本發(fā)明涉及一種專門用于制造或處理固體器件的設(shè)備，特別是一種承載裝置及離子注入設(shè)備。

背景技術(shù)：

離子注入技術(shù)是近30年來在國際上蓬勃發(fā)展和廣泛應(yīng)用的一種材料表面改性技術(shù)。離子注入的基本原理是：用能量為100keV量級的離子束入射到材料中去，離子束與材料中的原子或分子將發(fā)生一系列物理的和化學(xué)的相互作用，入射離子逐漸損失能量，最后停留在材料中，并引起材料表面成分、結(jié)構(gòu)和性能發(fā)生變化，從而優(yōu)化材料表面性能或獲得某些新的優(yōu)異性能。

在離子注入(Implant)過程中，玻璃基板首先會被水平放置于基板承載裝置的承載臺(Platen)上，而后由承載臺垂直立起進(jìn)行掃描。在此過程中，承載臺上的支撐部件(Pin)會與玻璃基板的背部接觸，由于現(xiàn)有的承載臺上的支撐部件的頂部呈球形，與玻璃基板背部接觸面積小，且支撐部件是固定于承載臺上，隨著使用次數(shù)的增加，支撐部件的表面磨損，在承載臺翻動過程中容易產(chǎn)生靜電，尤其是，當(dāng)支撐部件的支撐位置在顯示面板的有效顯示區(qū)(A/A區(qū))，玻璃基板背部靜電釋放，會對TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶體管)產(chǎn)生影響，引起亮暗點(diǎn)、白Mura等不良。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種承載裝置及離子注入設(shè)備，能夠減少由于支撐部件與基板接觸所引起的亮暗點(diǎn)、白Mura等不良產(chǎn)生。

本發(fā)明所提供的技術(shù)方案如下：

一種承載裝置，包括：

用于承托基板的承托臺；

以及，用于支撐基板的多個支撐部件，各支撐部件以可移動地方式設(shè)置在所述承托臺上，以使各支撐部件在基板上的支撐位置可調(diào)節(jié)。

進(jìn)一步的，在所述承托臺上設(shè)置有導(dǎo)軌，在所述導(dǎo)軌上設(shè)置有能夠沿所述導(dǎo)軌移動的多個滑動塊，其中在每一所述滑動塊上連接有至少一個所述支撐部件。

進(jìn)一步的，所述導(dǎo)軌為凸出于所述承托臺側(cè)面外的長條形凸塊結(jié)構(gòu)，所述滑動塊中部形成有凹槽，所述凹槽的槽口朝向所述長條形凸塊結(jié)構(gòu)，以使所述滑動塊環(huán)套在所述長條形凸塊結(jié)構(gòu)上。

進(jìn)一步的，在所述凹槽的內(nèi)壁與所述導(dǎo)軌的外周面之間設(shè)置有多個滾珠，多個所述滾珠排列成至少一排，且所述滾珠的排列方向與所述導(dǎo)軌的延伸方向一致。

進(jìn)一步的，所述滑動塊包括一用于形成所述凹槽的槽底的第一部分、以及用于分別形成所述凹槽的兩側(cè)壁的第二部分和第三部分，其中，所述第二部分和所述第三部分均可拆卸地連接在所述第一部分上，且所述第二部分和所述第三部分上分別設(shè)置所述滾珠。

進(jìn)一步的，所述凹槽為槽底尺寸大于槽口尺寸的梯形槽結(jié)構(gòu)，所述導(dǎo)軌為與所述凹槽結(jié)構(gòu)相匹配的、橫截面呈梯形的長條形凸塊結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所述承托臺包括相對的第一側(cè)邊和第二側(cè)邊、及相對的第三側(cè)邊和第四側(cè)邊，在所述第一側(cè)邊設(shè)置有能夠使得所述承托臺由水平狀態(tài)翻轉(zhuǎn)成豎直狀態(tài)的翻轉(zhuǎn)軸，所述導(dǎo)軌沿所述承托臺的第三側(cè)邊和第四側(cè)邊的延伸方向設(shè)置。

進(jìn)一步的，所述承載裝置還包括能夠驅(qū)動各滑動塊在所述導(dǎo)軌上移動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括：

