技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種電離效果穩(wěn)定的射頻離子源中和器，包括射頻電源、射頻感抗匹配網(wǎng)絡(luò)、起輝維持極、外罩體、射頻線圈、絕緣電離腔體及正離子收集極；射頻電源通過(guò)射頻感抗匹配網(wǎng)絡(luò)與射頻線圈連接；射頻線圈螺旋設(shè)于絕緣電離腔體的外側(cè)壁，外罩體套設(shè)于射頻線圈的外側(cè)；絕緣電離腔體罩設(shè)于正離子收集極且與正離子收集極圍合形成絕緣電離腔室；絕緣電離腔體開(kāi)設(shè)有發(fā)射孔，起輝維持極開(kāi)設(shè)有與發(fā)射孔對(duì)應(yīng)的第一通孔；正離子收集極開(kāi)設(shè)有用于通入惰性氣體的進(jìn)氣通道，以及連通進(jìn)氣通道和絕緣電離腔室之間的惰性氣體供氣孔。本發(fā)明的射頻線圈不隨工作時(shí)長(zhǎng)而變形，保證中和器電離效果的穩(wěn)定性，且射頻線圈的氧化效果得到有效抑制，提高射頻線圈使用壽命的同時(shí)保證電離效果。

技術(shù)研發(fā)人員：劉偉基;冀鳴;陳蓓麗
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中山市博頓光電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.22
技術(shù)公布日：2017.07.11