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用旋轉(zhuǎn)晶體管抑制單粒子瞬態(tài)的納米CMOS版圖加固方法與流程

文檔序號(hào):12725149閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種用旋轉(zhuǎn)晶體管抑制單粒子瞬態(tài)的納米CMOS版圖加固方法,其特征在于包括以下步驟:

第一步,斷開(kāi)集成電路版圖中PMOS晶體管與NMOS晶體管之間的金屬連接和多晶連接、PMOS晶體管與N阱接觸之間的金屬連接、NMOS晶體管與襯底接觸之間的金屬連接;

第二步,將PMOS晶體管繞該P(yáng)MOS晶體管的質(zhì)心順時(shí)針旋轉(zhuǎn)90度,將NMOS晶體管繞該NMOS晶體管的質(zhì)心逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)90度;

第三步,將PMOS晶體管和NMOS晶體管相互靠近直至兩者間距達(dá)到半導(dǎo)體代工廠提供的設(shè)計(jì)規(guī)則所允許的最小間距;

第四步,將N阱接觸向PMOS晶體管移動(dòng)直至N摻雜與PMOS晶體管有源區(qū)接觸,將襯底接觸向NMOS晶體管移動(dòng)直至P摻雜與NMOS晶體管有源區(qū)接觸;

第五步,將PMOS晶體管有源區(qū)向N阱接觸有源區(qū)延伸直至兩者接觸,將NMOS晶體管有源區(qū)向襯底接觸有源區(qū)延伸直至兩者接觸;

第六步,將第一步斷開(kāi)的集成電路版圖中晶體管與晶體管之間的多晶連接和金屬連接、晶體管與N阱接觸之間的金屬連接、晶體管與襯底接觸之間的金屬連接進(jìn)行恢復(fù)。

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