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一種用于電子產(chǎn)品制造的晶圓清洗設備的制作方法

文檔序號:12888841閱讀:來源:國知局

技術特征:

技術總結
本發(fā)明涉及一種清洗設備,尤其涉及一種用于電子產(chǎn)品制造的晶圓清洗設備。本發(fā)明要解決的技術問題是提供一種清洗高效,安全性能高的用于電子產(chǎn)品制造的晶圓清洗設備。為了解決上述技術問題,本發(fā)明提供了這樣一種用于電子產(chǎn)品制造的晶圓清洗設備,包括有底板、支桿、清洗框、出液管、閥門、支撐架、頂板、升降機構等;底板頂部中間左右對稱設有支桿,支桿頂端連接有清洗框,清洗框與底板之間連接有旋轉機構,清洗框左壁底部連接有出液管,出液管上設有閥門,底板頂部左右兩端均設有支撐架,支撐架頂端安裝有頂板,頂板底部中間安裝有升降機構,升降機構底部連接有放置框。本發(fā)明達到了操作過程簡單,安全性高的效果。

技術研發(fā)人員:張曉艷
受保護的技術使用者:寧波高瑞照明有限公司
技術研發(fā)日:2017.08.15
技術公布日:2017.11.07
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