1.一種匹配鏈?zhǔn)綌U(kuò)散的刻蝕槽的槽蓋結(jié)構(gòu),其特征在于:包括設(shè)置在刻蝕槽槽體上用于封閉所述槽體的槽蓋(1),該槽蓋(1)包括相互連接且與水平面成一定角度傾斜設(shè)置的第一蓋板(2)和第二蓋板(3)、以及連接在所述第一蓋板(2)和第二蓋板(3)兩端的兩側(cè)板(4),該側(cè)板(4)、第一蓋板(2)、第二蓋板(3)構(gòu)成三棱柱狀空間;所述第一蓋板(2)和第二蓋板(3)上分別設(shè)有抽風(fēng)盒(5),該抽風(fēng)盒(5)的上方設(shè)有至少一個(gè)與外部抽風(fēng)管道相連通的抽風(fēng)管接頭(6),該抽風(fēng)盒(5)的底部與所述槽體內(nèi)部相連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的匹配鏈?zhǔn)綌U(kuò)散的刻蝕槽的槽蓋結(jié)構(gòu),其特征在于:所述抽風(fēng)管接頭(6)具有2個(gè),分別設(shè)置于抽風(fēng)盒(5)兩端。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的匹配鏈?zhǔn)綌U(kuò)散的刻蝕槽的槽蓋結(jié)構(gòu),其特征在于:所述槽蓋(1)的坡角方向與抽風(fēng)管接頭(6)的連線相垂直。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的匹配鏈?zhǔn)綌U(kuò)散的刻蝕槽的槽蓋結(jié)構(gòu),其特征在于:所述抽風(fēng)盒(5)垂直于側(cè)板(4),且與槽蓋(1)的兩端相平齊。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的匹配鏈?zhǔn)綌U(kuò)散的刻蝕槽的槽蓋結(jié)構(gòu),其特征在于:所述抽風(fēng)盒(5)的底部具有倒V型底板(7),該底板(7)上均布有兩排與所述槽體內(nèi)部相連通的若干個(gè)抽風(fēng)孔(8)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的匹配鏈?zhǔn)綌U(kuò)散的刻蝕槽的槽蓋結(jié)構(gòu),其特征在于:所述抽風(fēng)盒(5)上還設(shè)有便于冷凝液排出的導(dǎo)出口(9)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的匹配鏈?zhǔn)綌U(kuò)散的刻蝕槽的槽蓋結(jié)構(gòu),其特征在于:所述第一蓋板(2)與水平面的夾角為30°~80°。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的匹配鏈?zhǔn)綌U(kuò)散的刻蝕槽的槽蓋結(jié)構(gòu),其特征在于:所述第二蓋板(3)與水平面的夾角為30°~80°。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的匹配鏈?zhǔn)綌U(kuò)散的刻蝕槽的槽蓋結(jié)構(gòu),其特征在于:所述第一蓋板(2)和第二蓋板(3)為一體折彎成型結(jié)構(gòu)。