本實用新型涉及集成電路芯片生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種用于集成電路芯片貼膜的真空吸附設(shè)備。

背景技術(shù)：

集成電路芯片封裝生產(chǎn)過程中，晶圓片的厚度通常不能滿足塑封模具的要求，所以需要用減薄磨片機對晶圓片的進行削薄處理。

現(xiàn)有技術(shù)中，由于減薄磨片機無法滿足各種不同規(guī)格的圓片，要使不同規(guī)格的圓片都能在同一的磨片機上加工必須要在待加工的晶圓片面上黏貼一片PVC的薄膜，以保證吸盤與晶圓片密封提高其真空吸力。生產(chǎn)廠家需要尋找一種低成本、安裝方便、對晶圓片造成損傷程度最低的貼膜吸附設(shè)備。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種用于集成電路芯片貼膜的真空吸附設(shè)備，該設(shè)備應(yīng)用于集成電路芯片生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，整機結(jié)構(gòu)簡單成本低、安裝方便、不會損傷晶圓片的表面及電路。

為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型的技術(shù)方案為：

一種用于集成電路芯片貼膜的真空吸附設(shè)備，包括底座、真空發(fā)生器、傳輸氣道、吸盤座及吸盤組件，所述底座上設(shè)有所述真空發(fā)生器及所述吸盤座，所述吸盤座的側(cè)壁開設(shè)有氣道安裝接口，所述吸盤座的頂部開設(shè)有吸盤座安裝接口，所述傳輸氣道的一端與所述真空發(fā)生器密封連接，所述傳輸氣道的另一端與所述氣道安裝接口密封連接，所述吸盤組件與所述吸盤座安裝接口密封連接，所述吸盤組件的中部開設(shè)有氣道口，所述氣道口、所述氣道安裝接口及所述吸盤座安裝接口互相連通。

優(yōu)選地，所述底座還安裝有氣閥開關(guān)，所述氣閥開關(guān)與所述真空發(fā)生器密封連接。

優(yōu)選地，所述吸盤座的頂部兩側(cè)設(shè)有凸形定位塊，所述吸盤組件的底部開設(shè)有凹形槽與所述凸形定位塊相配合固定于所述吸盤座頂部。

優(yōu)選地，所述真空發(fā)生器內(nèi)還安裝有過濾器。

采用上述技術(shù)方案，安裝在底座的真空發(fā)生器、傳輸氣道及吸盤組件相配合構(gòu)成的真空吸附設(shè)備，操作人員只需將裁剪適當?shù)腜VC薄膜放置到吸盤組件上被吸附，晶圓片放置在PVC薄膜上，對晶圓片施加輕微外力既可將晶圓片粘緊在PVC薄膜上，操作人員無需直接接觸晶圓片，不會損傷晶圓片的表面及電路，該設(shè)備只有真空發(fā)生器、傳輸氣道及吸盤組件幾個主要組件，整機結(jié)構(gòu)簡單，安裝方便，成本低。

附圖說明

圖1為本實用新型用于集成電路芯片貼膜的真空吸附設(shè)備的縱剖圖；

圖2為本實用新型用于集成電路芯片貼膜的真空吸附設(shè)備的俯視圖。

圖中，1-底座；2-真空發(fā)生器；3-傳輸氣道；4-吸盤座；5-吸盤組件；6-氣道安裝接口；7-吸盤座安裝接口；8-氣道口；9-氣閥開關(guān)；10-凸形定位塊；11-凹形槽。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式作進一步說明。在此需要說明的是，對于這些實施方式的說明用于幫助理解本實用新型，但并不構(gòu)成對本實用新型的限定。此外，下面所描述的本實用新型各個實施方式中所涉及的技術(shù)特征只要彼此之間未構(gòu)成沖突就可以相互組合。

參照圖1、圖2所示，一種用于集成電路芯片貼膜的真空吸附設(shè)備，包括底座1、真空發(fā)生器2、傳輸氣道3、吸盤座4及吸盤組件5，底座1上設(shè)有真空發(fā)生器2及吸盤座4，吸盤座4的側(cè)壁開設(shè)有氣道安裝接口6，吸盤座4的頂部開設(shè)有吸盤座安裝接口7，傳輸氣道3的一端與真空發(fā)生器2密封連接，傳輸氣道3的另一端與氣道安裝接口6密封連接，吸盤組件5與吸盤座安裝接口7密封連接，吸盤組件5的中部開設(shè)有氣道口8，氣道口8、氣道安裝接口6及吸盤座安裝接口7互相連通。安裝在底座的真空發(fā)生器2、傳輸氣道3及吸盤組件5相配合構(gòu)成的真空吸附設(shè)備，操作人員只需將裁剪適當?shù)腜VC薄膜放置到吸盤組件5上被吸附，晶圓片放置在PVC薄膜上，對晶圓片施加輕微外力既可將晶圓片粘緊在PVC薄膜上，操作人員無需直接接觸晶圓片，避免損傷晶圓片的表面及電路，該設(shè)備只有真空發(fā)生器2、傳輸氣道3及吸盤組件5幾個主要組件，整機結(jié)構(gòu)簡單，安裝方便，成本低。

底座1還安裝有氣閥開關(guān)9，氣閥開關(guān)9與真空發(fā)生器2密封連接。氣閥開關(guān)9配合真空發(fā)生器2使用可應(yīng)對不同產(chǎn)品加工需求方便控制負氣壓大小。

吸盤座4的頂部兩側(cè)設(shè)有凸形定位塊10，吸盤組件5的底部開設(shè)有凹形槽11與凸形定位塊10相配合固定于吸盤座4頂部。吸盤組件5上的凹形槽11配合吸盤座4上凹形定位塊10安裝使吸盤組件5更加穩(wěn)固固定在吸盤座4上。

真空發(fā)生器2內(nèi)還安裝有過濾器(圖中未示出)。真空發(fā)生器2內(nèi)設(shè)置的過濾器有效阻隔塵埃，有效保護真空發(fā)生器2的重要組件。

以上結(jié)合附圖對本實用新型的實施方式作了詳細說明，但本實用新型不限于所描述的實施方式。對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，在不脫離本實用新型原理和精神的情況下，對這些實施方式進行多種變化、修改、替換和變型，仍落入本實用新型的保護范圍內(nèi)。