技術特征：

技術總結
本發(fā)明公開了一種紅外圖像傳感器的制作方法，包括以下步驟：在襯底Ⅰ中進行金屬布線，形成金屬互連層，在金屬互連層上方依次沉積反射層和犧牲層Ⅰ；在襯底Ⅱ上依次沉積熱氧化層、敏感層和犧牲層Ⅱ，其中，敏感層采用離子注入工藝形成；將犧牲層Ⅰ和犧牲層Ⅱ鍵合在一起形成犧牲層，并去除襯底Ⅱ；刻蝕襯底Ⅰ中金屬互連層上方的犧牲層、敏感層和熱氧化層，并沉積金屬層形成PAD和傳感器單元；刻蝕掉PAD和傳感器單元以外的熱氧化層、敏感層和犧牲層，形成一種紅外圖像傳感器。本發(fā)明提供的一種紅外圖像傳感器的制作方法，能夠提高紅外圖像傳感器的生產(chǎn)效率，同時提升紅外圖像傳感器的性能。

技術研發(fā)人員：康曉旭
受保護的技術使用者：上海集成電路研發(fā)中心有限公司
技術研發(fā)日：2017.06.26
技術公布日：2017.11.07