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半導(dǎo)體封裝組件的制作方法

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半導(dǎo)體封裝組件的制造方法與工藝

【技術(shù)領(lǐng)域】

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及半導(dǎo)體封裝組件結(jié)構(gòu)。



背景技術(shù):

為了確保電子產(chǎn)品和通信設(shè)備的小型化和多功能,期望半導(dǎo)體封裝具有小的尺寸,以支持多針(mluti-pin)連接、高速率以及高功能。多功能系統(tǒng)級(jí)封裝(systeminpackage,sip)通常要求集成離散的邏輯芯片(logicdie)和存儲(chǔ)器芯片(memorydie)。所述存儲(chǔ)器芯片通常使用較長(zhǎng)的再分配層(redistributionlayer,rdl)接地軌跡作為所述存儲(chǔ)器芯片和所述邏輯芯片的連接。但是,在用于無(wú)線頻率應(yīng)用的系統(tǒng)級(jí)封裝設(shè)計(jì)時(shí),所述較長(zhǎng)的再分配層接地軌跡帶來(lái)不期望的信號(hào)完整性問(wèn)題和噪聲耦合問(wèn)題。

因此,需要一種新型的半導(dǎo)體封裝組件。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明提供半導(dǎo)體封裝組件結(jié)構(gòu),可在存儲(chǔ)器芯片的再分配層軌跡長(zhǎng)度較長(zhǎng)時(shí),改善信號(hào)的完整性和減少耦合噪聲。

本發(fā)明實(shí)施例提供的一種半導(dǎo)體封裝組件,可包括:基板;位于所述基板上的第一襯墊和第二襯墊;安裝在所述基板上的邏輯芯片,所述邏輯芯片包括耦接于所述第二襯墊的第一邏輯芯片襯墊;安裝在所述基板上的存儲(chǔ)器芯片,所述存儲(chǔ)器芯片包括第一存儲(chǔ)器芯片襯墊和第一再分配層軌跡;其中,所述第一再分配層軌跡包括第一端和第二端,所述第一端通過(guò)所述第一存儲(chǔ)器芯片襯墊耦接于所述第一襯墊,所述第二端耦接于所述第二襯墊而非所述第一襯墊;其中,所述第一襯墊和所述第二襯墊為接地襯墊。在該種半導(dǎo)體封裝組件中,存儲(chǔ)器芯片的第一再分配層軌跡的第一端和第二端分別耦接于基板的第一接地襯墊(第一襯墊)和第二接地襯墊(第二襯墊),由此,當(dāng)所述存儲(chǔ)器芯片的再分配層軌跡長(zhǎng)度較長(zhǎng)時(shí),該設(shè)計(jì)可通過(guò)降低串音缺陷來(lái)改善信號(hào)的完整性。而當(dāng)所述半導(dǎo)體封裝組件的邏輯芯片中包括射頻電路用于射頻應(yīng)用,所述存儲(chǔ)器芯片的再分配層軌跡同樣可以通過(guò)減少所述存儲(chǔ)器芯片的電路和所述邏輯芯片的射頻電路之間的耦合噪聲來(lái)改善射頻靈敏度問(wèn)題。

本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種半導(dǎo)體封裝組件,可包括:基板;位于所述基板上的第一襯墊和第二襯墊;安裝在所述基板上的存儲(chǔ)器芯片;以及安裝在所述基板上的邏輯芯片;其中,所述存儲(chǔ)器芯片包括第一側(cè)、第二側(cè)、存儲(chǔ)器芯片襯墊以及再分配層軌跡;其中,所述存儲(chǔ)器芯片襯墊靠近所述第一側(cè)且與所述第一襯墊耦接;其中,所述再分配層軌跡包括靠近所述第一側(cè)的第一端和靠近所述第二側(cè)的第二端,所述第一端通過(guò)所述存儲(chǔ)器芯片襯墊耦接于所述第一襯墊,所述第二端通過(guò)第一單導(dǎo)電路徑耦接于靠近所述第二側(cè)的所述第二襯墊;其中,所述邏輯芯片包括邏輯芯片襯墊,所述邏輯芯片襯墊靠近所述第二側(cè),且與所述第二襯墊耦接;其中,所述第一襯墊和所述第二襯墊為接地襯墊。類似第一種半導(dǎo)體封裝組件,在該種半導(dǎo)體封裝組件中,存儲(chǔ)器芯片的再分配層軌跡的第一端和第二端分別耦接于基板的第一接地襯墊(第一襯墊)和第二接地襯墊(第二襯墊),由此,當(dāng)所述存儲(chǔ)器芯片的再分配層軌跡長(zhǎng)度較長(zhǎng)時(shí),該設(shè)計(jì)可通過(guò)降低串音缺陷來(lái)改善信號(hào)的完整性。而當(dāng)所述半導(dǎo)體封裝組件的邏輯芯片中包括射頻電路用于射頻應(yīng)用,所述存儲(chǔ)器芯片的再分配層軌跡同樣可以通過(guò)減少所述存儲(chǔ)器芯片的電路和所述邏輯芯片的射頻電路之間的耦合噪聲來(lái)改善射頻靈敏度問(wèn)題。

