本發(fā)明涉及一種清洗設(shè)備，尤其涉及一種用于電子產(chǎn)品制造的晶圓清洗設(shè)備。

背景技術(shù)：

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之ic產(chǎn)品。晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，鹽酸氯化，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，其純度高達99.999999999％。

晶圓表面附著大約2um的al2o3和甘油混合液保護層，在制作前必須進行化學(xué)刻蝕和表面清洗，目前的晶圓清洗過程復(fù)雜，化學(xué)物品比較危險，因此亟需研發(fā)一種清洗高效，安全性能高的用于電子產(chǎn)品制造的晶圓清洗設(shè)備。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

(1)要解決的技術(shù)問題

本發(fā)明為了克服目前的晶圓清洗過程復(fù)雜，化學(xué)物品比較危險的缺點，本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種清洗高效，安全性能高的用于電子產(chǎn)品制造的晶圓清洗設(shè)備。

(2)技術(shù)方案

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了這樣一種用于電子產(chǎn)品制造的晶圓清洗設(shè)備，包括有底板、支桿、清洗框、出液管、閥門、支撐架、頂板、升降機構(gòu)、放置框、隔欄、風(fēng)干機構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，底板頂部中間左右對稱設(shè)有支桿，支桿頂端連接有清洗框，清洗框與底板之間連接有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，清洗框左壁底部連接有出液管，出液管上設(shè)有閥門，底板頂部左右兩端均設(shè)有支撐架，支撐架頂端安裝有頂板，頂板底部中間安裝有升降機構(gòu)，升降機構(gòu)底部連接有放置框，放置框內(nèi)設(shè)有隔欄，支撐架內(nèi)側(cè)中間安裝有風(fēng)干機構(gòu)。

優(yōu)選地，升降機構(gòu)包括有導(dǎo)向板、第一電機、第一轉(zhuǎn)軸、第一軸承座、卷線筒、第二軸承座和拉線，頂板底部左側(cè)安裝有導(dǎo)向板，導(dǎo)向板上安裝有第一電機，頂板底部中間安裝有第一軸承座，頂板底部右側(cè)安裝有第二軸承座，第一軸承座和第二軸承座上設(shè)有第一轉(zhuǎn)軸，第一轉(zhuǎn)軸左端與第一電機連接，第一轉(zhuǎn)軸上連接有卷線筒，卷線筒位于第一軸承座和第二軸承座之間，卷線筒上繞有拉線，導(dǎo)向板右側(cè)開有導(dǎo)向孔，拉線穿過導(dǎo)向孔，并連接有放置框。

優(yōu)選地，風(fēng)干機構(gòu)包括有第一固定桿、環(huán)形滑軌、滑塊、安裝座、連接桿、風(fēng)機、第二電機、第二轉(zhuǎn)軸、齒輪、內(nèi)齒圈和固定桿，左右支撐架內(nèi)側(cè)中間均安裝有固定桿，固定桿末端連接有環(huán)形滑軌，環(huán)形滑軌上滑動式連接有滑塊，滑塊內(nèi)側(cè)連接有安裝座，安裝座內(nèi)側(cè)連接有連接桿，安裝座內(nèi)端連接有風(fēng)機，安裝座頂部連接有第二電機，第二電機頂部連接有第二轉(zhuǎn)軸，第二轉(zhuǎn)軸上連接有齒輪，環(huán)形滑軌頂部連接有內(nèi)齒圈，內(nèi)齒圈與齒輪嚙合。

優(yōu)選地，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括有第三電機、第三轉(zhuǎn)軸、第三軸承座、旋轉(zhuǎn)葉片、網(wǎng)板和密封圈，底板頂部右側(cè)安裝有第三電機，第三電機位于兩個支桿之間，清洗框底部中間設(shè)有第三軸承座，第三軸承座上設(shè)有第三轉(zhuǎn)軸，第三轉(zhuǎn)軸底端與第三電機連接，第三轉(zhuǎn)軸頂端連接有旋轉(zhuǎn)葉片，清洗框內(nèi)壁下部安裝有網(wǎng)板，網(wǎng)板位于旋轉(zhuǎn)葉片上部，第三軸承座頂部設(shè)有密封圈。

