技術(shù)編號(hào):12820457
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及射頻離子源中和器技術(shù)領(lǐng)域,更具體地,涉及一種電離效果穩(wěn)定的射頻離子源中和器。背景技術(shù)離子源是使中性原子或分子電離,并從中引出離子束流的裝置,它是各種類型的離子加速器、質(zhì)譜儀、電磁同位素分離器、離子注入機(jī)、離子束刻蝕裝置、離子推進(jìn)器以及受控聚變裝置中的中性束注入器等設(shè)備不可缺少的部件。離子源中和器是向離子源引出的離子束發(fā)射電子,使束電流和束電荷得到中和的離子發(fā)射部件。傳統(tǒng)的中和器靠加熱燈絲產(chǎn)生自由電子,由于燈絲壽命短,一般只有不到10小時(shí)的連續(xù)工作時(shí)間,而基于射頻技術(shù)驅(qū)動(dòng)的離子源中和器,...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。