本發(fā)明實(shí)施例提供的再一種半導(dǎo)體封裝組件,可包括:基板;位于所述基板上的第一接地襯墊和第二接地襯墊;安裝在所述基板上的存儲(chǔ)器芯片;以及安裝在所述基板上的邏輯芯片;其中,所述存儲(chǔ)器芯片包括存儲(chǔ)器接地襯墊以及再分配層接地軌跡;其中,所述存儲(chǔ)器接地襯墊耦接于所述第一接地襯墊;其中,所述再分配層軌跡包括第一端和第二端,所述第一端通過(guò)包括所述存儲(chǔ)器接地襯墊的第一導(dǎo)電路徑耦接于所述第一接地襯墊,所述第二端通過(guò)不與所述存儲(chǔ)器接地軌跡耦接的第二導(dǎo)電路徑耦接于所述第二接地襯墊;其中,所述邏輯芯片包括邏輯接地襯墊,所述邏輯接地襯墊通過(guò)所述第二接地襯墊耦接于所述第二端。類似第一種半導(dǎo)體封裝組件,在該種半導(dǎo)體封裝組件中,存儲(chǔ)器芯片的再分配層接地軌跡的第一端和第二端分別耦接于基板的第一接地襯墊和第二接地襯墊,由此,當(dāng)所述存儲(chǔ)器芯片的再分配層軌跡長(zhǎng)度較長(zhǎng)時(shí),該設(shè)計(jì)可通過(guò)降低串音缺陷來(lái)改善信號(hào)的完整性。而當(dāng)所述半導(dǎo)體封裝組件的邏輯芯片中包括射頻電路用于射頻應(yīng)用,所述存儲(chǔ)器芯片的再分配層軌跡同樣可以通過(guò)減少所述存儲(chǔ)器芯片的電路和所述邏輯芯片的射頻電路之間的耦合噪聲來(lái)改善射頻靈敏度問(wèn)題。

【附圖說(shuō)明】

圖1為依據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例的半導(dǎo)體封裝組件500a和500b的俯視圖。

圖2為依據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu)500c的俯視圖。

圖3-圖4為圖1的剖面圖,示出圖1中的半導(dǎo)體封裝組件的基板、邏輯芯片、存儲(chǔ)器芯片以及所述存儲(chǔ)器芯片的再分配層接地軌跡的布局。

圖5為依據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例的半導(dǎo)體封裝組件500d和500e的俯視圖。

圖6-圖7為圖5的截面圖,示出圖5中的半導(dǎo)體封裝組件的基板、邏輯芯片、存儲(chǔ)器芯片以及所述存儲(chǔ)器芯片的再分配層接地軌跡的布局。

【具體實(shí)施方式】

在說(shuō)明書及權(quán)利要求當(dāng)中使用了某些詞匯來(lái)指稱特定的組件。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可理解,硬件制造商可能會(huì)用不同的名詞來(lái)稱呼同一個(gè)組件。本說(shuō)明書及權(quán)利要求并不以名稱的差異來(lái)作為區(qū)分組件的方式,而是以組件在功能上的差異來(lái)作為區(qū)分的準(zhǔn)則。在通篇說(shuō)明書及權(quán)利要求當(dāng)中所提及的“包含”及“包括”為一開放式的用語(yǔ),故應(yīng)解釋成“包含但不限定于”?!按篌w上”是指在可接受的誤差范圍內(nèi),本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠在一定誤差范圍內(nèi)解決所述技術(shù)問(wèn)題,基本達(dá)到所述技術(shù)效果。此外,“耦接”一詞在此包含任何直接及間接的電性連接手段。因此,若文中描述一第一裝置耦接于一第二裝置,則代表該第一裝置可直接電性連接于該第二裝置,或通過(guò)其它裝置或連接手段間接地電性連接至該第二裝置。以下所述為實(shí)施本發(fā)明的較佳方式,目的在于說(shuō)明本發(fā)明的精神而非用以限定本發(fā)明的保護(hù)范圍,本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視后附的權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。