優(yōu)選地，第一電機和第二電機為伺服電機。

優(yōu)選地，旋轉(zhuǎn)葉片為不銹鋼。

工作原理：當(dāng)電子產(chǎn)品制造的晶圓需要清洗時，將晶圓放在放置框內(nèi)的隔欄上，工人通過控制升降機構(gòu)將放置框放入清洗框內(nèi)，往清洗框內(nèi)倒入清洗液，再控制旋轉(zhuǎn)機構(gòu)攪動清洗框內(nèi)的清洗液清洗晶圓，當(dāng)清洗達標(biāo)后，工人控制旋轉(zhuǎn)機構(gòu)停止工作，并控制升降機構(gòu)將放置框緩慢拉升離開清洗框，在拉升的過程中，控制風(fēng)干機構(gòu)對清洗過的晶圓進行風(fēng)干，風(fēng)干后的晶圓就可以取出，操作過程簡單，安全性高。

因為升降機構(gòu)包括有導(dǎo)向板、第一電機、第一轉(zhuǎn)軸、第一軸承座、卷線筒、第二軸承座和拉線，頂板底部左側(cè)安裝有導(dǎo)向板，導(dǎo)向板上安裝有第一電機，頂板底部中間安裝有第一軸承座，頂板底部右側(cè)安裝有第二軸承座，第一軸承座和第二軸承座上設(shè)有第一轉(zhuǎn)軸，第一轉(zhuǎn)軸左端與第一電機連接，第一轉(zhuǎn)軸上連接有卷線筒，卷線筒位于第一軸承座和第二軸承座之間，卷線筒上繞有拉線，導(dǎo)向板右側(cè)開有導(dǎo)向孔，拉線穿過導(dǎo)向孔，并連接有放置框，當(dāng)電子產(chǎn)品制造的晶圓需要清洗時，將晶圓放在放置框內(nèi)的隔欄上，工人控制第一電機順時針轉(zhuǎn)動，第一電機帶動第一轉(zhuǎn)軸順時針轉(zhuǎn)動，第一轉(zhuǎn)軸帶動卷線筒順時針轉(zhuǎn)動，卷線筒轉(zhuǎn)動放下拉線，放置框由于重力的作用向下運動，當(dāng)放置框完全進入清洗框內(nèi)時，控制第一電機停止轉(zhuǎn)動，當(dāng)晶圓清洗達標(biāo)時，控制第一電機逆時針轉(zhuǎn)動，第一電機帶動第一轉(zhuǎn)軸逆時針轉(zhuǎn)動，第一轉(zhuǎn)軸帶動卷線筒逆時針轉(zhuǎn)動，卷線筒卷起拉線，拉線帶動放置框向上運動，直至風(fēng)干機構(gòu)風(fēng)干達標(biāo)，工人控制第一電機停止工作。

因為風(fēng)干機構(gòu)包括有第一固定桿、環(huán)形滑軌、滑塊、安裝座、連接桿、風(fēng)機、第二電機、第二轉(zhuǎn)軸、齒輪、內(nèi)齒圈和固定桿，左右支撐架內(nèi)側(cè)中間均安裝有固定桿，固定桿末端連接有環(huán)形滑軌，環(huán)形滑軌上滑動式連接有滑塊，滑塊內(nèi)側(cè)連接有安裝座，安裝座內(nèi)側(cè)連接有連接桿，安裝座內(nèi)端連接有風(fēng)機，安裝座頂部連接有第二電機，第二電機頂部連接有第二轉(zhuǎn)軸，第二轉(zhuǎn)軸上連接有齒輪，環(huán)形滑軌頂部連接有內(nèi)齒圈，內(nèi)齒圈與齒輪嚙合，當(dāng)經(jīng)驗清洗完畢后，工人控制第二電機轉(zhuǎn)動，第二電機帶動齒輪轉(zhuǎn)動，齒輪沿內(nèi)齒圈內(nèi)轉(zhuǎn)動，齒輪帶動風(fēng)機沿內(nèi)齒圈轉(zhuǎn)動，使得風(fēng)機能夠風(fēng)干所有晶圓，當(dāng)晶圓風(fēng)干達標(biāo)時，停止第二電機轉(zhuǎn)動。

