技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種承載裝置及離子注入設(shè)備，所述承載裝置包括：用于承托基板的承托臺；以及，用于支撐基板的多個(gè)支撐部件，各支撐部件以可移動地方式設(shè)置在所述承托臺上，以使各支撐部件在基板上的支撐位置可調(diào)節(jié)。本發(fā)明提供的承載裝置及離子注入設(shè)備，能夠減少由于支撐部件與基板接觸所引起的亮暗點(diǎn)、白Mura等不良產(chǎn)生。

技術(shù)研發(fā)人員：劉晨亮;蔣冬華;傅永義;譚超;王學(xué)偉;李儒健;羅康;令勇洲;謝銀;楊劍波;李飛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：成都京東方光電科技有限公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司
文檔號碼：201710137906
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.09
技術(shù)公布日：2017.06.20