本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別涉及一種晶邊位置調(diào)整裝置。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體制造過程中，對(duì)于晶圓的檢查非常普遍，也十分重要。通過對(duì)晶圓的檢查能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)半導(dǎo)體制造工藝中可能存在的問題，從而可以盡快加以解決，盡量防止半導(dǎo)體制造工藝中的缺漏對(duì)于產(chǎn)品的影響；此外，通過對(duì)晶圓的檢查也能夠防止缺陷產(chǎn)品流入市場(chǎng)，保證了產(chǎn)品質(zhì)量。

在半導(dǎo)體制造過程中，針對(duì)晶圓的晶邊狀況(如：晶邊顏色異常、晶邊粗糙度異常、晶邊存在小洞或晶邊破損缺角等等)的檢查，通常是操作人員通過目測(cè)去檢查，如操作人員將每片晶圓的晶邊手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)360度來完成晶邊狀況的檢查。另外，在有些特殊半導(dǎo)體工藝中，晶圓在進(jìn)入下一流程之前，還需要操作人員手動(dòng)對(duì)位晶圓的特殊位置(如平邊)。

然而，目前行業(yè)內(nèi)并無標(biāo)準(zhǔn)的輔助裝置去協(xié)助產(chǎn)線人員調(diào)整晶圓的晶邊位置，因此在半導(dǎo)體制造過程中，晶圓的晶邊檢查會(huì)給操作人員帶來很多的不便，不僅非常費(fèi)時(shí)費(fèi)力，而且存在容易造成承載盒或者晶圓滑落等風(fēng)險(xiǎn)，大大降低了工作效率和安全性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種晶邊位置調(diào)整裝置，可以有效的協(xié)助操作人員調(diào)整晶圓的晶邊位置，有利于操作人員更加快速便捷的完成晶圓的晶邊檢查過程，提高工作效率，增加良好的可靠性和安全性。

為解決上述技術(shù)問題及相關(guān)問題，本實(shí)用新型提供的晶邊位置調(diào)整裝置，至少一片晶圓放置于一承載盒中，包括：

一支撐座，所述承載盒放置于所述支撐座上；

一轉(zhuǎn)動(dòng)組件，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件安裝在所述支撐座上，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件帶動(dòng)所述晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)。

可選的，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括滾輪部件，所述滾輪部件安裝在所述支撐座上，且位于所述晶圓的下方。

進(jìn)一步的，所述承載盒具有一下開口，所述滾輪部件位于所述下開口的正下方。

可選的，所述滾輪部件包括至少一個(gè)主滾輪，且每個(gè)所述主滾輪中均嵌入一個(gè)可旋轉(zhuǎn)的主螺桿。

可選的，所述滾輪部件還包括至少一個(gè)副滾輪，且每個(gè)所述副滾輪中均嵌入一個(gè)可旋轉(zhuǎn)的副螺桿。

可選的，在所述晶邊位置調(diào)整裝置中，所述副滾輪轉(zhuǎn)軸與所述主滾輪的轉(zhuǎn)軸相互平行。

可選的，所述滾輪部件還包括至少一對(duì)滾珠軸承，所述滾珠軸承固定在所述支撐座上，且每個(gè)所述副螺桿的兩端均插入所述滾珠軸承中。

進(jìn)一步的，在所述晶邊位置調(diào)整裝置中，所述副滾輪的直徑小于所述主滾輪的直徑。

可選的，在所述晶邊位置調(diào)整裝置中，所述副滾輪在所述支撐座上的安裝位置高于所述主滾輪在所述支撐座上的安裝位置。

進(jìn)一步的，所述滾輪部件包括一個(gè)所述主滾輪和兩個(gè)所述副滾輪。

可選的，在所述晶邊位置調(diào)整裝置中，兩個(gè)所述副滾輪分別位于所述主滾輪的兩側(cè)。

可選的，在所述晶邊位置調(diào)整裝置中，一個(gè)所述主滾輪和兩個(gè)所述副滾輪貼合所述晶圓的晶邊。

可選的，在所述晶邊位置調(diào)整裝置中，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件還包括一轉(zhuǎn)動(dòng)控制部件，所述轉(zhuǎn)動(dòng)控制部件與所述滾輪部件相連且控制所述滾輪部件的轉(zhuǎn)動(dòng)。

可選的，所述轉(zhuǎn)動(dòng)控制部件包括一旋轉(zhuǎn)部件、一安裝于所述旋轉(zhuǎn)部件上的手柄、以及一分別連接所述主螺桿和所述旋轉(zhuǎn)部件的連接件。