因為旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括有第三電機、第三轉(zhuǎn)軸、第三軸承座、旋轉(zhuǎn)葉片、網(wǎng)板和密封圈，底板頂部右側(cè)安裝有第三電機，第三電機位于兩個支桿之間，清洗框底部中間設(shè)有第三軸承座，第三軸承座上設(shè)有第三轉(zhuǎn)軸，第三轉(zhuǎn)軸底端與第三電機連接，第三轉(zhuǎn)軸頂端連接有旋轉(zhuǎn)葉片，清洗框內(nèi)壁下部安裝有網(wǎng)板，網(wǎng)板位于旋轉(zhuǎn)葉片上部，第三軸承座頂部設(shè)有密封圈，當(dāng)放置框放入清洗框內(nèi)時，倒入清洗液，控制第三電機轉(zhuǎn)動，第三電機帶動第三轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，第三轉(zhuǎn)軸通過第三軸承座帶動旋轉(zhuǎn)葉片轉(zhuǎn)動，旋轉(zhuǎn)葉片攪動清洗液，使得清洗液對晶圓進行清洗，密封圈可以防止清洗液流入第三電機，保證第三電機的安全。

因為第一電機和第二電機為伺服電機，伺服電機能夠提供平穩(wěn)的轉(zhuǎn)速，有利于晶圓的升降和風(fēng)干。

因為旋轉(zhuǎn)葉片的材質(zhì)為不銹鋼，不銹鋼耐腐蝕，延長設(shè)備使用壽命。

(3)有益效果

本發(fā)明達到了操作過程簡單，安全性高的效果。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的主視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本發(fā)明升降機構(gòu)的主視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本發(fā)明風(fēng)干機構(gòu)的主視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本發(fā)明風(fēng)干機構(gòu)的俯視機構(gòu)示意圖。

圖5為本發(fā)明旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的主視結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖中的標(biāo)記為：1-底板，2-支桿，3-清洗框，4-出液管，5-閥門，6-支撐架，7-頂板，8-升降機構(gòu)，81-導(dǎo)向板，82-第一電機，83-第一轉(zhuǎn)軸，84-第一軸承座，85-卷線筒，86-第二軸承座，87-導(dǎo)向孔，88-拉線，9-放置框，10-隔欄，11-風(fēng)干機構(gòu)，111-固定桿，112-環(huán)形滑軌，113-滑塊，114-安裝座，115-連接桿，116-風(fēng)機，117-第二電機，118-第二轉(zhuǎn)軸，119-齒輪，1110-內(nèi)齒圈，12-旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，121-第三電機，122-第三轉(zhuǎn)軸，123-第三軸承座，124-旋轉(zhuǎn)葉片，125-網(wǎng)板，126-密封圈。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步的說明。

實施例1

一種用于電子產(chǎn)品制造的晶圓清洗設(shè)備，如圖1-5所示，包括有底板1、支桿2、清洗框3、出液管4、閥門5、支撐架6、頂板7、升降機構(gòu)8、放置框9、隔欄10、風(fēng)干機構(gòu)11和旋轉(zhuǎn)機構(gòu)12，底板1頂部中間左右對稱設(shè)有支桿2，支桿2頂端連接有清洗框3，清洗框3與底板1之間連接有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)12，清洗框3左壁底部連接有出液管4，出液管4上設(shè)有閥門5，底板1頂部左右兩端均設(shè)有支撐架6，支撐架6頂端安裝有頂板7，頂板7底部中間安裝有升降機構(gòu)8，升降機構(gòu)8底部連接有放置框9，放置框9內(nèi)設(shè)有隔欄10，支撐架6內(nèi)側(cè)中間安裝有風(fēng)干機構(gòu)11。

實施例2

一種用于電子產(chǎn)品制造的晶圓清洗設(shè)備，如圖1-5所示，包括有底板1、支桿2、清洗框3、出液管4、閥門5、支撐架6、頂板7、升降機構(gòu)8、放置框9、隔欄10、風(fēng)干機構(gòu)11和旋轉(zhuǎn)機構(gòu)12，底板1頂部中間左右對稱設(shè)有支桿2，支桿2頂端連接有清洗框3，清洗框3與底板1之間連接有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)12，清洗框3左壁底部連接有出液管4，出液管4上設(shè)有閥門5，底板1頂部左右兩端均設(shè)有支撐架6，支撐架6頂端安裝有頂板7，頂板7底部中間安裝有升降機構(gòu)8，升降機構(gòu)8底部連接有放置框9，放置框9內(nèi)設(shè)有隔欄10，支撐架6內(nèi)側(cè)中間安裝有風(fēng)干機構(gòu)11。