橫桿，多個支撐部件呈陣列排布，同一行的多個支撐部件中各支撐部件所對應(yīng)的滑動塊通過同一根橫桿連接一起，以使同一行的多個支撐部件能夠同步移動；

設(shè)置在所述承托臺的第三側(cè)邊和第四側(cè)邊的至少一個側(cè)邊上的驅(qū)動軌道，所述橫桿的一端設(shè)置在所述驅(qū)動軌道上，并能夠沿所述驅(qū)動軌道移動；

以及，用于驅(qū)動所述橫桿沿所述驅(qū)動軌道往復(fù)移動的驅(qū)動部。

進(jìn)一步的，所述驅(qū)動部包括：

驅(qū)動馬達(dá)，所述驅(qū)動馬達(dá)包括輸出軸；

以及能夠在所述輸出軸驅(qū)動下旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)齒輪，所述橫桿的一端連接在所述旋轉(zhuǎn)齒輪的中心，且所述旋轉(zhuǎn)齒輪與所述橫桿之間能夠相對轉(zhuǎn)動；

其中在所述驅(qū)動軌道上設(shè)置有齒條，所述齒條與所述旋轉(zhuǎn)齒輪嚙合。

進(jìn)一步的，所述承托臺呈階梯狀結(jié)構(gòu)，所述承托臺的厚度從靠近所述第一側(cè)邊的一側(cè)向靠近所述第二側(cè)邊的一側(cè)呈階梯狀逐漸減小。

進(jìn)一步的，所述支撐部件包括用于與基板接觸的接觸端、及與所述接觸端相對的連接端，其中，所述支撐部件的接觸端端面為具有預(yù)定面積的平面結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所述支撐部件為一圓柱形結(jié)構(gòu)，且所述接觸端的邊緣為經(jīng)圓滑化處理的圓滑倒角結(jié)構(gòu)。

一種離子注入設(shè)備，包括如上所述的承載裝置。

本發(fā)明所帶來的有益效果如下：

本發(fā)明所提供的承載裝置，其在承托臺上設(shè)置可移動的支撐部件，從而可以根據(jù)不同型號的基板，調(diào)節(jié)各支撐部件在基板上的支撐位置，以避讓開基板上的預(yù)定區(qū)域，例如：避讓開液晶屏的有效顯示區(qū)(A/A區(qū))，防止支撐部件與基板之間產(chǎn)生的靜電對液晶屏的薄膜晶體管產(chǎn)生影響，從而減少不良產(chǎn)生。

附圖說明

圖1表示本發(fā)明實施例中提供的承載裝置的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2表示本發(fā)明實施例中提供的承載裝置的導(dǎo)軌與滑動塊的配合結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3表示本發(fā)明實施例中提供的承載裝置的滑動塊及支撐部件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4表示本發(fā)明實施例中提供的承載裝置的承托臺的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實例只用于解釋本發(fā)明，并非用于限定本發(fā)明的范圍。

針對現(xiàn)有技術(shù)中基板承載裝置上的支撐部件與液晶屏等基板之間接觸產(chǎn)生靜電，會導(dǎo)致產(chǎn)生不良的問題，本發(fā)明提高了一種承載裝置，能夠減少由于支撐部件與基板接觸所引起的亮暗點(diǎn)、白Mura等不良產(chǎn)生。

如圖1所示，本發(fā)明實施例中所提供的承載裝置，包括：

用于承托基板的承托臺100；

以及，用于支撐基板的多個支撐部件200，各支撐部件200以可移動地方式設(shè)置在所述承托臺100上，以使各支撐部件200在基板上的支撐位置可調(diào)節(jié)。

本發(fā)明所提供的承載裝置，其在承托臺100上設(shè)置的多個支撐部件200可以移動，從而可以根據(jù)不同型號的基板，調(diào)節(jié)各支撐部件200在基板上的支撐位置，以避讓開基板上的預(yù)定區(qū)域，例如：避讓開液晶屏的有效顯示區(qū)(A/A區(qū))，防止支撐部件200與基板之間產(chǎn)生的靜電對液晶屏的薄膜晶體管產(chǎn)生影響，從而減少不良產(chǎn)生。

