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晶體管存儲(chǔ)器的制作方法

文檔序號(hào):11656141閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了晶體管存儲(chǔ)器。該晶體管存儲(chǔ)器包括:門電極層;阻隔介電層,所述阻隔介電層位于所述門電極層上;納米浮動(dòng)?xùn)艑樱黾{米浮動(dòng)?xùn)艑游挥谒鲎韪艚殡妼由?,所述納米浮動(dòng)?xùn)艑邮怯山饘偌{米顆粒構(gòu)成的;隧穿介電層,所述隧穿介電層位于所述納米浮動(dòng)?xùn)艑由?;源極層,所述源極層位于所述隧穿介電層上;漏極層,所述漏極層位于所述隧穿介電層上;以及活性材料層,所述活性材料層位于所述隧穿介電層上,且設(shè)置在所述源極層和所述漏極層之間。該晶體管存儲(chǔ)器能夠通過改變納米顆粒的大小和密度改變存儲(chǔ)電荷的層次和位置,并且鈉米浮動(dòng)?xùn)艑又蟹稚⒌募{米顆粒能阻隔相鄰存儲(chǔ)器之間的漏電現(xiàn)象,可靠性高,適于工業(yè)應(yīng)用。

技術(shù)研發(fā)人員:許宗祥;單海權(quán)
受保護(hù)的技術(shù)使用者:南方科技大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日:2017.01.18
技術(shù)公布日:2017.07.28
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