技術編號：12724789
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種專門用于制造或處理固體器件的設備，特別是一種承載裝置及離子注入設備。背景技術離子注入技術是近30年來在國際上蓬勃發(fā)展和廣泛應用的一種材料表面改性技術。離子注入的基本原理是：用能量為100keV量級的離子束入射到材料中去，離子束與材料中的原子或分子將發(fā)生一系列物理的和化學的相互作用，入射離子逐漸損失能量，最后停留在材料中，并引起材料表面成分、結構和性能發(fā)生變化，從而優(yōu)化材料表面性能或獲得某些新的優(yōu)異性能。在離子注入(Implant)過程中，玻璃基板首先會被水平放置于基板承載裝置的承載...
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