可選的，在所述晶邊位置調(diào)整裝置中，所述手柄通過一螺絲與所述旋轉(zhuǎn)部件相連。

可選的，在所述晶邊位置調(diào)整裝置中，所述連接件為一銷或者一螺絲。所述晶邊位置調(diào)整裝置。

進(jìn)一步的，在所述晶邊位置調(diào)整裝置中，所述支撐座具有一凹槽，所述承載盒的下開口位于所述凹槽中，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件安裝在所述凹槽內(nèi)。

可選的，在所述晶邊位置調(diào)整裝置中，所述主螺桿的兩端均穿過所述凹槽中相對(duì)立的兩個(gè)側(cè)面。

進(jìn)一步的，在所述晶邊位置調(diào)整裝置中，所述副螺桿的兩端均穿過所述相對(duì)立的兩個(gè)側(cè)面。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果：

本實(shí)用新型通過提供一具有轉(zhuǎn)動(dòng)組件的晶邊位置調(diào)整裝置，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件可以帶動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)。于是，在進(jìn)行晶邊狀況檢查時(shí)，就不再需要操作人員通過手動(dòng)去轉(zhuǎn)動(dòng)每片晶圓，而是通過所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件帶動(dòng)所有晶圓的轉(zhuǎn)動(dòng)，操作人員可以一次性檢查完一承載盒中的所有晶圓的晶邊狀況，這樣可以大大提高操作人員的工作效率，并且，所述晶邊位置調(diào)整裝置操作簡(jiǎn)易、安全，可以避免因人為因素而導(dǎo)致承載盒或者晶圓滑落的風(fēng)險(xiǎn)。

進(jìn)一步的，所述晶邊位置調(diào)整裝置的轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括滾輪部件，所述滾輪部件包括一個(gè)主滾輪和兩個(gè)副滾輪，兩個(gè)所述副滾輪位于所述主滾輪的兩側(cè)，且所述副滾輪的轉(zhuǎn)軸與所述主滾輪的轉(zhuǎn)軸相互平行，三者都貼合所述晶圓的晶邊，即三者形成一個(gè)向下的圓弧面，模擬所述晶圓的晶邊弧形。因一個(gè)所述主滾輪和兩個(gè)所副滾輪組成的所述滾輪部件具有良好的旋轉(zhuǎn)能力，使得所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件帶動(dòng)所述晶圓旋轉(zhuǎn)更加順暢，且有利于保護(hù)所述晶圓的晶邊；也能夠進(jìn)一步提高操作人員的工作效率和降低風(fēng)險(xiǎn)。

附圖說明

圖1為放置有晶圓的承載盒的示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中所述晶邊位置調(diào)整裝置的立體結(jié)構(gòu)圖；

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例中所述晶邊位置調(diào)整裝置的俯視圖；

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例中所述晶邊位置調(diào)整裝置的前視圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合示意圖對(duì)本實(shí)用新型晶邊位置調(diào)整裝置進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型，而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。

在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實(shí)用新型。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。

本實(shí)用新型的核心思想在于，本實(shí)用新型提供的晶邊位置調(diào)整裝置，至少一片晶圓放置于一承載盒中，包括：

一支撐座，所述承載盒放置于所述支撐座上；

一轉(zhuǎn)動(dòng)組件，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件安裝在所述支撐座上，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件帶動(dòng)所述晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)。

本實(shí)用新型通過提供一具有轉(zhuǎn)動(dòng)組件的晶邊位置調(diào)整裝置，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件可以帶動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)。于是，在進(jìn)行晶邊狀況檢查時(shí)，就不再需要操作人員通過手動(dòng)去轉(zhuǎn)動(dòng)每片晶圓，而是通過所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件帶動(dòng)所有晶圓的轉(zhuǎn)動(dòng)，操作人員可以一次性檢查完一承載盒中的所有晶圓的晶邊狀況，這樣可以大大提高操作人員的工作效率，并且，所述晶邊位置調(diào)整裝置操作簡(jiǎn)易、安全，可以避免因人為因素而導(dǎo)致承載盒或者晶圓滑落的風(fēng)險(xiǎn)。

以下列舉所述晶邊位置調(diào)整裝置的實(shí)施例，以清楚說明本實(shí)用新型的內(nèi)容，應(yīng)當(dāng)明確的是，本實(shí)用新型的內(nèi)容并不限制于以下實(shí)施例，其他通過本領(lǐng)域普通技術(shù)人員的常規(guī)技術(shù)手段的改進(jìn)亦在本實(shí)用新型的思想范圍之內(nèi)。