升降機構(gòu)8包括有導(dǎo)向板81、第一電機82、第一轉(zhuǎn)軸83、第一軸承座84、卷線筒85、第二軸承座86和拉線88，頂板7底部左側(cè)安裝有導(dǎo)向板81，導(dǎo)向板81上安裝有第一電機82，頂板7底部中間安裝有第一軸承座84，頂板7底部右側(cè)安裝有第二軸承座86，第一軸承座84和第二軸承座86上設(shè)有第一轉(zhuǎn)軸83，第一轉(zhuǎn)軸83左端與第一電機82連接，第一轉(zhuǎn)軸83上連接有卷線筒85，卷線筒85位于第一軸承座84和第二軸承座86之間，卷線筒85上繞有拉線88，導(dǎo)向板81右側(cè)開有導(dǎo)向孔87，拉線88穿過導(dǎo)向孔87，并連接有放置框9。

實施例3

一種用于電子產(chǎn)品制造的晶圓清洗設(shè)備，如圖1-5所示，包括有底板1、支桿2、清洗框3、出液管4、閥門5、支撐架6、頂板7、升降機構(gòu)8、放置框9、隔欄10、風(fēng)干機構(gòu)11和旋轉(zhuǎn)機構(gòu)12，底板1頂部中間左右對稱設(shè)有支桿2，支桿2頂端連接有清洗框3，清洗框3與底板1之間連接有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)12，清洗框3左壁底部連接有出液管4，出液管4上設(shè)有閥門5，底板1頂部左右兩端均設(shè)有支撐架6，支撐架6頂端安裝有頂板7，頂板7底部中間安裝有升降機構(gòu)8，升降機構(gòu)8底部連接有放置框9，放置框9內(nèi)設(shè)有隔欄10，支撐架6內(nèi)側(cè)中間安裝有風(fēng)干機構(gòu)11。

升降機構(gòu)8包括有導(dǎo)向板81、第一電機82、第一轉(zhuǎn)軸83、第一軸承座84、卷線筒85、第二軸承座86和拉線88，頂板7底部左側(cè)安裝有導(dǎo)向板81，導(dǎo)向板81上安裝有第一電機82，頂板7底部中間安裝有第一軸承座84，頂板7底部右側(cè)安裝有第二軸承座86，第一軸承座84和第二軸承座86上設(shè)有第一轉(zhuǎn)軸83，第一轉(zhuǎn)軸83左端與第一電機82連接，第一轉(zhuǎn)軸83上連接有卷線筒85，卷線筒85位于第一軸承座84和第二軸承座86之間，卷線筒85上繞有拉線88，導(dǎo)向板81右側(cè)開有導(dǎo)向孔87，拉線88穿過導(dǎo)向孔87，并連接有放置框9。

風(fēng)干機構(gòu)11包括有第一固定桿111、環(huán)形滑軌112、滑塊113、安裝座114、連接桿115、風(fēng)機116、第二電機117、第二轉(zhuǎn)軸118、齒輪119、內(nèi)齒圈1110和固定桿111，左右支撐架6內(nèi)側(cè)中間均安裝有固定桿111，固定桿111末端連接有環(huán)形滑軌112，環(huán)形滑軌112上滑動式連接有滑塊113，滑塊113內(nèi)側(cè)連接有安裝座114，安裝座114內(nèi)側(cè)連接有連接桿115，安裝座114內(nèi)端連接有風(fēng)機116，安裝座114頂部連接有第二電機117，第二電機117頂部連接有第二轉(zhuǎn)軸118，第二轉(zhuǎn)軸118上連接有齒輪119，環(huán)形滑軌112頂部連接有內(nèi)齒圈1110，內(nèi)齒圈1110與齒輪119嚙合。

實施例4

一種用于電子產(chǎn)品制造的晶圓清洗設(shè)備，如圖1-5所示，包括有底板1、支桿2、清洗框3、出液管4、閥門5、支撐架6、頂板7、升降機構(gòu)8、放置框9、隔欄10、風(fēng)干機構(gòu)11和旋轉(zhuǎn)機構(gòu)12，底板1頂部中間左右對稱設(shè)有支桿2，支桿2頂端連接有清洗框3，清洗框3與底板1之間連接有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)12，清洗框3左壁底部連接有出液管4，出液管4上設(shè)有閥門5，底板1頂部左右兩端均設(shè)有支撐架6，支撐架6頂端安裝有頂板7，頂板7底部中間安裝有升降機構(gòu)8，升降機構(gòu)8底部連接有放置框9，放置框9內(nèi)設(shè)有隔欄10，支撐架6內(nèi)側(cè)中間安裝有風(fēng)干機構(gòu)11。

