技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及LED陣列的線性高裝填密度。本文提供用于將能量提供至處理腔室的設(shè)備。在一個(gè)實(shí)施方式中，所述設(shè)備包括支撐基板、設(shè)置于支撐基板的第一表面上的第一多個(gè)固態(tài)光源和設(shè)置于支撐基板的頂表面上的第二多個(gè)固態(tài)光源，其中第一多個(gè)固態(tài)光源與第二多個(gè)固態(tài)光源對(duì)準(zhǔn)且彼此電隔離，并且第一多個(gè)固態(tài)光源與第二多個(gè)固態(tài)光源物理接觸。

技術(shù)研發(fā)人員：約瑟夫·R·約翰遜;約瑟夫·M·拉內(nèi)什
受保護(hù)的技術(shù)使用者：應(yīng)用材料公司
技術(shù)研發(fā)日：2014.08.22
技術(shù)公布日：2017.11.10