如圖1和圖2所示，在本發(fā)明所提供的實施例中，優(yōu)選的，在所述承托臺100上設(shè)置有導(dǎo)軌300，在所述導(dǎo)軌300上設(shè)置有能夠沿所述導(dǎo)軌300移動的多個滑動塊400，其中在每一所述滑動塊400上連接有至少一個所述支撐部件200。

采用上述方案，通過在所述承托臺100上設(shè)置導(dǎo)軌300，并在導(dǎo)軌300上設(shè)置可移動的滑動塊400，通過將支撐部件200與滑動塊400連接，在導(dǎo)軌300上移動滑動塊400，來實現(xiàn)支撐部件200的移動，這種利用滑動塊400和導(dǎo)軌300配合實現(xiàn)支撐部件200移動的方式，結(jié)構(gòu)簡單，操作方便。

應(yīng)當(dāng)理解的是，在實際應(yīng)用中，所述支撐部件200在所述承托臺100上的可移動方式并不僅局限于此，還可以采用其他方式來實現(xiàn)，對此不再一一列舉。

以下提供一種所述導(dǎo)軌300與所述滑動塊400配合的優(yōu)選實施方式。

如圖2和圖3所示，優(yōu)選的，所述導(dǎo)軌300為凸出于所述承托臺100側(cè)面外的長條形凸塊結(jié)構(gòu)，所述滑動塊400中部形成有凹槽401，所述凹槽401的槽口朝向所述長條形凸塊結(jié)構(gòu)，以使所述滑動塊400環(huán)套在所述長條形凸塊結(jié)構(gòu)上。

采用上述方案，所述導(dǎo)軌300可以設(shè)置在所述承托臺100的側(cè)面，其設(shè)計為一凸起的長條形凸塊結(jié)構(gòu)，而所述滑動塊400的中部形成有凹槽401，而呈半殼狀，套設(shè)在所述導(dǎo)軌300上，這種配合結(jié)構(gòu)很簡單。當(dāng)然可以理解的是，在其他實施例中，所述導(dǎo)軌300與所述滑動塊400的結(jié)構(gòu)并不僅局限于此，可以有多種配合方式。

進(jìn)一步優(yōu)選的，如圖3所示，在所述滑動塊400的凹槽401的內(nèi)壁與所述導(dǎo)軌300的外周面之間設(shè)置有多個滾珠500，多個所述滾珠500排列成至少一排，且所述滾珠500的排列方向與所述導(dǎo)軌300的延伸方向一致。

采用上述方案，通過在所述滑動塊400與所述導(dǎo)軌300之間設(shè)置滾珠500，可以使得滑動塊400在導(dǎo)軌300上移動順滑、平穩(wěn)。

并且，優(yōu)選的，如圖2和圖3所示，所述導(dǎo)軌300的上、下側(cè)面與所述滑動塊400的凹槽401的兩側(cè)壁之間分別設(shè)置有所述滾珠500，且優(yōu)選的，凹槽401的每一側(cè)壁與所述導(dǎo)軌300的側(cè)面之間設(shè)置有兩排滾珠500，以使得滑動塊400的移動更為順滑、平穩(wěn)。

當(dāng)然可以理解的是，對于所述導(dǎo)軌300與所述滑動塊400之間設(shè)置所述滾珠500的方式等并不進(jìn)行限定，可以根據(jù)實際情況進(jìn)行調(diào)整。

此外，如圖2和圖3所示，優(yōu)選的，所述滑動塊400包括一用于形成所述凹槽401的槽底的410、以及用于分別形成所述凹槽401的兩側(cè)壁的第二部分420和第三部分430，其中，所述第二部分420和所述第三部分430均可拆卸地連接在所述第一部分410上，且所述第二部分和所述第三部分上分別設(shè)置所述滾珠500，以形成所述滾珠500的保護(hù)殼。

采用上述方案，設(shè)置有所述滾珠500的第二部分和所述第三部分均可拆卸地連接在所述第一部分上，便于拆卸、更換，當(dāng)滾珠500出現(xiàn)問題時，可直接將相應(yīng)的第二部分或第三部分拆卸下來更換即可。

