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半導(dǎo)體裝置的制作方法

文檔序號(hào):12725137閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體裝置,其特征在于,包括:

一絕緣層,設(shè)置于一基底上,其中該絕緣層具有一中心區(qū)域;

一第一繞線部及與其電性連接的一第二繞線部,設(shè)置于該絕緣層內(nèi)的一第一層位且圍繞該中心區(qū)域,其中該第一繞線部及該第二繞線部各自包括由內(nèi)向外排列的多個(gè)導(dǎo)線層;

一第一延伸導(dǎo)線層及局部圍繞該第一延伸導(dǎo)線層的一第二延伸導(dǎo)線層,設(shè)置于該絕緣層內(nèi)的該第一層位,其中該第一繞線部及該第二繞線部圍繞該第一延伸導(dǎo)線層及該第二延伸導(dǎo)線層;以及

一第三延伸導(dǎo)線層,設(shè)置于該絕緣層內(nèi)的一第二層位并圍繞該中心區(qū)域;

其中,所述延伸導(dǎo)線層及所述導(dǎo)線層具有一第一端及一第二端,該第一延伸導(dǎo)線層的該第一端及該第二端分別耦接至該第二繞線部的所述導(dǎo)線層中最內(nèi)側(cè)的導(dǎo)線層的該第一端及該第三延伸導(dǎo)線層的該第一端,而該第二延伸導(dǎo)線層的該第一端及該第二端分別耦接至該第一繞線部的所述導(dǎo)線層中最內(nèi)側(cè)的導(dǎo)線層的該第一端及該第三延伸導(dǎo)線層的該第二端,且該第一延伸導(dǎo)線層及與其耦接的該第三延伸導(dǎo)線層構(gòu)成螺旋型或一渦漩型的空間配置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,由內(nèi)向外排列的所述導(dǎo)線層依序包括一第一導(dǎo)線層、一第二導(dǎo)線層、一第三導(dǎo)線層及一第四導(dǎo)線層。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述第四導(dǎo)線層沿該第三延伸導(dǎo)線層延伸且與該第三延伸導(dǎo)線層重疊。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述第四導(dǎo)線層沿該第三延伸導(dǎo)線層延伸,且每一第四導(dǎo)線層的一部分相對(duì)于該第三延伸導(dǎo)線層的一部分橫向偏移。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,還包括一耦接部,設(shè)置于該第一繞線部及該第二繞線部之間的該絕緣層內(nèi),其中該耦接部包括:

一第一對(duì)連接層,將所述第一導(dǎo)線層的所述第一端分別連接于該第一延伸導(dǎo)線層及該第二延伸導(dǎo)線層的所述第一端;

一第二對(duì)連接層,交錯(cuò)連接所述第二導(dǎo)線層及所述第三導(dǎo)線層的所述第一端;

一第三對(duì)連接層,交錯(cuò)連接所述第一導(dǎo)線層及所述第二導(dǎo)線層的所述第二端;以及

一第四對(duì)連接層,交錯(cuò)連接所述第三導(dǎo)線層及所述第四導(dǎo)線層的所述第二端。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,還包括:

一第一輸入/輸出部,自該第一繞線部的所述導(dǎo)線層中最外側(cè)的導(dǎo)線層的該第一端向外延伸;

一第二輸入/輸出部,自該第二繞線部的所述導(dǎo)線層中最外側(cè)的導(dǎo)線層的該第一端向外延伸;以及

一第三輸入/輸出部,自該第三延伸導(dǎo)線層向外延伸。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,還包括一多層內(nèi)連線結(jié)構(gòu),位于該絕緣層內(nèi)的該第二層位下方,且通過(guò)至少兩個(gè)導(dǎo)電插塞連接至該第三延伸導(dǎo)線層。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,還包括一防護(hù)環(huán),位于該絕緣層內(nèi)的該第二層位下方的一第三層位,圍繞該第一繞線部及該第二繞線部,且電性連接至該基底。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,該第三延伸導(dǎo)線層具有圍繞該中心區(qū)域一圈的一連接部,且該連接部的一端為該第三延伸導(dǎo)線層的該第一端。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,該第三延伸導(dǎo)線層具有圍繞一圈的一連接部,且該連接部的一端為該第三延伸導(dǎo)線層的該第二端。

