vcc連接,穩(wěn)壓二極管14的正極與地GND連接;在第二支路A2中,第二普通二極管12的負(fù)極與第一電源Vcc連接,第二普通二極管12的正極與地GND連接。

優(yōu)選的,在第一支路A1中,所述第一普通二極管10至多三個(gè);在第二支路A2中,所述第二普通12二極管至多三個(gè)。從而既能夠得到非常低的等效電容,又能夠避免產(chǎn)生較高的漏電流。

優(yōu)選的,所述第一普通二極管10和所述第二普通二極管12的電容值均小于0.5pF。所述穩(wěn)壓二極管14的擊穿電壓為3.3V~7.0V。在所述單向低電容TVS器件1中,第一電源Vcc對地GND的電容為0.15pF~0.25pF,第一電源Vcc對地GND的正向ESD和反向ESD均為8kV~9kV。

在此,通過第一支路A1與第二支路A2并聯(lián),所述第一支路A1一端接第一電源Vcc、另一端接地GND,所述第一支路A1包括至少兩個(gè)第一普通二極管10及一個(gè)穩(wěn)壓二極管14串聯(lián)而成,所述第二支路A2一端接第一電源Vcc、另一端接地GND,所述第二支路A2包括至少一個(gè)第二普通二極管12串聯(lián)而成,由此,相較于現(xiàn)有技術(shù)的單向低電容TVS器件能夠較大的減小電容,一般能夠降低至現(xiàn)有電容的四分之三。

具體的,第一電源Vcc對地GND的電容值CT可以表示為CT≈0.5*C10+C12,如果C10(第一普通二極管10的電容值)和C12(第二普通二極管12的電容值)相同,則圖2的電容只有圖1的電容的四分之三。因此,當(dāng)圖1的電容做到0.3pF時(shí),圖2的電容可以做到0.2pF左右。

當(dāng)?shù)谝浑娫碫cc加正電位,地GND加負(fù)電位時(shí):VBR=2*Vf10+V14,即第一電源Vcc對地GND的反向擊穿電壓可以表示為兩倍的第一普通二極管10的壓降和穩(wěn)壓二級管的電壓之和。

當(dāng)?shù)谝浑娫碫cc加負(fù)電位,地GND加正電位時(shí):Vf=Vf12,即第一電源Vcc對地GND的正向壓降可以表示為第二普通二極管12的壓降。

【實(shí)施例二】

請參考圖4,其為本實(shí)用新型實(shí)施例二的單向低電容TVS器件的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖4所示,在本申請實(shí)施例中,所述單向低電容TVS器件2包括:第一支路B1,所述第一支路B1一端接第一電源Vcc1、另一端接地GND,所述第一支路B1包括至少兩個(gè)第一普通二極管20及一個(gè)穩(wěn)壓二極管24串聯(lián)而成;第二支路B2,所述第二支路B2一端接第一電源Vcc1、另一端接地GND,所述第二支路B2包括至少一個(gè)第二普通二極管22串聯(lián)而成;所述第一支路B1與所述第二支路B2并聯(lián);第三支路B3,所述第三支路B3一端接第二電源Vcc2、另一端接地GND,所述第三支路B3包括至少兩個(gè)第一普通二極管20及一個(gè)穩(wěn)壓二極管串聯(lián)24而成;第四支路B4,所述第四支路B4一端接第二電源Vcc2、另一端接地GND,所述第四支路B4包括至少一個(gè)第二普通二極管22串聯(lián)而成;所述第三支路B3與所述第四支路B4并聯(lián)。

進(jìn)一步的,所述第一支路B1包括兩個(gè)第一普通二極管20及一個(gè)穩(wěn)壓二極管24,其中,第一個(gè)第一普通二極管20的負(fù)極與第二個(gè)第一普通二極管20的正極連接,第二個(gè)普通二極管20的負(fù)極與所述穩(wěn)壓二極管24連接。在本申請的其他實(shí)施例中,所述第一支路B1可以包括更多個(gè)第一普通二極管20,例如三個(gè)。在此,所述第二支路B2包括一個(gè)第二普通22。

其中,在第一支路B1中,第一個(gè)第一普通二極管20的正極與第一電源Vcc1連接,穩(wěn)壓二極管24的正極與地GND連接;在第二支路B2中,第二普通二極管22的負(fù)極與第一電源Vcc1連接,第二普通二極管22的正極與地GND連接。