此外，在本發(fā)明所提供的實施例中，優(yōu)選的，如圖2所示，所述凹槽401為槽底尺寸大于槽口尺寸的梯形槽結(jié)構(gòu)，所述導(dǎo)軌300為與所述凹槽401結(jié)構(gòu)相匹配的、橫截面呈梯形的長條形凸塊結(jié)構(gòu)。

采用上述方案，所述導(dǎo)軌300設(shè)計為橫截面呈梯形，其由外向內(nèi)逐漸減小，與所述滑動塊400的凹槽401結(jié)構(gòu)相互配合，可以防止所述滑動塊400從所述導(dǎo)軌300上脫落。

此外，在本發(fā)明所提供的實施例中，優(yōu)選的，如圖1所示，所述承托臺100包括相對的第一側(cè)邊和第二側(cè)邊、及相對的第三側(cè)邊和第四側(cè)邊，在所述第一側(cè)邊設(shè)置有能夠使得所述承托臺100由水平狀態(tài)翻轉(zhuǎn)成豎直狀態(tài)的翻轉(zhuǎn)軸600，所述導(dǎo)軌300沿所述承托臺100的第三側(cè)邊和第四側(cè)邊的延伸方向設(shè)置。

采用上述方案，在所述第一側(cè)邊設(shè)置有翻轉(zhuǎn)軸600，在承載基板時，使得所述承托臺100承載基板在水平狀態(tài)與豎直狀態(tài)之間轉(zhuǎn)換，并且所述導(dǎo)軌300在第三側(cè)邊和第四側(cè)邊的延伸方向上設(shè)置，以使得所述支撐部件200能夠沿著所述第三側(cè)邊或所述第四側(cè)邊的延伸方向移動。

在本發(fā)明所提供的實施例中，優(yōu)選的，如圖1所示，所述承托臺100包括多個承托部110，在每一所述承托部110的側(cè)邊設(shè)置有所述導(dǎo)軌300，在每一所述導(dǎo)軌300上設(shè)置有多個所述滑動塊400；

所述承載裝置還包括能夠驅(qū)動各滑動塊400在所述導(dǎo)軌上移動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括：

橫桿700，多個支撐部件200呈陣列排布，同一行的多個支撐部件200中各支撐部件200所對應(yīng)的滑動塊400通過同一根橫桿700連接一起，以使同一行的多個支撐部件能夠同步移動；

驅(qū)動軌道800，所述驅(qū)動軌道800設(shè)置在所述承托臺100的第三側(cè)邊和第四側(cè)邊的至少一個側(cè)邊上(即，最靠外側(cè)的承托部110的外側(cè)面上)，所述橫桿700的一端設(shè)置在所述驅(qū)動軌道800上，并能夠沿所述驅(qū)動軌道800移動；

以及，用于驅(qū)動所述橫桿700沿所述驅(qū)動軌道800往復(fù)移動的驅(qū)動部。

采用上述方案，將每行的移動支撐部件200所對應(yīng)的滑動塊400可以通過同一根橫桿700進(jìn)行連接，由所述橫桿700驅(qū)動同一行的各滑動塊400在所述導(dǎo)軌300上移動時，可以實現(xiàn)同一行的各支撐部件200在所述導(dǎo)軌300的延伸方向上的同步移動，以根據(jù)不同型號，更換支撐部件200的不同位置，這種結(jié)構(gòu)更為簡化，且可同步控制同一行的多個支撐部件200的移動，控制簡單。

并且，在本發(fā)明所提供的實施例中，優(yōu)選的，所述驅(qū)動部包括：

驅(qū)動馬達(dá)(圖中未示意出)，所述驅(qū)動馬達(dá)包括輸出軸；

以及能夠在所述輸出軸驅(qū)動下旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)齒輪900，所述橫桿700的一端連接在所述旋轉(zhuǎn)齒輪900的中心，且所述旋轉(zhuǎn)齒輪900與所述橫桿700之間能夠相對轉(zhuǎn)動；

