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集成電路的外觀檢測裝置的制作方法

文檔序號:11352253閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開一種集成電路的外觀檢測裝置用以檢測一料盤的多個集成電路,且包括一直線移動系統(tǒng)、一取料及旋轉(zhuǎn)裝置、及一拍攝系統(tǒng)。取料及旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)連接直線移動系統(tǒng),且吸取料盤上至少兩個集成電路。其中,直線移動系統(tǒng)帶動取料及旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)做直線移動,被吸取的該些集成電路隨取料及旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)直線移動而產(chǎn)生水平旋轉(zhuǎn)。拍攝系統(tǒng)拍攝集成電路的外觀影像。本實用新型集成電路的外觀檢測裝置可以同時吸取多個集成電路,且利用直線輸送中轉(zhuǎn)動該些集成電路,以同時檢測多個集成電路來提高檢測速度。

技術(shù)研發(fā)人員:陳贊仁;郭中一;林揚程;凃俊銘;張中平
受保護的技術(shù)使用者:東捷科技股份有限公司
文檔號碼:201720057621
技術(shù)研發(fā)日:2017.01.17
技術(shù)公布日:2017.09.12

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