本發(fā)明實(shí)施例提供了半導(dǎo)體封裝組件。所述半導(dǎo)體封裝組件為系統(tǒng)級(jí)封裝。所述半導(dǎo)體封裝組件包括至少一個(gè)邏輯芯片和至少一個(gè)存儲(chǔ)器芯片。所述存儲(chǔ)器芯片包括再分配層接地軌跡,所述再分配層接地軌跡包括朝向相反的兩個(gè)端子。所述兩個(gè)端子中的其中一個(gè)設(shè)計(jì)為靠近所述存儲(chǔ)器芯片的接地襯墊(pad)并耦接于所述接地襯墊。所述兩個(gè)端子中的另一個(gè)耦接于基板的接地襯墊。所述半導(dǎo)體封裝組件設(shè)計(jì)為增加所述再分配層接地軌跡的兩個(gè)端子的接地點(diǎn),以避免具有較長(zhǎng)的長(zhǎng)度的所述再分配層接地軌跡的兩個(gè)端子之間的電勢(shì)差(potentialdifferent)。此外,所述再分配層接地軌跡的額外的接地點(diǎn)可減少所述較長(zhǎng)的再分配層接地軌跡造成的射頻干擾(interference)。

圖1為依據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例的半導(dǎo)體封裝組件500a和500b的俯視圖(planview)。圖3-4為圖1的剖面圖,示出圖1中的半導(dǎo)體封裝組件的基板、邏輯芯片、存儲(chǔ)器芯片以及所述存儲(chǔ)器芯片的再分配層接地軌跡的布局。為了清楚地展示半導(dǎo)體封裝組件500a和500b的基板、邏輯芯片、存儲(chǔ)器芯片以及所述存儲(chǔ)器芯片的再分配層接地軌跡的布局,圖1中省略了成型材料。

如圖1及圖3所示,半導(dǎo)體封裝組件500a通過(guò)多個(gè)導(dǎo)電結(jié)構(gòu)710安裝在基礎(chǔ)800上。在一些實(shí)施例中,半導(dǎo)體封裝組件500a為系統(tǒng)級(jí)封裝。在一些實(shí)施例中,所述基礎(chǔ)800可包括印刷電路板(printedcircuitboard,pcb)。導(dǎo)電結(jié)構(gòu)710可包括導(dǎo)電凸塊(bump)結(jié)構(gòu),例如,銅凸塊、焊錫球結(jié)構(gòu)、焊錫凸塊結(jié)構(gòu)、導(dǎo)電柱結(jié)構(gòu)、導(dǎo)線結(jié)構(gòu)或者導(dǎo)電膏中任一種。半導(dǎo)體封裝組件500a包括基板700、半導(dǎo)體芯片(邏輯芯片)100a、半導(dǎo)體芯片(存儲(chǔ)器芯片)200a以及存儲(chǔ)器芯片200a的再分配層接地軌跡240。需要注意的是,基板700、邏輯芯片100a以及存儲(chǔ)器芯片200a為半導(dǎo)體封裝組件500a的離散的,獨(dú)立的組件。

圖1和圖3提供了基板700。基板700包括芯片粘接表面701用于安裝邏輯芯片100a和存儲(chǔ)器芯片200a。基板700包括靠近芯片粘接表面701設(shè)置的多個(gè)離散的接地襯墊102和104。在一些實(shí)施例中,接地襯墊102和104用于將輸入/輸出連接至地。因此,接地襯墊102和104同時(shí)作為基板700的接地襯墊。基板700還包括形成在其內(nèi)部且耦接于接地襯墊102和104的互連(未圖示)。在一些實(shí)施例中,基板700可包括半導(dǎo)體基板,例如,硅基板。在其他一些實(shí)施例中,基板700可包括介電材料,例如,有機(jī)材料。在一些實(shí)施例中,所述有機(jī)材料包括帶有玻璃纖維的聚丙烯、環(huán)氧樹脂、聚酰亞胺、氰酸酯、其他合適的材料中任一種或者它們的組合。