其中在所述驅(qū)動軌道800上設(shè)置有齒條，所述齒條與所述旋轉(zhuǎn)齒輪900嚙合。

采用上述方案，通過所述驅(qū)動馬達(dá)來驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)齒輪900旋轉(zhuǎn)，由于旋轉(zhuǎn)齒輪900與所述驅(qū)動軌道800的齒條嚙合，在旋轉(zhuǎn)齒輪900轉(zhuǎn)動時，可以帶動所述橫桿700在所述驅(qū)動軌道800的延伸方向上往復(fù)運(yùn)動，進(jìn)而帶動所述橫桿700上連接的滑動塊400往復(fù)運(yùn)動，實現(xiàn)同步移動同一行各支撐部件200的目的。

當(dāng)然可以理解的是，在本發(fā)明其他實施例中，所述多個支撐部件200與所述滑動塊400及所述導(dǎo)軌300的設(shè)置位置及連接關(guān)系等并不僅局限于此，例如：所述支撐部件200還可以是各支撐部件200單獨(dú)移動，這種單獨(dú)控制各支撐部件200移動的方式與上述控制同一行支撐部件200同步移動的方式相比，優(yōu)點(diǎn)是，可以優(yōu)化移動范圍，使得各支撐部件200根據(jù)實際情況來單獨(dú)移動，缺點(diǎn)是，控制復(fù)雜，實現(xiàn)困難。

此外，在本發(fā)明所提供的實施例中，優(yōu)選的，如圖4所示，所述承托臺100的厚度從靠近所述第一側(cè)邊的一側(cè)向靠近所述第二側(cè)邊的一側(cè)逐漸減小。

采用上述方案，采用階梯狀的承托臺100設(shè)計方式，縮短承托臺100的整體重心與翻轉(zhuǎn)軸600距離，使得承托臺100的重心向翻轉(zhuǎn)軸600所在方向偏移，有利于承托臺100旋轉(zhuǎn)的機(jī)械運(yùn)動穩(wěn)定性。

優(yōu)選的，如圖4所示，所述承托臺100呈階梯狀結(jié)構(gòu)，所述承托臺100的厚度從靠近所述第一側(cè)邊的一側(cè)向靠近所述第二側(cè)邊的一側(cè)呈階梯狀逐漸減小。

需要說明的是，在上述方案中，將所述承托臺100通過設(shè)計為階梯狀結(jié)構(gòu)，來使得承托臺100的重心與翻轉(zhuǎn)軸600距離縮短，承托臺100的厚度過渡比較平穩(wěn)，制造也簡單。需要理解的是，在實際應(yīng)用中，對于所述承托臺100的具體結(jié)構(gòu)可以不僅局限于此，只要使得所述承托臺100從靠近所述第一側(cè)邊的一側(cè)向靠近所述第二側(cè)邊的一側(cè)逐漸減小即可。

此外，現(xiàn)有技術(shù)中，所述承托臺100上的支撐部件200隨著壽命的增加，表面磨損，在承托臺100的翻動過程中容易產(chǎn)生靜電，且支撐部件200的頂部呈球形，與基板背部接觸面積小，靜電容易積累并突然釋放，對于OLED顯示基板而言，引起亮暗點(diǎn)、白Mura等不良。

如圖3所示，在本發(fā)明所提供的實施例中，優(yōu)選的，所述支撐部件200包括用于與基板接觸的接觸端201、及與所述接觸端相對的連接端202，其中，所述支撐部件200的接觸端201端面為具有預(yù)定面積的平面結(jié)構(gòu)。

采用上述方案，改進(jìn)了現(xiàn)有的支撐部件200的結(jié)構(gòu)，將現(xiàn)有的頂部球形結(jié)構(gòu)的支撐部件200改進(jìn)為使得支撐部件200的接觸端端面為平面，增加了與基板的接觸面積，減少靜電釋放。

優(yōu)選的，如圖3所示，所述支撐部件200為一圓柱形結(jié)構(gòu)，且所述接觸端201的邊緣為經(jīng)圓滑化處理的圓滑倒角結(jié)構(gòu)。

采用上述方案，可移動的支撐部件200采用圓柱形結(jié)構(gòu)，同時對頂部邊緣進(jìn)行圓滑化處理，防止放置基板時劃傷基板。

此外，本發(fā)明實施例中還提供了一種離子注入設(shè)備，包括本發(fā)明實施例中所提供的承載裝置。

以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。