所述第三支路B3包括兩個(gè)第一普通二極管20及一個(gè)穩(wěn)壓二極管24,其中,第一個(gè)第一普通二極管20的負(fù)極與第二個(gè)第一普通二極管20的正極連接,第二個(gè)普通二極管20的負(fù)極與所述穩(wěn)壓二極管24連接。在本申請的其他實(shí)施例中,所述第三支路B3可以包括更多個(gè)第一普通二極管20,例如三個(gè)。在此,所述第四支路B4包括一個(gè)第二普通22。在本申請實(shí)施例中,所述穩(wěn)壓二極管24被所述第一支路B1和所述第三支路B3復(fù)用。

其中,在第三支路B3中,第一個(gè)第一普通二極管20的正極與第二電源Vcc2連接,穩(wěn)壓二極管24的正極與地GND連接;在第四支路B4中,第二普通二極管22的負(fù)極與第二電源Vcc2連接,第二普通二極管22的正極與地GND連接。

優(yōu)選的,在所述第一支路B1中,所述第一普通二極管20至多三個(gè);在所述第二支路B2中,所述第二普通二極管22至多三個(gè);在所述第三支路B3中,所述第一普通二極管20至多三個(gè);在所述第四支路B4中,所述第二普通二極管22至多三個(gè)。從而既能夠得到非常低的等效電容,又能夠避免產(chǎn)生較高的漏電流。

優(yōu)選的,所述第一普通二極管20和所述第二普通二極管22的電容值均小于0.5pF。所述穩(wěn)壓二極管24的擊穿電壓為3.3V~7.0V。在所述單向低電容TVS器件2中,所述第一電源Vcc1和所述第二電源Vcc2對地GND的電容均為0.15pF~0.25pF,所述第一電源Vcc1和所述第二電源Vcc2對地GND的正向ESD和反向ESD均為8kV~9kV。

在此,通過第一支路B1與第二支路B2并聯(lián),所述第一支路B1一端接第一電源、另一端接地GND,所述第一支路B1包括至少兩個(gè)第一普通二極管20及一個(gè)穩(wěn)壓二極管24串聯(lián)而成,所述第二支路B2一端接第一電源、另一端接地GND,所述第二支路B2包括至少一個(gè)第二普通二極管22串聯(lián)而成;第三支路B3與第四支路B4并聯(lián),所述第三支路B3一端接第二電源Vcc2、另一端接地GND,所述第三支路B3包括至少兩個(gè)第一普通二極管20及一個(gè)穩(wěn)壓二極管串聯(lián)24而成,所述第四支路B4一端接第二電源Vcc2、另一端接地GND,所述第四支路B4包括至少一個(gè)第二普通二極管22串聯(lián)而成,由此,相較于現(xiàn)有技術(shù)的單向低電容TVS器件能夠較大的減小電容,一般能夠降低至現(xiàn)有電容的四分之三。

具體的,第一電源Vcc1對地GND的電容值CT可以表示為CT≈0.5*C10+C12,同樣的,第二電源Vcc2對地GND的電容值CT可以表示為CT≈0.5*C10+C12,如果C10(第一普通二極管10的電容值)和C12(第二普通二極管12的電容值)相同,則圖4的電容只有圖1的電容的四分之三。因此,當(dāng)圖1的電容做到0.3pF時(shí),圖4的電容可以做到0.2pF左右。

當(dāng)?shù)谝浑娫碫cc1加正電位,地GND加負(fù)電位時(shí):VBR=2*Vf10+V14,即第一電源Vcc1對地GND的反向擊穿電壓可以表示為兩倍的第一普通二極管10的壓降和穩(wěn)壓二級管的電壓之和;同樣的,當(dāng)?shù)诙娫碫cc2加正電位,地GND加負(fù)電位時(shí):VBR=2*Vf10+V14,即第二電源Vcc2對地GND的反向擊穿電壓可以表示為兩倍的第一普通二極管10的壓降和穩(wěn)壓二級管的電壓之和

當(dāng)?shù)谝浑娫碫cc1加負(fù)電位,地GND加正電位時(shí):Vf=Vf12,即第一電源Vcc1對地GND的正向壓降可以表示為第二普通二極管12的壓降;同樣的,當(dāng)?shù)诙娫碫cc2加負(fù)電位,地GND加正電位時(shí):Vf=Vf12,即第二電源Vcc2對地GND的正向壓降可以表示為第二普通二極管12的壓降。

上述描述僅是對本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的描述,并非對本實(shí)用新型范圍的任何限定,另外此結(jié)構(gòu)還可延伸到多個(gè)通道的單向低電容產(chǎn)品。本實(shí)用新型領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾,均屬于權(quán)利要求書的保護(hù)范圍。

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