如圖1和圖3所示,半導(dǎo)體芯片100a設(shè)置在基板700上。半導(dǎo)體芯片100a可通過(guò)半導(dǎo)體芯片100a和基板700之間的粘合劑112(例如,糊狀物)安裝到基板700的芯片粘接表面701。在一些實(shí)施例中,半導(dǎo)體芯片100a通過(guò)引線接合技術(shù)(bondingtechnology)耦接至基板700。在一些實(shí)施例中,如圖3所示,半導(dǎo)體芯片100a通過(guò)包括導(dǎo)線(例如,導(dǎo)線320a)的導(dǎo)體結(jié)構(gòu)耦接至基板700。在一些實(shí)施例中,半導(dǎo)體芯片100a可為邏輯芯片100a,所述邏輯芯片100a包括中央處理單元、圖像處理單元、動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器控制器中任一種,或者它們的組合。

如圖1和圖3所示,半導(dǎo)體芯片200a通過(guò)半導(dǎo)體芯片100a和200a之間的粘合劑212(例如,糊狀物)直接堆疊安裝在半導(dǎo)體芯片100a上。在一些實(shí)施例中,半導(dǎo)體芯片200a可作用為存儲(chǔ)器芯片200a,例如,動(dòng)態(tài)隨機(jī)訪問(wèn)存儲(chǔ)器芯片。在一些實(shí)施例中,半導(dǎo)體芯片200a通過(guò)引線接合技術(shù)耦接至基板700。如圖3所示,半導(dǎo)體芯片200a通過(guò)包括導(dǎo)線(例如,導(dǎo)線300a和310a)的導(dǎo)體結(jié)構(gòu)耦接至基板700。

如圖1和圖3所示,存儲(chǔ)器芯片200a可包括存儲(chǔ)器輸入/輸出芯片襯墊202且在存儲(chǔ)器芯片200a的輸入/輸出芯片襯墊202上包括再分配層結(jié)構(gòu)270a。在一些實(shí)施例中,存儲(chǔ)器芯片200a可為一個(gè)或多個(gè)動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器芯片。再分配層結(jié)構(gòu)270a可包括至少一個(gè)再分配層軌跡240和至少一個(gè)襯墊250a。再分配層軌跡240和襯墊250a用于輸入/輸出連接至地。如圖3所示,在一些實(shí)施例中,再分配層軌跡240作用為再分配層接地軌跡240。再分配層軌跡240設(shè)計(jì)為位于單層(singlelayered-level)的再分配層結(jié)構(gòu)270a中。如圖3所示,在一些實(shí)施例中,襯墊250a位于再分配層結(jié)構(gòu)270a的頂部且位于輸入/輸出襯墊區(qū)域210內(nèi)部。襯墊250a作用為存儲(chǔ)器芯片200a的接地襯墊。

再分配層軌跡240用于將存儲(chǔ)器輸入/輸出芯片襯墊202的接地路徑從襯墊250a處以扇形方式散開至或重新路由至特定的位置(例如,所述特定的位置靠近邏輯芯片100a的輸入/輸出襯墊區(qū)域110)。存儲(chǔ)器芯片200a的再分配層接地軌跡240可具有長(zhǎng)的長(zhǎng)度。如圖1和圖3所示,存儲(chǔ)器芯片200a的再分配層接地軌跡240設(shè)計(jì)為從存儲(chǔ)器芯片200a的第一側(cè)220延伸至存儲(chǔ)器芯片200a的第二側(cè)222,以用于連接存儲(chǔ)器芯片200a和邏輯芯片100a。再分配層接地軌跡240包括第一端242和遠(yuǎn)離第一端242的第二端244。第一端242耦接于鄰近的襯墊250a。存儲(chǔ)器芯片200a的襯墊250a耦接于其鄰近的屬于基板700的接地襯墊102。在一些實(shí)施例中,再分配層接地軌跡240的第一端242和存儲(chǔ)器芯片200a的襯墊250a均設(shè)置為鄰近存儲(chǔ)器芯片200a的第一側(cè)220?;?00的接地襯墊102靠近存儲(chǔ)器芯片200a的第一側(cè)220設(shè)置。此外,基板700的接地襯墊102靠近存儲(chǔ)器芯片200a的襯墊250a設(shè)置,以減小存儲(chǔ)器芯片200a到基板700的接地路徑。

如圖1和圖3所示,存儲(chǔ)器芯片200a的襯墊250a通過(guò)導(dǎo)電路徑300a(例如,接合線)耦接于接地襯墊102。需要注意的是,導(dǎo)電路徑300a為包括兩端的單接合線,所述兩端分別與襯墊250a和接地襯墊102接觸。導(dǎo)電路徑300a不與接地襯墊104接觸。