升降機構(gòu)8包括有導(dǎo)向板81、第一電機82、第一轉(zhuǎn)軸83、第一軸承座84、卷線筒85、第二軸承座86和拉線88，頂板7底部左側(cè)安裝有導(dǎo)向板81，導(dǎo)向板81上安裝有第一電機82，頂板7底部中間安裝有第一軸承座84，頂板7底部右側(cè)安裝有第二軸承座86，第一軸承座84和第二軸承座86上設(shè)有第一轉(zhuǎn)軸83，第一轉(zhuǎn)軸83左端與第一電機82連接，第一轉(zhuǎn)軸83上連接有卷線筒85，卷線筒85位于第一軸承座84和第二軸承座86之間，卷線筒85上繞有拉線88，導(dǎo)向板81右側(cè)開有導(dǎo)向孔87，拉線88穿過導(dǎo)向孔87，并連接有放置框9。

風(fēng)干機構(gòu)11包括有第一固定桿111、環(huán)形滑軌112、滑塊113、安裝座114、連接桿115、風(fēng)機116、第二電機117、第二轉(zhuǎn)軸118、齒輪119、內(nèi)齒圈1110和固定桿111，左右支撐架6內(nèi)側(cè)中間均安裝有固定桿111，固定桿111末端連接有環(huán)形滑軌112，環(huán)形滑軌112上滑動式連接有滑塊113，滑塊113內(nèi)側(cè)連接有安裝座114，安裝座114內(nèi)側(cè)連接有連接桿115，安裝座114內(nèi)端連接有風(fēng)機116，安裝座114頂部連接有第二電機117，第二電機117頂部連接有第二轉(zhuǎn)軸118，第二轉(zhuǎn)軸118上連接有齒輪119，環(huán)形滑軌112頂部連接有內(nèi)齒圈1110，內(nèi)齒圈1110與齒輪119嚙合。

旋轉(zhuǎn)機構(gòu)12包括有第三電機121、第三轉(zhuǎn)軸122、第三軸承座123、旋轉(zhuǎn)葉片124、網(wǎng)板125和密封圈126，底板1頂部右側(cè)安裝有第三電機121，第三電機121位于兩個支桿2之間，清洗框3底部中間設(shè)有第三軸承座123，第三軸承座123上設(shè)有第三轉(zhuǎn)軸122，第三轉(zhuǎn)軸122底端與第三電機121連接，第三轉(zhuǎn)軸122頂端連接有旋轉(zhuǎn)葉片124，清洗框3內(nèi)壁下部安裝有網(wǎng)板125，網(wǎng)板125位于旋轉(zhuǎn)葉片124上部，第三軸承座123頂部設(shè)有密封圈126。

第一電機82和第二電機117為伺服電機。

旋轉(zhuǎn)葉片124為不銹鋼。

工作原理：當(dāng)電子產(chǎn)品制造的晶圓需要清洗時，將晶圓放在放置框9內(nèi)的隔欄10上，工人通過控制升降機構(gòu)8將放置框9放入清洗框3內(nèi)，往清洗框3內(nèi)倒入清洗液，再控制旋轉(zhuǎn)機構(gòu)12攪動清洗框3內(nèi)的清洗液清洗晶圓，當(dāng)清洗達標(biāo)后，工人控制旋轉(zhuǎn)機構(gòu)12停止工作，并控制升降機構(gòu)8將放置框9緩慢拉升離開清洗框3，在拉升的過程中，控制風(fēng)干機構(gòu)11對清洗過的晶圓進行風(fēng)干，風(fēng)干后的晶圓就可以取出，操作過程簡單，安全性高。