請(qǐng)參閱圖1至圖4，其中，圖1為放置有晶圓的承載盒(Cassette)的示意圖，圖2為本實(shí)施例中提供的一種晶邊位置調(diào)整裝置的立體結(jié)構(gòu)圖，圖3為本實(shí)施例中所述晶邊位置調(diào)整裝置的俯視圖，圖4為本實(shí)施例中所述晶邊位置調(diào)整裝置的前視圖，所述晶邊位置調(diào)整裝置用于調(diào)整晶圓的晶邊位置，以便于檢查晶邊狀況。如圖1所示，至少一片晶圓2放置于一承載盒1中，較佳的，所述承載盒1具有一下開口A(傳統(tǒng)的晶邊狀況檢查過程為：操作人員對(duì)放置于承載盒1中的每片晶圓2的晶邊手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)360度來完成此檢查，如圖1中箭頭所示)。所述晶邊位置調(diào)整裝置包括：一支撐座30，所述支撐座30用于承載所述承載盒1和晶圓2，因考慮到所述晶圓2和所述承載盒1具有一定的重量，所述支撐座30的材料應(yīng)該選用耐壓的材料，如可以為耐壓的樹脂材料或金屬材料，所述支撐座30的具體結(jié)構(gòu)可依據(jù)所述承載盒1的大小和形狀(即實(shí)際需求)來設(shè)計(jì)。較佳的，在本實(shí)施例中，所述支撐座30可以為一長(zhǎng)方體形狀，為了進(jìn)一步穩(wěn)固所述承載盒1，增加所述晶邊位置調(diào)整裝置的可靠性和安全性，在所述支撐座30的中間設(shè)計(jì)一凹槽B，檢查所述晶圓2的晶邊狀況時(shí)，將所述承載盒1的下開口A放置于所述凹槽B中。

進(jìn)一步的，所述晶邊位置調(diào)整裝置還包括一轉(zhuǎn)動(dòng)組件，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件安裝在所述支撐座30上，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件帶動(dòng)所述晶圓2轉(zhuǎn)動(dòng)；相應(yīng)的，在本實(shí)施例中，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件安裝于所述支撐座30的凹槽B中。所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件需要要具有良好的旋轉(zhuǎn)能力、能夠靈活控制和操作，于是，在本實(shí)施例中，優(yōu)選所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括一滾輪部件，為了更好的實(shí)現(xiàn)晶邊位置的調(diào)整，將所述滾輪部件設(shè)置于所述下開口A的正下方，所述滾輪部件包括至少一個(gè)主滾輪311，且每個(gè)所述主滾輪311中均嵌入一個(gè)可旋轉(zhuǎn)的主螺桿310，為了使該裝置更加牢固耐用，將所述主螺桿310的兩端分別穿過所述凹槽B中相對(duì)立的兩個(gè)側(cè)面(如所述凹槽B中的前后兩個(gè)面)。

較佳的，在本實(shí)施例中，為了使所述晶圓2轉(zhuǎn)動(dòng)的更加平穩(wěn)和順暢，所述滾輪部件還包括至少一個(gè)副滾輪331，且每個(gè)所述副滾輪331中均嵌入一個(gè)可旋轉(zhuǎn)的副螺桿330。例如：所述滾輪部件包括一個(gè)所述主滾輪311和兩個(gè)所述副滾輪331，兩個(gè)所述副滾輪331分別位于所述主滾輪311的兩側(cè)，而且，為了使所述晶圓2的晶邊受力方向一致，所述副滾輪331的轉(zhuǎn)軸與所述主滾輪311的轉(zhuǎn)軸相互平行，且所述副滾輪331在所述凹槽B中的安裝位置要高于所述主滾輪311的安裝位置，且使三者都貼合所述晶圓2的晶邊，即三者形成一向下的圓弧面；進(jìn)一步的，所述副滾輪331的直徑小于所述主滾輪311的直徑，有利于所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件更加流暢的轉(zhuǎn)動(dòng)。而且，所述主滾輪311通過所述主螺桿310的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)其旋轉(zhuǎn)，所述副滾輪331通過所述副螺桿330的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)其旋轉(zhuǎn)；更進(jìn)一步的，每個(gè)所述副螺桿330配置一對(duì)滾珠軸承332，所述滾珠軸承332固定在所述支撐座30上(具體的，所述滾珠軸承332固定在所述凹槽B的內(nèi)側(cè)面上)，且每個(gè)所述副螺桿330的兩端均插入所述滾珠軸承332中，且所述副螺桿330的兩端也穿過所述凹槽B中的前后兩個(gè)面，所述滾珠軸承332可以帶動(dòng)所述副螺桿330的轉(zhuǎn)動(dòng)。

為了更加方便操作和控制所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件，在本實(shí)施例中，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件還包括一轉(zhuǎn)動(dòng)控制部件32，所述轉(zhuǎn)動(dòng)控制部件32與所述滾輪部件相連且控制其轉(zhuǎn)動(dòng)，較佳的，所述轉(zhuǎn)動(dòng)控制部件32與所述主螺桿310的一端相連。