如圖1和圖3所示,再分配層接地軌跡240的第二端244耦接于基板700的接地襯墊,例如,接地襯墊104而非接地襯墊102。再分配層接地軌跡240的第二端244耦接于接地襯墊104,而不使用襯墊250a和接地襯墊102。在一些實(shí)施例中,再分配層接地軌跡240的第二端244和接地襯墊104均靠近存儲(chǔ)器芯片200a的第二側(cè)222設(shè)置。第一側(cè)220和第二側(cè)222為存儲(chǔ)器芯片200a的不同側(cè)。再分配層接地軌跡240的第二端244通過(guò)導(dǎo)電路徑310a(例如,接合線)耦接于接地襯墊104。需要注意的是,導(dǎo)電路徑310a為包括兩端的單接合線,所述兩端分別與第二端244和接地襯墊104接觸。導(dǎo)電路徑310a不與接地軌跡102和接地路徑300a接觸。

如圖1和圖3所示,邏輯芯片100a可包括邏輯設(shè)備(未圖示)以及位于所述邏輯設(shè)備上的再分配層結(jié)構(gòu)(未圖示)。邏輯芯片100a的再分配層結(jié)構(gòu)可包括至少一個(gè)再分配層軌跡和至少一個(gè)襯墊150a,該再分配層結(jié)構(gòu)用于傳輸邏輯設(shè)備的接地信號(hào)。如圖3所示,在一些實(shí)施例中,襯墊150a設(shè)置在所述再分配層結(jié)構(gòu)的頂部。襯墊150a設(shè)置在邏輯芯片100a的輸入/輸出襯墊區(qū)域110中,且作用為邏輯芯片100a的接地襯墊。

如圖1和圖3所示,邏輯芯片100a的襯墊150a僅通過(guò)導(dǎo)電路徑320a(例如,接合線)耦接于基板700的接地襯墊104。在一些實(shí)施例中,邏輯芯片100a的襯墊150a不與基板700的接地襯墊102耦接。導(dǎo)電路徑300a、310a以及320a為不同的導(dǎo)電路徑。也即,導(dǎo)電路徑320a不與導(dǎo)電路徑300a和310a接觸。

如圖1所示,圖3中的半導(dǎo)體芯片200a的再分配層結(jié)構(gòu)270a可包括第二再分配層信號(hào)軌跡260和耦接于第二再分配層信號(hào)軌跡260的至少一個(gè)襯墊252a。在一些實(shí)施例中,如圖1所示,第二再分配層信號(hào)軌跡260設(shè)計(jì)為靠近再分配層接地軌跡240并與240平行。類似于再分配層接地軌跡240,存儲(chǔ)器芯片200a的第二再分配層信號(hào)軌跡260具有長(zhǎng)的長(zhǎng)度。存儲(chǔ)器芯片200a的第二再分配層信號(hào)軌跡260設(shè)計(jì)為從存儲(chǔ)器芯片200a的第一側(cè)220延伸至第二側(cè)222。

第二再分配層信號(hào)軌跡260和襯墊252a用于輸入/輸出連接至存儲(chǔ)器輸入/輸出芯片襯墊202的信號(hào)。第二再分配層信號(hào)軌跡260可作用為再分配層信號(hào)軌跡。第二再分配層信號(hào)軌跡260不與基板700的接地襯墊102和104耦接。在一些實(shí)施例中,襯墊252a也設(shè)置在再分配層結(jié)構(gòu)(例如,圖3所示的再分配層結(jié)構(gòu)270a)的頂部。襯墊252a作用為存儲(chǔ)器芯片200a的信號(hào)襯墊。襯墊252a位于輸入/輸出襯墊范圍210內(nèi)。此外,襯墊252a靠近襯墊250a但與襯墊250a絕緣。

如圖1所示,第二再分配層信號(hào)軌跡260包括第三端262和遠(yuǎn)離第三端262的第四端264。第二再分配層信號(hào)軌跡260的第三端262位于再分配層接地軌跡240的第一端242旁邊。此外,第二再分配層信號(hào)軌跡260的第四端264位于再分配層接地軌跡240的第二端244旁邊。第三端262耦接于其附近的襯墊252a。存儲(chǔ)器芯片200a的襯墊252a耦接于基板700的相應(yīng)的信號(hào)襯墊(未圖示)。第二再分配層信號(hào)軌跡260通過(guò)基板700的導(dǎo)電路徑330、340和導(dǎo)電結(jié)構(gòu)720耦接于邏輯芯片100a的襯墊152。在一些實(shí)施例中,導(dǎo)電路徑330和340可包括接合線?;?00的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)720可包括電路和襯墊。