11.一種半導(dǎo)體裝置,其特征在于,包括:

一絕緣層,設(shè)置于一基底上,其中該絕緣層具有一中心區(qū)域;

一第一繞線部及與其電性連接的一第二繞線部,設(shè)置于該絕緣層內(nèi)的一第一層位且圍繞該中心區(qū)域,其中該第一繞線部及該第二繞線部各自包括由內(nèi)向外排列的多個(gè)導(dǎo)線層;

一第一延伸導(dǎo)線層及局部圍繞該第一延伸導(dǎo)線層的一第二延伸導(dǎo)線層,設(shè)置于該絕緣層內(nèi)的該第一層位,其中該第一繞線部及該第二繞線部圍繞該第一延伸導(dǎo)線層及該第二延伸導(dǎo)線層;以及

一第三延伸導(dǎo)線層,設(shè)置于該絕緣層內(nèi)的一第二層位并圍繞該中心區(qū)域;

其中,所述延伸導(dǎo)線層及所述導(dǎo)線層具有一第一端及一第二端,且該第一延伸導(dǎo)線層的該第一端及該第二端分別耦接至該第一繞線部的所述導(dǎo)線層中最內(nèi)側(cè)的導(dǎo)線層的該第一端及該第三延伸導(dǎo)線層的該第二端,而該第二延伸導(dǎo)線層的該第一端及該第二端分別耦接至該第二繞線部的所述導(dǎo)線層中最內(nèi)側(cè)的導(dǎo)線層的該第一端及該第三延伸導(dǎo)線層的該第一端,且該第一延伸導(dǎo)線層及與其耦接的該第三延伸導(dǎo)線層構(gòu)成螺旋型或一渦漩型的空間配置。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,中由內(nèi)向外排列的所述導(dǎo)線層依序包括一第一導(dǎo)線層、一第二導(dǎo)線層、一第三導(dǎo)線層及一第四導(dǎo)線層。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述第四導(dǎo)線層沿該第三延伸導(dǎo)線層延伸且與該第三延伸導(dǎo)線層重疊。

14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述第四導(dǎo)線層沿該第三延伸導(dǎo)線層延伸,且每一第四導(dǎo)線層的一部分相對(duì)于該第三延伸導(dǎo)線層的一部分橫向偏移。

15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,還包括一耦接部,設(shè)置于該第一繞線部及該第二繞線部之間的該絕緣層內(nèi),其中該耦接部包括:

一第一對(duì)連接層,將所述第一導(dǎo)線層的所述第一端分別連接于該第一延伸導(dǎo)線層及該第二延伸導(dǎo)線層的所述第一端;

一第二對(duì)連接層,交錯(cuò)連接所述第二導(dǎo)線層及所述第三導(dǎo)線層的所述第一端;

一第三對(duì)連接層,交錯(cuò)連接所述第一導(dǎo)線層及所述第二導(dǎo)線層的所述第二端;以及

一第四對(duì)連接層,交錯(cuò)連接所述第三導(dǎo)線層及所述第四導(dǎo)線層的所述第二端。

16.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,還包括:

一第一輸入/輸出部,自該第一繞線部的所述導(dǎo)線層中最外側(cè)的導(dǎo)線層的該第一端向外延伸;

一第二輸入/輸出部,自該第二繞線部的所述導(dǎo)線層中最外側(cè)的導(dǎo)線層的該第一端向外延伸;以及

一第三輸入/輸出部,自該第三延伸導(dǎo)線層向外延伸。

17.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,還包括一多層內(nèi)連線結(jié)構(gòu),位于該絕緣層內(nèi)的該第二層位下方,且通過(guò)至少兩個(gè)導(dǎo)電插塞連接至該第三延伸導(dǎo)線層。

18.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,還包括一防護(hù)環(huán),位于該絕緣層內(nèi)的該第二層位下方的一第三層位,圍繞該第一繞線部及該第二繞線部,且電性連接至該基底。

19.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,該第三延伸導(dǎo)線層具有圍繞該中心區(qū)域一圈的一連接部,且該連接部的一端為該第三延伸導(dǎo)線層的該第二端。

20.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,該第三延伸導(dǎo)線層具有圍繞一圈的一連接部,且該連接部的一端為該第三延伸導(dǎo)線層的該第一端。

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