因為升降機構(gòu)8包括有導(dǎo)向板81、第一電機82、第一轉(zhuǎn)軸83、第一軸承座84、卷線筒85、第二軸承座86和拉線88，頂板7底部左側(cè)安裝有導(dǎo)向板81，導(dǎo)向板81上安裝有第一電機82，頂板7底部中間安裝有第一軸承座84，頂板7底部右側(cè)安裝有第二軸承座86，第一軸承座84和第二軸承座86上設(shè)有第一轉(zhuǎn)軸83，第一轉(zhuǎn)軸83左端與第一電機82連接，第一轉(zhuǎn)軸83上連接有卷線筒85，卷線筒85位于第一軸承座84和第二軸承座86之間，卷線筒85上繞有拉線88，導(dǎo)向板81右側(cè)開有導(dǎo)向孔87，拉線88穿過導(dǎo)向孔87，并連接有放置框9，當(dāng)電子產(chǎn)品制造的晶圓需要清洗時，將晶圓放在放置框9內(nèi)的隔欄10上，工人控制第一電機82順時針轉(zhuǎn)動，第一電機82帶動第一轉(zhuǎn)軸83順時針轉(zhuǎn)動，第一轉(zhuǎn)軸83帶動卷線筒85順時針轉(zhuǎn)動，卷線筒85轉(zhuǎn)動放下拉線88，放置框9由于重力的作用向下運動，當(dāng)放置框9完全進入清洗框3內(nèi)時，控制第一電機82停止轉(zhuǎn)動，當(dāng)晶圓清洗達標(biāo)時，控制第一電機82逆時針轉(zhuǎn)動，第一電機82帶動第一轉(zhuǎn)軸83逆時針轉(zhuǎn)動，第一轉(zhuǎn)軸83帶動卷線筒85逆時針轉(zhuǎn)動，卷線筒85卷起拉線88，拉線88帶動放置框9向上運動，直至風(fēng)干機構(gòu)11風(fēng)干達標(biāo)，工人控制第一電機82停止工作。

因為風(fēng)干機構(gòu)11包括有第一固定桿111、環(huán)形滑軌112、滑塊113、安裝座114、連接桿115、風(fēng)機116、第二電機117、第二轉(zhuǎn)軸118、齒輪119、內(nèi)齒圈1110和固定桿111，左右支撐架6內(nèi)側(cè)中間均安裝有固定桿111，固定桿111末端連接有環(huán)形滑軌112，環(huán)形滑軌112上滑動式連接有滑塊113，滑塊113內(nèi)側(cè)連接有安裝座114，安裝座114內(nèi)側(cè)連接有連接桿115，安裝座114內(nèi)端連接有風(fēng)機116，安裝座114頂部連接有第二電機117，第二電機117頂部連接有第二轉(zhuǎn)軸118，第二轉(zhuǎn)軸118上連接有齒輪119，環(huán)形滑軌112頂部連接有內(nèi)齒圈1110，內(nèi)齒圈1110與齒輪119嚙合，當(dāng)經(jīng)驗清洗完畢后，工人控制第二電機117轉(zhuǎn)動，第二電機117帶動齒輪119轉(zhuǎn)動，齒輪119沿內(nèi)齒圈1110內(nèi)轉(zhuǎn)動，齒輪119帶動風(fēng)機116沿內(nèi)齒圈1110轉(zhuǎn)動，使得風(fēng)機116能夠風(fēng)干所有晶圓，當(dāng)晶圓風(fēng)干達標(biāo)時，停止第二電機117轉(zhuǎn)動。

因為旋轉(zhuǎn)機構(gòu)12包括有第三電機121、第三轉(zhuǎn)軸122、第三軸承座123、旋轉(zhuǎn)葉片124、網(wǎng)板125和密封圈126，底板1頂部右側(cè)安裝有第三電機121，第三電機121位于兩個支桿2之間，清洗框3底部中間設(shè)有第三軸承座123，第三軸承座123上設(shè)有第三轉(zhuǎn)軸122，第三轉(zhuǎn)軸122底端與第三電機121連接，第三轉(zhuǎn)軸122頂端連接有旋轉(zhuǎn)葉片124，清洗框3內(nèi)壁下部安裝有網(wǎng)板125，網(wǎng)板125位于旋轉(zhuǎn)葉片124上部，第三軸承座123頂部設(shè)有密封圈126，當(dāng)放置框9放入清洗框3內(nèi)時，倒入清洗液，控制第三電機121轉(zhuǎn)動，第三電機121帶動第三轉(zhuǎn)軸122轉(zhuǎn)動，第三轉(zhuǎn)軸122通過第三軸承座123帶動旋轉(zhuǎn)葉片124轉(zhuǎn)動，旋轉(zhuǎn)葉片124攪動清洗液，使得清洗液對晶圓進行清洗，密封圈126可以防止清洗液流入第三電機121，保證第三電機121的安全。

因為第一電機82和第二電機117為伺服電機，伺服電機能夠提供平穩(wěn)的轉(zhuǎn)速，有利于晶圓的升降和風(fēng)干。

因為旋轉(zhuǎn)葉片124的材質(zhì)為不銹鋼，不銹鋼耐腐蝕，延長設(shè)備使用壽命。

以上所述實施例僅表達了本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形、改進及替代，這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。因此，本發(fā)明專利的保護范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。