如圖1所示,在一些實(shí)施例中,邏輯芯片100a的襯墊152靠近襯墊150a但是與150a電隔離。襯墊152可作用為邏輯芯片100a的信號(hào)襯墊。

如圖3所示,半導(dǎo)體封裝組件500a進(jìn)一步包括圍繞邏輯芯片100a、存儲(chǔ)器芯片200a以及導(dǎo)電路徑(包括導(dǎo)電路徑300a、310a以及320a)的成型材料(moldingcompound)750。成型材料750與邏輯芯片100a、存儲(chǔ)器芯片200a以及導(dǎo)電路徑300a、310a以及320a接觸。成型材料750還覆蓋基板700的芯片附著表面701。在一些實(shí)施例中,成型材料750可由非導(dǎo)電材料形成,例如,環(huán)氧樹脂、樹脂、可塑造的聚合物,以及它們的類似物。成型材料750剛提供時(shí)可為流體的,然后通過(guò)化學(xué)反應(yīng)處理,例如環(huán)氧樹脂、樹脂。在另一些實(shí)施例中,成型材料750可為紫外線或熱處理后的聚合物用作為可設(shè)置在邏輯芯片100a和存儲(chǔ)器芯片200a周圍的膠體或可伸縮的固體,并隨時(shí)可被紫外線或熱處理流程處理。成型材料750可使用模具進(jìn)行處理。

圖4為圖1的截面圖,示出半導(dǎo)體封裝組件500b的基板、邏輯芯片、存儲(chǔ)器芯片以及所述存儲(chǔ)器芯片的再分配層接地軌跡的布局。此實(shí)施例與前面描述的實(shí)施例中相同或者相近的元件請(qǐng)參考圖1和圖3,為簡(jiǎn)化起見在此將不再重復(fù)。半導(dǎo)體封裝組件500b與半導(dǎo)體封裝組件500a的區(qū)別為半導(dǎo)體封裝組件500b包括通過(guò)倒裝技術(shù)設(shè)置在基板700上的半導(dǎo)體芯片(邏輯芯片)100b。在一些實(shí)施例中,半導(dǎo)體芯片100b可作用為邏輯芯片100b。邏輯芯片100b可包括至少一個(gè)襯墊150b,用于輸入/輸出連接至地。襯墊150b作用為邏輯芯片100b的接地襯墊。如圖1所示,襯墊150b設(shè)置在輸入/輸出襯墊區(qū)域110內(nèi)。

如圖4所示,邏輯芯片100b是倒裝的,并通過(guò)導(dǎo)電結(jié)構(gòu)160耦接于基板700。導(dǎo)電結(jié)構(gòu)160設(shè)置在襯墊150b上。導(dǎo)電結(jié)構(gòu)160可包括耦接于相應(yīng)的襯墊150b的至少一個(gè)凸塊結(jié)構(gòu)。導(dǎo)電凸塊結(jié)構(gòu)可包括銅凸塊、焊錫球結(jié)構(gòu)、焊錫凸塊結(jié)構(gòu)、導(dǎo)電柱結(jié)構(gòu)、導(dǎo)線結(jié)構(gòu)或者導(dǎo)電膏結(jié)構(gòu)中任一種。邏輯芯片100b的襯墊150b通過(guò)互連320b(例如,基板700中嵌入的電路)耦接于基板700的接地襯墊104。

圖2為依據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu)500c的俯視圖。此實(shí)施例與前面描述的實(shí)施例中相同或者相近的元件請(qǐng)參考圖1、圖3以及圖4,為簡(jiǎn)化起見在此將不再重復(fù)。半導(dǎo)體封裝組件500c與半導(dǎo)體封裝組件500a/500b的區(qū)別為半導(dǎo)體封裝組件500c的半導(dǎo)體芯片(邏輯芯片)100a/100b還包括集成在所述半導(dǎo)體芯片(邏輯芯片)100a/100b中的至少一個(gè)射頻單元360,用于射頻應(yīng)用。

