技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種薄膜晶體管的制備方法、顯示面板的制備方法，所述方法中，通過利用具有與半導(dǎo)體溝道層形狀相同的凹陷部的壓印模板壓在半導(dǎo)體溶液材料上，以形成與所述凹陷部形狀對應(yīng)的半導(dǎo)體溶液材料的凸起部，固化所述凸起部，并將所述壓印模板和所述基底分離，從而在源極層和漏極層上形成半導(dǎo)體溝道層。通過上述方式，不需要在半導(dǎo)體溶液材料上形成光阻，從而可以避免光阻對半導(dǎo)體溝道層的侵蝕，有利于提高產(chǎn)品質(zhì)量，進(jìn)而提高器件性能。

技術(shù)研發(fā)人員：劉哲
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢華星光電技術(shù)有限公司
文檔號碼：201710091596
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.20
技術(shù)公布日：2017.06.20