在本實(shí)施例中，所述轉(zhuǎn)動(dòng)控制部件32是用于控制所述主螺桿310轉(zhuǎn)動(dòng)的，為了便于操作，所述轉(zhuǎn)動(dòng)控制部件32安裝于所述支撐座30的正面(即所述凹槽B的前面)，在本實(shí)施例中，所述轉(zhuǎn)動(dòng)控制部件32包括一旋轉(zhuǎn)部件320、一安裝于所述旋轉(zhuǎn)部件320上的手柄321、以及一分別連接所述主螺桿310和所述旋轉(zhuǎn)部件320的連接件322。較佳的，所述手柄321選擇側(cè)翼安裝、采用內(nèi)握的方式，能夠增加使用中良好的可靠性和安全性；所述手柄321即可以順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，也可以逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，所述手柄321可以通過一內(nèi)六角螺絲安裝在所述旋轉(zhuǎn)部件320上。所述旋轉(zhuǎn)部件320用于承受所述手柄321的旋轉(zhuǎn)力量以通過所述連接件322帶動(dòng)所述主螺桿310旋轉(zhuǎn)。所述連接件322可以為銷或者內(nèi)六角螺絲，將所述旋轉(zhuǎn)部件320和所述主螺桿310相連，所述連接件322起到連接和固定的作用。

這樣，通過轉(zhuǎn)動(dòng)所述手柄321便可帶動(dòng)所述主螺桿310的轉(zhuǎn)動(dòng)，于是所述主滾輪311就會(huì)在所述主螺桿310的帶動(dòng)下進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，以帶動(dòng)晶圓2轉(zhuǎn)動(dòng)；同時(shí)，所述滾珠軸承332可帶動(dòng)所述副螺桿330轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)所述副滾輪331的轉(zhuǎn)動(dòng)。因此，在本實(shí)施例中的所述晶邊位置調(diào)整裝置中，在所述主滾輪311和所述副滾輪331的共同作用下，所述承載盒1中所有的晶圓2會(huì)很穩(wěn)定的一起進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，操作人員只需要控制所述手柄321，就能完成所有所述晶圓2的晶邊狀況的檢查，操作簡(jiǎn)易方便，大大提高了操作人員的工作效率；并且也能夠避免承載盒或者晶圓的滑落風(fēng)險(xiǎn)，增加了操作的可靠性和安全性；此外，所述晶邊位置調(diào)整裝置也可以滿足調(diào)整所述晶圓2的特殊位置的需求。

綜上，本實(shí)用新型通過提供一具有轉(zhuǎn)動(dòng)組件的晶邊位置調(diào)整裝置，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件可以帶動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)。于是，在進(jìn)行晶邊狀況檢查時(shí)，就不再需要操作人員通過手動(dòng)去轉(zhuǎn)動(dòng)每片晶圓，而是通過所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件帶動(dòng)所有晶圓的轉(zhuǎn)動(dòng)，操作人員可以一次性檢查完一承載盒中的所有晶圓的晶邊狀況，這樣可以大大提高操作人員的工作效率，并且，所述晶邊位置調(diào)整裝置操作簡(jiǎn)易、安全，可以避免因人為因素而導(dǎo)致承載盒或者晶圓滑落的風(fēng)險(xiǎn)。

進(jìn)一步的，所述晶邊位置調(diào)整裝置的轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括滾輪部件，所述滾輪部件包括一個(gè)主滾輪和兩個(gè)副滾輪，兩個(gè)所述副滾輪位于所述主滾輪的兩側(cè)，且所述副滾輪的轉(zhuǎn)軸與所述主滾輪的轉(zhuǎn)軸相互平行，三者都貼合所述晶圓的晶邊，即三者形成一個(gè)向下的圓弧面，模擬所述晶圓的晶邊弧形。因一個(gè)所述主滾輪和兩個(gè)所副滾輪組成的所述滾輪部件具有良好的旋轉(zhuǎn)能力，使得所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件帶動(dòng)所述晶圓旋轉(zhuǎn)更加順暢，且有利于保護(hù)所述晶圓的晶邊；也能夠進(jìn)一步提高操作人員的工作效率和降低風(fēng)險(xiǎn)。

顯然，在上述實(shí)施例中僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，在上述晶邊位置調(diào)整裝置的基礎(chǔ)上，還能夠得出多種類似的晶邊位置調(diào)整裝置，以實(shí)現(xiàn)協(xié)助操作人員快速便捷的進(jìn)行晶邊位置的調(diào)整。因此，上述實(shí)施例并不用以限制本實(shí)用新型。本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。