圖5為依據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例的半導(dǎo)體封裝組件500d和500e的俯視圖。圖6-7為圖5的截面圖,示出圖5中的半導(dǎo)體封裝組件的基板、邏輯芯片、存儲(chǔ)器芯片以及所述存儲(chǔ)器芯片的再分配層接地軌跡的布局。為簡(jiǎn)潔地示出半導(dǎo)體封裝組件500d和500e的基板、邏輯芯片、存儲(chǔ)器芯片以及所述存儲(chǔ)器芯片的再分配層接地軌跡的布局,在圖5中未示出成型材料。此實(shí)施例與前面描述的實(shí)施例中相同或者相近的元件請(qǐng)參考圖1-圖4,為簡(jiǎn)化起見在此將不再重復(fù)。

如圖5和圖6所示,半導(dǎo)體封裝組件500d和圖1-圖3中的半導(dǎo)體封裝組件500a/500b的區(qū)別為存儲(chǔ)器芯片200a設(shè)置在邏輯芯片100a旁邊。因此,存儲(chǔ)器芯片200a和邏輯芯片100a分別通過(guò)糊狀物212和112安裝在芯片附著表面701上。

如圖6所示,在一些實(shí)施例中,邏輯芯片100a通過(guò)引線結(jié)合技術(shù)耦接于邏輯芯片100a。半導(dǎo)體芯片100a可通過(guò)半導(dǎo)體芯片100a和基板700之間的粘合劑112(例如,糊狀物)安裝在基板700的芯片附著表面701上。

如圖5和圖6所示,在一些實(shí)施例中,再分配層接地軌跡240的第一端242、存儲(chǔ)器芯片200a的襯墊250a以及基板700的接地襯墊102靠近存儲(chǔ)器芯片200a的第一側(cè)220設(shè)置。再分配層接地軌跡240的第二端244、邏輯芯片100a的襯墊150a和接地軌跡104均靠近存儲(chǔ)器芯片200a的第二側(cè)222設(shè)置。此外,如圖6所示,接地襯墊104設(shè)置在邏輯芯片100a和存儲(chǔ)器芯片200a之間。

圖7為圖5的截面圖,示出圖5中的半導(dǎo)體封裝組件500e的基板、邏輯芯片、存儲(chǔ)器芯片以及所述存儲(chǔ)器芯片的再分配層接地軌跡的布局。此實(shí)施例與前面描述的實(shí)施例中相同或者相近的元件請(qǐng)參考圖5-圖6,為簡(jiǎn)化起見在此將不再重復(fù)。半導(dǎo)體封裝組件500e與半導(dǎo)體封裝組件500d的區(qū)別為半導(dǎo)體封裝組件500e包括通過(guò)倒裝芯片技術(shù)設(shè)置在基板700上的半導(dǎo)體芯片100b和半導(dǎo)體芯片200b。在一些實(shí)施例中,半導(dǎo)體芯片100b作用為邏輯芯片100b、半導(dǎo)體芯片200b作用為存儲(chǔ)器芯片200b。

如圖7所示,邏輯芯片100b可包括至少一個(gè)襯墊150b,用于輸入/輸出連接至地。襯墊150b作用為邏輯芯片100b的接地襯墊。

存儲(chǔ)器芯片200b可包括存儲(chǔ)器輸入/輸出芯片襯墊202和位于存儲(chǔ)器輸入/輸出芯片襯墊202上的再分配層結(jié)構(gòu)270b。再分配層結(jié)構(gòu)270b可包括至少一個(gè)再分配層軌跡240和至少兩個(gè)襯墊250b和250c。再分配層軌跡240和襯墊250b和250c用于輸入/輸出連接至地。如圖7所示,在一些實(shí)施例中,再分配層結(jié)構(gòu)240作用為再分配層接地軌跡240。再分配層軌跡240設(shè)計(jì)為位于再分配層結(jié)構(gòu)270b的單一水平面上。再分配層軌跡240的兩端242和244分別耦接于襯墊250b和250c。襯墊250b和250c作用為存儲(chǔ)器芯片200a的接地襯墊。如圖5所示,襯墊250b設(shè)置在輸入/輸出襯墊區(qū)域210內(nèi)。襯墊250c設(shè)置在輸入/輸出襯墊區(qū)域210外。例如,襯墊250c靠近再分配層軌跡240的端244設(shè)置。此外,襯墊250b不與襯墊250c接觸。

