1.一種DBR卡環(huán)，用于在DBR蒸鍍中與DBR鍍鍋配合固定晶圓，晶圓上具有晶圓平邊，其特征在于，所述DBR卡環(huán)具備卡扣和裙邊，裙邊與卡扣位于卡環(huán)的內(nèi)側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種DBR卡環(huán)，其特征在于，所述DBR卡環(huán)具備卡環(huán)平邊，所述卡環(huán)平邊位置與晶圓平邊位置相對應(yīng)，卡環(huán)平邊長度大于25mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種DBR卡環(huán)，其特征在于，所述DBR卡環(huán)表面為粗化表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種DBR卡環(huán)，其特征在于，所述晶圓表面具有廢點，卡扣位置與廢點位置對應(yīng)，所述卡扣形狀為向卡環(huán)中心方向至少具有一個頂點的圖形。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種DBR卡環(huán)，其特征在于，所述卡扣形狀為三角形或扇形。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種DBR卡環(huán)，其特征在于，所述扇形高H為0.5~5mm，所述扇形底邊直線長度L為0.5~10mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種DBR卡環(huán)，其特征在于，所述DBR卡環(huán)的裙邊為曲線狀，至少覆蓋卡環(huán)內(nèi)側(cè)的四分之一區(qū)域。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種DBR卡環(huán)，其特征在于，所述裙邊的寬度小于卡扣的高度。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種DBR卡環(huán)，其特征在于，所述DBR卡環(huán)的裙邊寬度為0.4~0.8mm。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種DBR卡環(huán)，其特征在于，所述DBR卡環(huán)的厚度為5~10mm。