技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種氮化鎵功率三極管的制作方法，包括：在襯底上表面生長氮化鎵層、鋁鎵氮層，對鋁鎵氮層、部分氮化鎵層進行蝕刻分隔成多個島；沉淀第一、第二金屬層，第一金屬層形成多個第一、第二電極單元，第二金屬層形成第三電極單元，第一電極單元的第一金屬層沉淀在一個島上，第二電極單元的第一金屬層沉淀在相鄰的兩個島上；覆蓋鈍化層，在第一、第二以及第三電極單元打開鈍化層窗口，對特性不合格的島進行去除；覆蓋第三金屬層，對第三金屬層進行分離，形成第一、第二、第三電極。本發(fā)明通過化整為零的方式，在制作時就剔除了不合格的部分，提高成品三極管器件的性能，大大增加三極管器件的良品率。

技術(shù)研發(fā)人員：張葶葶;朱廷剛;李亦衡;王東盛;苗操;魏鴻源;嚴(yán)文勝
受保護的技術(shù)使用者：江蘇能華微電子科技發(fā)展有限公司
文檔號碼：201710075199
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.10
技術(shù)公布日：2017.06.20