如圖7所示,存儲(chǔ)器芯片200b上下倒裝,且通過(guò)導(dǎo)電結(jié)構(gòu)266和268耦接于基板700。導(dǎo)電結(jié)構(gòu)266和268分別設(shè)置在襯墊250b和250c上。導(dǎo)電結(jié)構(gòu)266和268可包括耦接于襯墊250b和250c的相應(yīng)的導(dǎo)電凸塊。此外,導(dǎo)電結(jié)構(gòu)266不與導(dǎo)電結(jié)構(gòu)268接觸。存儲(chǔ)器芯片200b的接地襯墊250b通過(guò)導(dǎo)電結(jié)構(gòu)266和互連300b耦接于基板700的接地襯墊102。存儲(chǔ)器芯片200b的襯墊250c通過(guò)導(dǎo)電結(jié)構(gòu)268和嵌入在基板700中的互連320b耦接于基板700的接地襯墊104。在一些實(shí)施例中,互連300b和320b嵌入在基板700中?;ミB300b和320b可包括多個(gè)電路。

如圖7所示,邏輯芯片100b上下倒裝,且通過(guò)導(dǎo)電結(jié)構(gòu)160耦接于基板700。導(dǎo)電結(jié)構(gòu)160設(shè)置在襯墊150b上。導(dǎo)電結(jié)構(gòu)160可包括耦接于襯墊150b的相應(yīng)的導(dǎo)電凸塊結(jié)構(gòu)。邏輯芯片100b的襯墊150b通過(guò)導(dǎo)電結(jié)構(gòu)160和基板700的互連320b耦接于基板700的接地襯墊104。也即,互連320b與存儲(chǔ)器芯片200b的襯墊250c、邏輯芯片100b的襯墊150b以及基板700的接地襯墊104電連接。此外,互連300b和320b為離散的電路。互連300b不與互連320b接觸。

實(shí)施例提供了半導(dǎo)體封裝組件。所述半導(dǎo)體封裝組件包括基板、位于基板上的存儲(chǔ)器芯片和邏輯芯片。所述存儲(chǔ)器芯片包括再分配層接地軌跡,所述再分配層接地軌跡包括第一端和遠(yuǎn)離所述第一端的第二端。所述第一端和第二端分別靠近所述存儲(chǔ)器芯片的不同側(cè)。所述再分配層接地軌跡的所述第一端通過(guò)包含所述存儲(chǔ)器芯片的一個(gè)襯墊的第一導(dǎo)電路徑耦接于所述基板的第一接地襯墊,所述第一接地襯墊設(shè)置在一個(gè)輸入/輸出襯墊范圍內(nèi)。所述再分配層接地軌跡的第二端通過(guò)與所述第一導(dǎo)電路徑不同的第二導(dǎo)電路徑耦接于所述基板的第二接地襯墊。所述第二導(dǎo)電路徑不與所述存儲(chǔ)器的所述襯墊耦接。所述邏輯芯片包括通過(guò)所述基板的所述第二接地襯墊耦接于所述再分配層的第二端的襯墊。

本發(fā)明的半導(dǎo)體封裝組件設(shè)計(jì)為在所述存儲(chǔ)器芯片的再分配層軌跡的兩端包括接地路徑。如果所述存儲(chǔ)器芯片的再分配層接地軌跡長(zhǎng)度較長(zhǎng),再分配層接地軌跡的設(shè)計(jì)可通過(guò)降低串音缺陷來(lái)改善信號(hào)的完整性。如果所述半導(dǎo)體封裝組件的邏輯芯片中包括射頻電路用于射頻應(yīng)用,所述存儲(chǔ)器芯片的再分配層接地軌跡同樣可以通過(guò)減少所述存儲(chǔ)器芯片的電路和所述邏輯芯片的射頻電路之間的耦合噪聲來(lái)改善射頻靈敏度問(wèn)題。

權(quán)利要求書中用以修飾元件的“第一”、“第二”等序數(shù)詞的使用本身未暗示任何優(yōu)先權(quán)、優(yōu)先次序、各元件之間的先后次序、或所執(zhí)行方法的時(shí)間次序,而僅用作標(biāo)識(shí)來(lái)區(qū)分具有相同名稱(具有不同序數(shù)詞)的不同元件。

本發(fā)明雖以較佳實(shí)施例揭露如上,然其并非用以限定本發(fā)明的范圍,任何本領(lǐng)域技術(shù)人員,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi),當(dāng)可做些許的更動(dòng)與潤(rùn)飾,因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。

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